[發(fā)明專利]一種微動(dòng)臺及運(yùn)動(dòng)裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202210082962.0
• 申請日: 2022-01-25
• 公開（公告）號: CN114123852B
• 公開（公告）日: 2022-05-13
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 郝凌凌;王振華
• 申請（專利權(quán)）人: 上海隱冠半導(dǎo)體技術(shù)有限公司
• 主分類號: H02N2/02
• 分類號: H02N2/02;H02N2/04;B25J9/00
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 吳萌

1.一種微動(dòng)臺，其特征在于，包括：

中間座（2），其底部具有開口朝下的容納槽（21）；

固定基座（3），位于所述容納槽（21）中，所述容納槽（21）的槽底和/或所述固定基座（3）上開設(shè)有避讓孔（22）；所述容納槽（21）的槽底開設(shè)有所述避讓孔（22），且所述避讓孔（22）貫通所述中間座（2）的上端面；

承載臺（4），安裝于所述中間座（2）的上方；

水平驅(qū)動(dòng)裝置（6），設(shè)置于所述避讓孔（22）中，所述水平驅(qū)動(dòng)裝置（6）為水平壓電驅(qū)動(dòng)裝置，用于驅(qū)動(dòng)所述中間座（2）相對所述固定基座（3）沿X方向運(yùn)動(dòng)，所述X方向水平設(shè)置；

垂向驅(qū)動(dòng)裝置（5），位于所述容納槽（21）的周向外側(cè)且下端伸入并安裝于所述中間座（2）的內(nèi)部，所述垂向驅(qū)動(dòng)裝置（5）為垂向壓電驅(qū)動(dòng)裝置，用于驅(qū)動(dòng)所述承載臺（4）相對所述中間座（2）沿Z方向運(yùn)動(dòng)，所述Z方向豎直設(shè)置；

重力補(bǔ)償裝置（1），其下端伸入所述中間座（2）中并位于所述容納槽（21）的周向外側(cè)，所述重力補(bǔ)償裝置（1）的上端伸出所述中間座（2）的上端面并與所述承載臺（4）連接，所述重力補(bǔ)償裝置（1）用于補(bǔ)償所述垂向驅(qū)動(dòng)裝置（5）承載的負(fù)載力。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微動(dòng)臺，其特征在于，所述垂向驅(qū)動(dòng)裝置（5）環(huán)繞所述容納槽（21）間隔設(shè)置有若干個(gè)；

和/或，所述水平驅(qū)動(dòng)裝置（6）沿Y方向間隔設(shè)置有若干個(gè)，所述Y方向與所述X方向及所述Z方向均相互垂直。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微動(dòng)臺，其特征在于，所述中間座（2）的上端面開設(shè)有安裝孔（23），所述安裝孔（23）與所述垂向驅(qū)動(dòng)裝置（5）一一對應(yīng)，所述垂向驅(qū)動(dòng)裝置（5）的下端伸入安裝孔（23）中，所述安裝孔（23）位于所述容納槽（21）的周向外側(cè)，且所述安裝孔（23）的下端面低于所述固定基座（3）的上端面。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的微動(dòng)臺，其特征在于，所述安裝孔（23）為腰型孔，所述垂向驅(qū)動(dòng)裝置（5）在所述安裝孔（23）內(nèi)的位置能夠沿所述腰型孔的長度方向水平調(diào)節(jié)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微動(dòng)臺，其特征在于，所述避讓孔（22）沿所述Z方向的高度小于所述水平驅(qū)動(dòng)裝置（6）沿所述Z方向的高度。

6.根據(jù)權(quán)利要求1-5任一項(xiàng)所述的微動(dòng)臺，其特征在于，所述容納槽（21）的槽底與所述固定基座（3）上端面的距離小于10mm，且所述水平驅(qū)動(dòng)裝置（6）的驅(qū)動(dòng)端作用于所述避讓孔（22）的孔壁；

和/或，所述中間座（2）的下端面高于所述固定基座（3）的下端面，且所述中間座（2）的下端面與所述固定基座（3）的下端面之間的高度差小于5mm。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微動(dòng)臺，其特征在于，所述中間座（2）沿所述Z方向貫通開設(shè)有固定孔（24），所述重力補(bǔ)償裝置（1）的下端伸入所述固定孔（24）中并與所述固定孔（24）的孔壁或與所述中間座（2）的上端面連接。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的微動(dòng)臺，其特征在于，所述重力補(bǔ)償裝置（1）包括：

固定座，伸入所述固定孔（24）內(nèi)并與所述中間座（2）連接；

移動(dòng)座，與所述固定座滑動(dòng)連接；

彈性伸縮件，且下端連接于所述移動(dòng)座，且上端伸出所述移動(dòng)座的上端并與所述承載臺（4）抵接；

調(diào)節(jié)驅(qū)動(dòng)裝置，設(shè)置在所述固定孔（24）內(nèi)并用于驅(qū)動(dòng)所述移動(dòng)座相對所述固定座沿所述Z方向移動(dòng)。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微動(dòng)臺，其特征在于，所述容納槽（21）沿Y方向的相對兩側(cè)均設(shè)置有一組所述垂向驅(qū)動(dòng)裝置（5）和一組所述重力補(bǔ)償裝置（1），每組所述垂向驅(qū)動(dòng)裝置（5）包括沿所述X方向間隔設(shè)置的兩個(gè)所述垂向驅(qū)動(dòng)裝置（5），每組所述重力補(bǔ)償裝置（1）包括沿所述X方向間隔設(shè)置的三個(gè)所述重力補(bǔ)償裝置（1），每個(gè)所述垂向驅(qū)動(dòng)裝置（5）均位于相鄰兩個(gè)所述重力補(bǔ)償裝置（1）之間，所述Y方向與所述X方向及所述Z方向均相互垂直。