[發(fā)明專利]一種三氯化鐵蝕刻液處理及再生循環(huán)的工藝方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202210105394.1
• 申請日: 2022-01-28
• 公開（公告）號: CN114606497A
• 公開（公告）日: 2022-06-10
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 夏敏;宋德生;余德福;肖晉宜;丁德才
• 申請（專利權(quán)）人: 斯瑞爾環(huán)境科技股份有限公司
• 主分類號: C23F1/46
• 分類號: C23F1/46;C25B1/04;C22B3/26;C22B3/44
• 代理公司: 廣州三環(huán)專利商標(biāo)代理有限公司 44202
• 代理人: 鄧聰權(quán)

1.一種三氯化鐵蝕刻液處理及再生循環(huán)的工藝方法，其特征在于，包括：

(1)、將產(chǎn)線三氯化鐵蝕刻液溢流至蝕刻廢液儲存桶；

(2)、蝕刻廢液儲存桶與萃取槽連接，循環(huán)萃取，加入萃取劑,攪拌混合，使銅離子和鐵離子分離，將銅離子萃取出來，然后靜置分層，萃取后的水相低銅蝕刻液輸送至氧化槽，經(jīng)氧化后低銅蝕刻液返回至產(chǎn)線；

(3)、油相進(jìn)入水洗段，經(jīng)水洗后的油相中通入硫酸溶液進(jìn)行反萃，將銅離子從萃取劑中反萃出來，反萃后的水相通入電解槽中進(jìn)行電解，電解產(chǎn)生氧氣通入步驟(2)中的氧化槽用于將低銅蝕刻液中亞鐵離子氧化成鐵離子；

(4)、反萃后的油相通入萃取槽重新進(jìn)行萃取流程。

2.如權(quán)利要求1所述的一種三氯化鐵蝕刻液處理及再生循環(huán)的工藝方法，其特征在于：步驟(2)中所述萃取劑為ad100、N902、M5640H、CLX50中的一種或幾種，萃取時(shí)間1min-10min，攪拌轉(zhuǎn)速0-2000r/min。

3.如權(quán)利要求2所述的一種三氯化鐵蝕刻液處理及再生循環(huán)的工藝方法，其特征在于：步驟(2)中萃取時(shí)油相與水相比為1:1---1:5。

4.如權(quán)利要求3所述的一種三氯化鐵蝕刻液處理及再生循環(huán)的工藝方法，其特征在于：步驟(2)中萃取后水相中銅含量低于20g/l。

5.如權(quán)利要求1所述的一種三氯化鐵蝕刻液處理及再生循環(huán)的工藝方法，其特征在于：步驟(3)中所用硫酸濃度在1--4mol/l，所采用的的反萃油相比水相為1:1--1:3。

6.如權(quán)利要求6所述的一種三氯化鐵蝕刻液處理及再生循環(huán)的工藝方法，其特征在于：步驟(3)中反萃后的水相為銅濃度在5--40g/l的硫酸銅溶液。

7.如權(quán)利要求7所述的一種三氯化鐵蝕刻液處理及再生循環(huán)的工藝方法，其特征在于：步驟(3)中電解時(shí)電流密度在0.5--4asd。

8.如權(quán)利要求1所述的一種三氯化鐵蝕刻液處理及再生循環(huán)的工藝方法，其特征在于：步驟(2)中氧化槽的反應(yīng)壓力為0.06-0.2Mpa，溫度為80--100℃，還包括向氧化槽中加入催化劑，所述催化劑為亞硝酸鈉、硝酸中的一種或幾種，所述催化劑的添加量為0-0.06％。