[發明專利]晶圓裂片圓切機構

在審

• 申請號: 202210105307.2
• 申請日: 2022-01-28
• 公開（公告）號: CN114407104A
• 公開（公告）日: 2022-04-29
• 發明（設計）人: 閆興;陶為銀;鞏鐵建;蔡正道;喬賽賽;張偉;鮑占林;王鵬;杜磊
• 申請（專利權）人: 河南通用智能裝備有限公司
• 主分類號: B26D1/28
• 分類號: B26D1/28;B26D7/26;B29C63/02;H01L21/67
• 代理公司: 鄭州中原專利事務所有限公司 41109
• 代理人: 張春;郭明月

1.晶圓裂片圓切機構，其特征在于，包括精密滾珠絲杠組件，滾珠絲杠組件的螺母外側下部通過軸承旋轉固定在切割架上，滾珠絲杠的螺母外側上部套接齒環，齒環與固定在圓切刀架上的螺桿移動伺服電機的輸出端的第一齒輪嚙合；螺桿上端部同軸固定圓柱齒輪，圓柱齒輪與固定在圓切刀架上的螺桿轉動伺服電機輸出端固定的第二齒輪嚙合；螺桿下端徑向固定有旋轉臂，旋轉臂的端部均固定有刀輪安裝座，刀輪安裝座端部通過擺動裝置連接有刀輪。

2.根據權利要求1所述的晶圓裂片圓切機構，其特征在于，在刀輪安裝座遠離螺桿端設置有U型缺口；擺動裝置包括擺動板、擺動軸、調節板、調節絲杠和活動板；擺動板通過擺動軸設置在U型缺口內，擺動軸通過軸承固定在U型缺口的側壁上，且擺動板與U型缺口相鄰的側壁之間留有余量；U型缺口的頂部和底部均固定有調節板，調節板底部開設有與U型缺口相對應的凹槽，頂部開設有調節孔；調節絲杠穿過調節孔并貫穿擺動板，且調節絲杠的徑向面積小于調節孔的徑向面積，并與擺動板之間為螺紋連接，絲杠的端部均螺紋連接有蝶形螺母；活動板與擺動板伸出U型缺口的側壁連接。

3.根據權利要求2所述的晶圓裂片圓切機構，其特征在于，蝶形螺母與調節板之間設置有半圓墊片，且半圓墊片穿過調節絲杠，半圓墊片的弧形面與調節板接觸。

4.根據權利要求2所述的晶圓裂片圓切機構，其特征在于，活動板與擺動板之間連接有緩沖裝置，緩沖裝置包括緩沖基板、緩沖彈簧、緩沖限位軸、直線導軌和緩沖擋板；緩沖擋板固定在活動板頂部；緩沖基板與擺動軸伸出U型缺口的側壁連接，緩沖基板與直線導軌的滑塊連接，直線導軌中的導軌固定在活動板上；緩沖限位軸穿過緩沖擋板，且一端與活動基板連接，另一端連接有緩沖墊片，緩沖墊片與緩沖擋板之間套設有緩沖彈簧。

5.根據權利要求1所述的晶圓裂片圓切機構，其特征在于，活動板底部固定有門型刀輪固定座；刀輪同軸固定有刀輪軸承，通過刀輪銷軸轉動連接在門型刀輪固定座并通過刀輪卡簧對刀輪進行固定。