[發明專利]套刻標識的篩選方法、掩模處理方法、裝置、計算機設備、存儲介質及程序產品在審
| 申請號： | 202210085187.4 | 申請日： | 2022-01-25 |
| 公開（公告）號： | CN114563926A | 公開（公告）日： | 2022-05-31 |
| 發明（設計）人： | 蘭濤明 | 申請（專利權）人： | 東方晶源微電子科技(北京)有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20;G06F30/392;G06F30/398 |
| 代理公司： | 深圳市智享知識產權代理有限公司 44361 | 代理人： | 王琴 |
| 地址： | 100176 北京市大興區北*** | 國省代碼： | 北京;11 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 標識 篩選 方法 處理 裝置 計算機 設備 存儲 介質 程序 產品 | ||
1.一種套刻標識的篩選方法，所述套刻標識的線條方向一致且至少包括兩條重復的所述線條，其特征在于：所述篩選方法包含以下步驟：
獲取多組待篩選套刻標識的參數；
基于預設的簡化標準對所述待篩選套刻標識進行簡化，得到簡化后的套刻標識；
基于預設的篩選標準篩選所述簡化后的套刻標識，得到篩選后的套刻標識。
2.如權利要求1所述的篩選方法，其特征在于：所述待篩選套刻標識為DBO標識，多個水平方向的DBO標識和/或豎直方向的DBO標識構成uDBO標識，在上述輸入多組待篩選套刻標識的參數之前還包括以下步驟：
輸入所述uDBO標識的參數；
去掉所述uDBO標識中重復的DBO標識得到精簡uDBO標識；
提取所述精簡uDBO標識中的所述水平方向的DBO標識和/或豎直方向的DBO標識，所述水平方向的DBO標識和/或豎直方向的DBO標識為所述待篩選套刻標識。
3.如權利要求2所述的篩選方法，其特征在于：篩選所述簡化后所述水平方向的DBO標識和/或豎直方向的DBO標識包括以下步驟：
根據所述水平方向的DBO標識和/或豎直方向的DBO標識仿真生成多組待篩選標識掩模版；
將多組所述待篩選標識掩模版基于預設的標準和方法進行篩選得到篩選標識掩模版；
根據所述篩選標識掩模版得到所述篩選后的DBO標識。
4.如權利要求2所述的篩選方法，其特征在于：所述待篩選uDBO標識的參數包括套刻標識的周期、關鍵尺寸、長度、寬度、周期數、偏移量以及切分參數中的一種或多種的組合。
5.如權利要求2所述的篩選方法，其特征在于：所述DBO標識的參數包括：周期、關鍵尺寸、長度、寬度以及切分參數。
6.一種掩模處理方法，其特征在于：包括如權利要求1所述的步驟，并且在得到所述篩選后的套刻標識之后，根據所述篩選后的套刻標識輸出套刻標識優化掩模。
7.一種應用如權利要求1-5中任一項所述方法的裝置：包括用于多組待篩選套刻標識參數的輸入模塊、對所述套刻標識進行簡化的處簡化模塊、對所述套刻標識進行篩選的篩選模塊以及輸出所述篩選后的套刻標識的輸出模塊。
8.一種計算機設備，其特征在于：包括存儲器、處理器及存儲在存儲器上的計算機程序，所述處理器執行所述計算機程序以實現如權利要求1-4中任一項所述方法的步驟。
9.一種計算機可讀存儲介質，其上存儲有計算機程序指令，其特征在于：所述計算機程序指令被處理器執行時實現如權利要求1-5中任一項所述方法的步驟。
10.一種計算機程序產品，其特征在于：包括計算機程序或指令，所述計算機程序或指令被處理器執行時實現權利要求1-5中任一項所述方法的步驟。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于東方晶源微電子科技(北京)有限公司，未經東方晶源微電子科技(北京)有限公司許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/202210085187.4/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 上一篇：一種提高區塊鏈網絡數據傳輸效率的方法
- 下一篇：一種利用SLM制備B
