[發(fā)明專利]一種用于DB工序多頂針共面性校準治具

在審

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• 申請日: 2022-01-26
• 公開（公告）號: CN114496854A
• 公開（公告）日: 2022-05-13
• 發(fā)明（設計）人: 黃雙龍;馬勉之
• 申請（專利權）人: 華天科技（西安）有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 西安通大專利代理有限責任公司 61200
• 代理人: 王艾華

1.一種用于DB工序多頂針共面性校準治具，其特征在于，包括底座(1)、固定臺(2)和移動臺(3)，所述固定臺(2)上設有卡槽(11)，所述卡槽(11)用于安放頂針固定器，所述頂針固定器用于固定頂針；所述移動臺(3)與底座(1)滑動連接；使用時，頂針位于固定臺(2)和移動臺(3)之間，所述移動臺(3)向固定臺(2)移動。

2.根據權利要求1所述的用于DB工序多頂針共面性校準治具，其特征在于，所述固定臺(2)與移動臺(3)相對的一側設有輔助臺(7)，所述輔助臺(7)上設有輔助槽，所述輔助槽用于盛放頂針固定器。

3.根據權利要求1所述的用于DB工序多頂針共面性校準治具，其特征在于，所述固定臺(2)包括第一部(12)和第二部(13)，所述第一部(12)和第二部(13)的一端固定連接，另一端形成縫隙；所述第一部(12)上設有固定螺栓(8)，所述固定螺栓(8)位于縫隙的一端，所述固定螺栓(8)貫穿第一部(12)與第二部(13)連接。

4.根據權利要求1所述的用于DB工序多頂針共面性校準治具，其特征在于，所述移動臺(3)包括安裝臺(14)和滑塊(4)，所述安裝臺(14)上設有可拆卸的共面校準板(6)，所述滑塊(4)設置于安裝臺(14)底部，所述滑塊(4)與底座(1)滑動連接。

5.根據權利要求4所述的用于DB工序多頂針共面性校準治具，其特征在于，所述安裝臺(14)設有安裝槽，所述共面校準板(6)設置于安裝槽中。

6.根據權利要求5所述的用于DB工序多頂針共面性校準治具，其特征在于，所述安裝槽開口處設有安裝板(5)，所述安裝板(5)上設有安裝孔，所述安裝板(5)與安裝臺(14)可拆卸連接。

7.根據權利要求6所述的用于DB工序多頂針共面性校準治具，其特征在于，所述安裝板(5)與安裝臺(14)之間還設有感壓槽，所述感壓槽用于放置感壓紙。

8.根據權利要求4所述的用于DB工序多頂針共面性校準治具，其特征在于，所述固定臺(2)靠近安裝臺(14)的一側設有調節(jié)螺栓(15)，所述調節(jié)螺栓(15)與固定臺(2)連接。

9.根據權利要求4所述的用于DB工序多頂針共面性校準治具，其特征在于，所述底座(1)上設有滑軌(10)，所述滑塊(4)與滑軌(10)配合。

10.根據權利要求9所述的用于DB工序多頂針共面性校準治具，其特征在于，所述底座(1)上設有限位塊(16)，所述限位塊(16)設置于滑軌(10)遠離固定臺(2)的一側。