[發明專利]基于β-Ga2 在審
| 申請號： | 202210089552.9 | 申請日： | 2022-01-25 |
| 公開（公告）號： | CN114597317A | 公開（公告）日： | 2022-06-07 |
| 發明（設計）人： | 李林;公維強;閆珺 | 申請（專利權）人： | 哈爾濱師范大學 |
| 主分類號： | H01L51/48 | 分類號： | H01L51/48;H01L51/44;H01L51/42 |
| 代理公司： | 北京酷愛智慧知識產權代理有限公司 11514 | 代理人： | 胡林 |
| 地址： | 150000 黑龍*** | 國省代碼： | 黑龍江;23 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 基于 ga base sub | ||
1.基于β-Ga2O3/Au/MAPbBr3三明治結構的紫外-可見光探測器的制備方法，其特征在于，包括如下步驟：
S1、清洗襯底：將襯底切割成預設形狀和大小，清洗并吹干后待用；
S2、制備β-Ga2O3薄膜：利用分子束外延設備在清洗好的襯底上生長一層β-Ga2O3薄膜；
S3、制備Au叉指電極：在步驟S2獲得的具有β-Ga2O3薄膜的襯底上制備多對Au叉指電極；
S4、制備MAPbBr3鈣鈦礦前體溶液：取MABr與PbBr2粉末混合后，加入到DMF與DMSO的混合溶液中，溶解后得到MAPbBr3前體溶液；
S5、制備光電探測器：對步驟S3獲得的具有叉指電極的襯底進行紫外臭氧處理，處理后，將步驟S4獲得的MAPbBr3前體溶液旋涂在襯底上，獲得β-Ga2O3/Au/MAPbBr3三明治結構的紫外-可見光探測器。
2.根據權利要求1所述的基于β-Ga2O3/Au/MAPbBr3三明治結構的紫外-可見光探測器的制備方法，其特征在于，所述叉指電極為對稱叉指電極。
3.根據權利要求1所述的基于β-Ga2O3/Au/MAPbBr3三明治結構的紫外-可見光探測器的制備方法，其特征在于，所述襯底為高透雙拋藍寶石襯底。
4.根據權利要求3所述的基于β-Ga2O3/Au/MAPbBr3三明治結構的紫外-可見光探測器的制備方法，其特征在于，所述步驟S1具體為，
S11、將高透雙拋藍寶石襯底切割成0.7cm×0.7cm大小的正方形；
S12、將切割好的藍寶石襯底依次使用丙酮、酒精、去離子水各超聲清洗15min；
S13、采用高純氮氣將清洗好的襯底吹干。
5.根據權利要求1所述的基于β-Ga2O3/Au/MAPbBr3三明治結構的紫外-可見光探測器的制備方法，其特征在于，所述步驟S2具體為，
將清洗好的襯底放入分子束外延系統的生長室中，該分子束外延系統配備臭氧發生器以產生O3，滲出池蒸發液態Ga；通過調節Ga的通量率以及臭氧壓力，將襯底加熱至700℃，生長時間3小時；制備得到β-Ga2O3薄膜。
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