[發(fā)明專利]一種磁控管陰極組件用釬料、釬料的制備方法、鉬端帽以及磁控管

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202210099576.2
• 申請日: 2022-01-27
• 公開（公告）號(hào): CN114310028B
• 公開（公告）日: 2023-08-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 鄭艾龍;滕永雄;黃志民
• 申請（專利權(quán)）人: 廈門虹鷺鎢鉬工業(yè)有限公司
• 主分類號(hào): B23K35/02
• 分類號(hào): B23K35/02;B23K35/30;B23K35/40
• 代理公司: 廈門加減專利代理事務(wù)所(普通合伙) 35234
• 代理人: 李強(qiáng);楊澤奇

1.一種磁控管陰極組件用釬料，其特征在于：組分包含鉬、鎳以及其他金屬；

所述其他金屬為鎢或所述其他金屬為鎢和釕兩種金屬；

其中，所述其他金屬為鎢，按照質(zhì)量百分比，其組分由鎳10%～70%，鉬5%～60%，鎢5%～60%組成；

或，所述其他金屬為鎢和釕，按照質(zhì)量百分比，其組分由鎳10%～70%、鉬5%～60%、鎢5%～60%和釕1%～9%組成。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磁控管陰極組件用釬料，其特征在于：

其中，所述其他金屬為鎢，按照質(zhì)量百分比，其組分由鎳20%～60%，鉬20%～50%，鎢10%～40%組成；

或，所述其他金屬為鎢和釕，按照質(zhì)量百分比，其組分由鎳20%～60%、鉬20%～50%、鎢10%～30%和釕1%～9%組成。

3.一種如權(quán)利要求1-2任一項(xiàng)所述的磁控管陰極組件用釬料的制備方法，其特征在于，包括以下制備步驟：

S100、混合球磨：按一定重量稱量鉬粉、鎳粉和其他金屬粉末，倒入球磨罐進(jìn)行混合和濕法球磨，得到混合粉末;

S200、烘干過篩：將混合粉末進(jìn)行烘干和過篩；

S300、配制漿料：將過篩后的混合粉末配制成漿料；

S400、端帽點(diǎn)膠：利用點(diǎn)膠的方式，將漿料涂覆到鉬端帽上；

S500、燒結(jié)釬料：在還原性氣氛中，將S400制得的帶有釬料的鉬端帽于1200℃～1650℃燒結(jié)溫度下進(jìn)行燒結(jié)0.2～2h,得到磁控管陰極組件用釬料。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的磁控管陰極組件用釬料的制備方法，其特征在于：所述S100中，料球重量比為（1:7）～（1:12），球磨轉(zhuǎn)速為400～900r/min，球磨時(shí)間為8～30h；

球磨介質(zhì)為乙醇、正庚烷、甲醇中的一種。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的磁控管陰極組件用釬料的制備方法，其特征在于：所述S200中，所用篩網(wǎng)的目數(shù)為100～400目。

6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的磁控管陰極組件用釬料的制備方法，其特征在于：所述S300中，將過篩后的混合粉末與有機(jī)試劑充分?jǐn)嚢杌旌吓渲频玫綕{料；

所述有機(jī)試劑為乙酸乙酯、環(huán)己酮、異佛爾酮中的一種或者多種組合。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的磁控管陰極組件用釬料的制備方法，其特征在于：所述有機(jī)試劑與混合粉末的重量比為（1:?5）～（1:?10）。

8.一種用于磁控管的鉬端帽，其特征在于：所述鉬端帽的凹槽處設(shè)有釬料；

所述釬料為如權(quán)利要求1-2任一項(xiàng)所述磁控管陰極組件用釬料或所述釬料采用如權(quán)利要求3-7任一項(xiàng)所述的磁控管陰極組件用釬料的制備方法制備而成。

9.一種磁控管，其特征在于：使用如權(quán)利要求8所述的用于磁控管的鉬端帽配置而成。