[發明專利]冷熱雙風流烘干系統

在審

• 申請號: 202210102306.2
• 申請日: 2022-01-27
• 公開（公告）號: CN116558264A
• 公開（公告）日: 2023-08-08
• 發明（設計）人: 黃乃為;黃翊豪
• 申請（專利權）人: 黃乃為;黃翊豪
• 主分類號: F26B21/00
• 分類號: F26B21/00;F26B21/06;F26B5/02;F25B9/04
• 代理公司: 北京科龍寰宇知識產權代理有限責任公司 11139
• 代理人: 李林

本發明提供一種冷熱雙風流烘干系統，包括送風器、多個渦流管模塊、熱風儲氣桶、第一鼓風機、第一熱風刀本體、冷風儲氣桶、第二鼓風機、第一冷風刀本體與控制器。送風器用以接收外部空氣且通過空氣過濾模塊以輸出干凈空氣。多個渦流管模塊的每一個各具有進氣通口、熱風通口與冷風通口，該多個渦流管模塊的每一個進氣通口都連接至送風器以接收干凈空氣，并且在對應的熱風通口與冷風通口分別輸出熱風與冷風。熱風儲氣桶的側邊具有多個倍壓器且分別連接至多個渦流管模塊的熱風出口以儲存熱風。冷風儲氣桶的側邊連接至多個渦流管模塊的冷風通口以儲存冷風。

技術領域

本發明涉及一種風刀系統，尤指一種可同時產生冷風刀與熱風刀的冷熱雙風流烘干系統。

背景技術

清洗平板顯示的玻璃基板及電路基板的制程主要以向基板表面噴射清洗液的方式來進行，使用該清洗裝置對基板進行清洗時，是去除基板上的殘留清洗液的同時要對基板進行干燥處理，例如在進行清洗制程后，若基板上存在殘留清洗液，則其表面會產生水斑(waters?pot)，這有可能成為降低清洗品質的因素；因此，須將洗凈后的基板進行干燥，以便進行下一步的加工程序。

現有基板的干燥方式大多采用風刀將清洗液吹干，風刀主要原理乃是借由產生高速的氣流而產生高壓風，據以快速干燥基板。詳言的，風刀系于本體上開設有入風口與出風口，借由入風口與出風口的結構尺寸變化，使得由入風口流入的氣流，形成高速氣流經出風口吹出，因此形成風刀作用。以現有的風刀結構而言，風刀的本體于上半部設有通往最小氣室的一狹長形流道，作為出風口，于狹長形流道的兩側設有裝配孔，可利用螺絲穿過裝配孔鎖固于本體上，借由操作螺絲的松緊度來調整狹長形流道的寬度，具以控制風量大小。然而，于運作時，風刀受熱變形后，螺絲容易被卡緊而無法調整縮緊度，甚至因過度操作而使螺絲破碎或損壞，進而影響風刀的效能；再者，螺絲穿設于狹長形流道上，當氣室內的氣流通往狹長形流道至外時，會受到螺絲的阻擋而使出風量不均勻，而影響干燥效果。

現有技術上用來吹干前述板件的高壓空氣是通過位于上、下方的「風刀」來產生的。所謂的「風刀」是在一具有適當內空間的元件設置一條很細的出風口，該內空間被通入高壓空氣，高壓空氣再由該出風口高速噴出而形成如刀片狀的「風面」，因而借由該上、下方的風面將板件上、下面的水分吹干。傳統的風刀結構系以金屬板材一體彎曲成型，或以鋁材擠制成型為一端呈圓管狀，而另一端呈楔形狀的風刀結構，而且該金屬板材的兩端系共同構成楔形的端部，并且在該楔形的端部形成一條縫隙般的出風口。風刀的一端是密封的，高壓空氣由風刀另一端進入，再由出風口吹出以形成如刀片狀的風面。然而，傳統風刀結構，在高壓空氣由寬大的圓管內部擠出出風口時，高壓空氣的壓力會推動其楔形側壁而造成出風口的寬度擴大，進而降低高壓空氣吹出時的風速；甚至會造成楔形側壁抖動而使吹出的高壓空氣壓力不穩定。再者，前述傳統的風刀是吹出冷空氣將板件上的水分排除，然后再將板件送進烘干設備進行烘干作業；如此一來，倘若板件上的水分未能完全被排除即被送入烘干設備，則在殘留水分的位置被烘干后會留下水痕。

又，對于傳統厚度較大的板件，利用前述現有的風刀來排除板件上的水分固然可以達到預期的效果，但對于厚度日益薄小的板件而言，則高壓空氣作用于薄板件則會造成板件過度撓曲，進而在輸送過程中造成卡板現象。此外，現在的電路板或玻璃基板在烘干的時候需要大量的電熱及壓縮空氣，在能耗雙控及全球減碳的需求下，對于能源的節省變成產業的必要發展方向

因此，如何解決上述現有技術的問題與缺失，即為相關業者所亟欲研發的課題所在。

發明內容

本發明提出一種冷熱雙風流烘干系統，能夠同時產生冷熱風、儲存且應用熱風刀與冷風刀至板件的吹干程序，以大幅提高生產合格率、降低生產成本且降低能源損耗，由于大幅減少電熱器或不使用電熱器，在現有的烘干裝置高達?5KW電熱器需要6組，將使得烘干的能源耗用非常大，同時電熱器的使用也引響了烘干空氣流體的氣流道及電熱器產生的許多氧化粉塵。