[發(fā)明專利]晶圓裂片輸送、切割機構(gòu)

在審

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• 申請日: 2022-01-28
• 公開（公告）號: CN114520170A
• 公開（公告）日: 2022-05-20
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 閆興;陶為銀;鞏鐵建;蔡正道;喬賽賽;張偉;鮑占林;王鵬;杜磊
• 申請（專利權(quán)）人: 河南通用智能裝備有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/683;H01L21/78;B65H35/06;B65H20/18;B65H23/06;B65H23/26;B65H23/16;B65H35/00
• 代理公司: 鄭州中原專利事務(wù)所有限公司 41109
• 代理人: 張春;郭明月

1.晶圓裂片輸送、切割機構(gòu)，包括放膜機構(gòu)、移膜機構(gòu)、切膜機構(gòu)和貼膜機構(gòu)，其特征在于，復(fù)合膜在放膜機構(gòu)、移膜機構(gòu)、切膜機構(gòu)和貼膜機構(gòu)中處于受控狀態(tài)，保持復(fù)合膜始終張緊。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓裂片輸送、切割機構(gòu)，其特征在于，所述放膜機構(gòu)包括設(shè)置在放膜固定架上的放膜輥系，放膜輥系包括防靜電驅(qū)動輥、氣漲軸和與氣漲軸連接的電磁制動器；氣漲軸用于固定復(fù)合膜卷，防靜電驅(qū)動輥驅(qū)動復(fù)合膜輸送，防靜電驅(qū)動輥與氣漲軸連接的電磁制動器相互配合使復(fù)合膜拉緊。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的晶圓裂片輸送、切割機構(gòu)，其特征在于，所述設(shè)置在放膜固定架上的放膜輥系按照復(fù)合膜膜移動方向分別為，氣漲軸用于固定復(fù)合膜卷，氣漲軸端部連接有電磁制動器，第一從動換向輥將復(fù)合膜第一次換向，防靜電驅(qū)動輥驅(qū)動復(fù)合膜移動，張緊壓輥用于張緊復(fù)合膜，使得復(fù)合膜與防靜電驅(qū)動輥接觸，以及第二從動換向輥將復(fù)合膜輸出到下移動吸盤。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的晶圓裂片輸送、切割機構(gòu)，其特征在于，所述張緊壓輥由驅(qū)動下壓機構(gòu)控制，驅(qū)動下壓機構(gòu)包括下壓氣缸座、驅(qū)動下壓氣缸、張緊下壓板、導(dǎo)軌、張緊壓輥門型固定座和張緊壓輥；下壓氣缸座固定在放膜固定架頂部；驅(qū)動下壓氣缸固定在下壓氣缸座頂部，且驅(qū)動下壓氣缸的活塞桿貫穿下壓氣缸座進入到放膜固定架內(nèi)部；導(dǎo)軌固定在固定架的側(cè)壁上，導(dǎo)軌的方向和驅(qū)動下壓氣缸的活塞桿的方向一致；張緊壓輥門型固定座固定在驅(qū)動下壓氣缸的活塞桿末端，并在導(dǎo)軌中滑動；張緊壓輥轉(zhuǎn)動連接在張緊壓輥門型固定座。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的晶圓裂片輸送、切割機構(gòu)，其特征在于，所述晶圓移膜機構(gòu)包括上下移動的上吸附裝置和水平移動的下移動吸盤，下移動吸盤沿著復(fù)合膜的移動方向往復(fù)運動，使得下移動吸盤帶著PE膜移動；上吸附裝置和下移動吸盤不間斷地控制復(fù)合膜移動。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的晶圓裂片輸送、切割機構(gòu)，其特征在于，所述上吸附裝置通過可調(diào)壓力式移動座由垂直伺服模組帶動上下移動，下移動吸盤帶動復(fù)合膜移動到切膜位，上吸附裝置下移，使上吸附裝置與下移動吸盤同時對復(fù)合膜吸附，切膜完成后，上吸附裝置上移，下移動吸盤復(fù)位，上吸附裝置下移，使得上吸附裝置與下移動吸盤重新同時對復(fù)合膜進行吸附；所述上吸附裝置包括：上負壓源、吸附直線軸承和固定位吸盤，上負壓源設(shè)置在可調(diào)壓力式移動座上，吸附直線軸承包括吸附直線軸承套和吸附直線軸承軸，吸附直線軸承套固定在可調(diào)壓力式移動座頂部，吸附直線軸承軸穿過吸附直線軸承套，吸附直線軸承軸頂部設(shè)置有吸附直線軸承軸限位塊，吸附直線軸承的方向和可調(diào)壓力式移動座的移動方向一致；底部設(shè)置有吸盤浮動安裝板，吸盤浮動安裝板與可調(diào)壓力式移動座之間設(shè)置有彈簧，固定位吸盤連接在吸盤浮動安裝板底部，固定位吸盤通過上氣道與上負壓源連接；上吸附裝置還包括移動吸附輥壓機構(gòu)，移動吸附輥壓機構(gòu)包括：浮動壓輥氣缸、浮動板、浮動壓輥門型固定座、浮動直線軸承和浮動壓輥；浮動壓輥氣缸固定連接在可調(diào)壓力式移動座上，浮動板固定在浮動壓輥氣缸的活塞桿末端，移動方向與可調(diào)壓力式移動座的移動方向一致，在浮動板兩側(cè)均設(shè)置有浮動直線軸承，浮動直線軸承包括浮動直線軸承套和浮動直線軸承軸，浮動直線軸承套固定在浮動板上，浮動直線軸承軸穿過浮動直線軸承套，浮動直線軸承軸頂部設(shè)置有浮動直線軸承軸限位塊，底部與浮動壓輥門型固定座連接，浮動壓輥轉(zhuǎn)動連接在浮動壓輥門型固定座上；浮動氣缸控制浮動板上下移動，通過浮動直線軸承軸的限位塊帶動整個浮動壓輥門型座與浮動壓輥上下移動，浮動壓輥對PE膜的壓力為浮動壓輥門型固定座和浮動壓輥的重力。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的晶圓裂片輸送、切割機構(gòu)，其特征在于，所述可調(diào)壓力式移動座端部連接有切膜機構(gòu)，切膜機構(gòu)包括無桿氣缸、導(dǎo)桿氣缸和切割刀，無桿氣缸安裝在可調(diào)壓力式移動座端部，無桿氣缸的導(dǎo)桿方向與復(fù)合膜的運行方向垂直，導(dǎo)桿上滑動連接有導(dǎo)桿氣缸，導(dǎo)桿氣缸的輸出末端連接有切割刀；下移動吸盤沿復(fù)合膜移動方向移動到位后，切割刀通過導(dǎo)桿氣缸將PE膜切斷；上吸附裝置上移，完成上吸附裝置與下移動吸盤的交接，移動下移動吸盤復(fù)位，回到初始狀態(tài)。