[發(fā)明專利]一種高鉻鋁合金靶材及制備方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 202210092184.3 | 申請日： | 2022-01-26 |
| 公開（公告）號： | CN114101677B | 公開（公告）日： | 2022-05-03 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 王新鋒;劉李旭;向長淑;陳斌科;姚甜;孫恒超;肖成橋;蘇騰飛;郭棟 | 申請（專利權(quán)）人： | 西安賽隆金屬材料有限責(zé)任公司 |
| 主分類號： | B22F3/15 | 分類號： | B22F3/15;B22F1/052;C23C14/34 |
| 代理公司： | 西安亞信智佳知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 61241 | 代理人： | 駱怡潔 |
| 地址： | 710018 陜西省西安市經(jīng)濟(jì)*** | 國省代碼： | 陜西;61 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 鋁合金 制備 方法 | ||
1.一種高鉻鋁合金靶材的制備方法，其特征在于，該方法包括：
根據(jù)鉻鋁合金靶材的兩相結(jié)構(gòu)要求確定所述鉻鋁合金靶材的性能參數(shù)的數(shù)值范圍；
根據(jù)所述鉻鋁合金靶材的性能參數(shù)的數(shù)值范圍確定制備所述鉻鋁合金靶材的工藝方法；
利用所述工藝方法進(jìn)行所述鉻鋁合金靶材的制備；
其中，所述兩相結(jié)構(gòu)由鉻相和鉻鋁合金相組成，且相互穿插均勻分布，所述鉻鋁合金靶材的性能參數(shù)數(shù)值范圍為：所述鉻相的面積占比為10%～35%，所述鉻鋁合金相的面積占比為65%～90%；
所述鉻鋁合金靶材的平均晶粒尺寸≤18μm；
制備所述鉻鋁合金靶材的工藝方法包括以下步驟：
按照兩種不同的預(yù)設(shè)粒度分別選取鉻粉與鋁粉作為合金原料，并按照預(yù)設(shè)質(zhì)量百分比進(jìn)行配比、混料；
將混料后的所述合金原料裝入包套內(nèi)，并進(jìn)行振實(shí)；
對振實(shí)后的所述包套進(jìn)行除濕、脫氣處理后密封；
按照預(yù)設(shè)的熱等靜壓工藝參數(shù)對密封后的所述包套進(jìn)行燒結(jié)處理；
經(jīng)所述燒結(jié)處理后，進(jìn)行冷卻、去皮，得到芯部合金靶材，并對所述芯部合金靶材進(jìn)行機(jī)械加工處理，得到具有兩相結(jié)構(gòu)的所述鉻鋁合金靶材；
其中，所述鉻粉的預(yù)設(shè)粒度≤30μm，所述鋁粉的預(yù)設(shè)粒度≤20μm，且所述鉻粉與所述鋁粉的粒徑比為1.2：1～2：1；
所述鉻粉與鋁粉的預(yù)設(shè)質(zhì)量百分比為：鉻粉80%～90%、鋁粉10%～20%；
所述熱等靜壓工藝參數(shù)中的燒結(jié)溫度為700～950℃；所述熱等靜壓工藝參數(shù)中的燒結(jié)壓力為140～160MPa。
2.一種鉻鋁合金靶材，該鉻鋁合金靶材由權(quán)利要求1所述的高鉻鋁合金靶材的制備方法制備而成，其特征在于，所述鉻鋁合金靶材的兩相結(jié)構(gòu)由鉻相和鉻鋁合金相組成，且相互穿插均勻分布，所述鉻相的面積占比為10%～35%，所述鉻鋁合金相的面積占比為65%～90%，所述鉻鋁合金靶材的平均晶粒尺寸≤18μm。
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