[發(fā)明專利]晶圓裂片移膜機(jī)構(gòu)

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202210105308.7
• 申請(qǐng)日: 2022-01-28
• 公開（公告）號(hào): CN114420609A
• 公開（公告）日: 2022-04-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 閆興;陶為銀;鞏鐵建;蔡正道;喬賽賽;張偉;鮑占林;王鵬;杜磊
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 河南通用智能裝備有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/67
• 分類號(hào): H01L21/67;H01L21/683
• 代理公司: 鄭州中原專利事務(wù)所有限公司 41109
• 代理人: 張春;郭明月

1.晶圓裂片移膜機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述晶圓移膜機(jī)構(gòu)包括上下移動(dòng)的上吸附裝置和水平移動(dòng)的下移動(dòng)吸盤，下移動(dòng)吸盤沿著復(fù)合膜的移動(dòng)方向往復(fù)運(yùn)動(dòng)，使得下移動(dòng)吸盤帶著PE膜移動(dòng)，上吸附裝置和下移動(dòng)吸盤不間斷地控制復(fù)合膜移動(dòng)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓裂片移膜機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述上吸附裝置通過(guò)可調(diào)壓力式移動(dòng)座由垂直伺服模組帶動(dòng)上下移動(dòng)，下移動(dòng)吸盤帶動(dòng)復(fù)合膜移動(dòng)到切膜位，上吸附裝置下移，使上吸附裝置與下移動(dòng)吸盤同時(shí)對(duì)復(fù)合膜吸附，切膜完成后，上吸附裝置上移，下移動(dòng)吸盤復(fù)位，上吸附裝置下移，使得上吸附裝置與下移動(dòng)吸盤重新同時(shí)對(duì)復(fù)合膜進(jìn)行吸附。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的晶圓裂片移膜機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述上吸附裝置包括：上負(fù)壓源、吸附直線軸承和固定位吸盤，上負(fù)壓源設(shè)置在可調(diào)壓力式移動(dòng)座上，吸附直線軸承包括吸附直線軸承套和吸附直線軸承軸，吸附直線軸承套固定在可調(diào)壓力式移動(dòng)座頂部，吸附直線軸承軸穿過(guò)吸附直線軸承套，吸附直線軸承軸頂部設(shè)置有吸附直線軸承軸限位塊，吸附直線軸承的方向和可調(diào)壓力式移動(dòng)座的移動(dòng)方向一致；底部設(shè)置有吸盤浮動(dòng)安裝板，吸盤浮動(dòng)安裝板與可調(diào)壓力式移動(dòng)座之間設(shè)置有彈簧，固定位吸盤連接在吸盤浮動(dòng)安裝板底部，固定位吸盤通過(guò)上氣道與上負(fù)壓源連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的晶圓裂片移膜機(jī)構(gòu)，其特征在于，上吸附裝置還包括移動(dòng)吸附輥壓機(jī)構(gòu)，移動(dòng)吸附輥壓機(jī)構(gòu)包括：浮動(dòng)壓輥氣缸、浮動(dòng)板、浮動(dòng)壓輥門型固定座、浮動(dòng)直線軸承和浮動(dòng)壓輥；浮動(dòng)壓輥氣缸固定連接在可調(diào)壓力式移動(dòng)座上，浮動(dòng)板固定在浮動(dòng)壓輥氣缸的活塞桿末端，移動(dòng)方向與可調(diào)壓力式移動(dòng)座的移動(dòng)方向一致，在浮動(dòng)板兩側(cè)均設(shè)置有浮動(dòng)直線軸承，浮動(dòng)直線軸承包括浮動(dòng)直線軸承套和浮動(dòng)直線軸承軸，浮動(dòng)直線軸承套固定在浮動(dòng)板上，浮動(dòng)直線軸承軸穿過(guò)浮動(dòng)直線軸承套，浮動(dòng)直線軸承軸頂部設(shè)置有浮動(dòng)直線軸承軸限位塊，底部與浮動(dòng)壓輥門型固定座連接，浮動(dòng)壓輥轉(zhuǎn)動(dòng)連接在浮動(dòng)壓輥門型固定座上，浮動(dòng)氣缸控制浮動(dòng)板上下移動(dòng)，通過(guò)浮動(dòng)直線軸承軸的限位塊帶動(dòng)整個(gè)浮動(dòng)壓輥門型座與浮動(dòng)壓輥上下移動(dòng)，浮動(dòng)壓輥對(duì)PE膜的壓力為浮動(dòng)壓輥門型固定座和浮動(dòng)壓輥的重力。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的晶圓裂片移膜機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述下移動(dòng)吸盤中設(shè)有下負(fù)壓源，下移動(dòng)吸盤頂部分為放料位與取料位，放料位與取料位頂部均均布有氣孔，氣孔均通過(guò)下吸附氣道與下負(fù)壓源連接，放料位與取料位的氣孔與不同下負(fù)壓源連接。