[發明專利]一種半導體生長爐用調節控制系統及其調節方法

在審

• 申請號: 202210079677.3
• 申請日: 2022-01-24
• 公開（公告）號: CN114540939A
• 公開（公告）日: 2022-05-27
• 發明（設計）人: 吳學軍;馬玉懷;馬彥新
• 申請（專利權）人: 杭州中欣晶圓半導體股份有限公司;寧夏中欣晶圓半導體科技有限公司
• 主分類號: C30B15/20
• 分類號: C30B15/20;C30B29/06;C30B15/00
• 代理公司: 杭州融方專利代理事務所(普通合伙) 33266
• 代理人: 沈相權

1.一種半導體生長爐用調節控制系統，包括第一支架(1)，其特征在于：所述第一支架(1)的一端表面固定連接有第二支架(2)，所述第一支架(1)的上端表面位于一端邊緣處固定安裝有承載座(3)，所述承載座(3)的上端表面設置有爐蓋(4)，所述爐蓋(4)的底端表面固定連接有爐體(5)；

所述爐體(5)的上端表面位于邊緣處固定安裝有對接架(501)，所述爐體(5)的內側表面位于上端邊緣處固定安裝有連接蓋(502)，所述爐體(5)的側表面靠近底端邊緣處固定安裝有泄氣閥(503)，所述爐體(5)內部的底端表面開設有嵌槽(504)，所述爐體(5)內部的底端表面位于中部處開設有通孔(505)，所述爐體(5)的內側表面靠近底端邊緣處固定安裝有限位架(506)，所述爐體(5)的內側表面位于限位架(506)的上端固定安裝有加熱器(507)，所述加熱器(507)的數量設置為四個，所述限位架(506)的內側表面嵌入連接有坩堝托盤(508)，所述坩堝托盤(508)的上端表面固定安裝有石墨坩堝(509)，所述石墨坩堝(509)的內側表面固定安裝有石英坩堝(5091)；

所述連接蓋(502)的底端表面靠近中部處開設有導流槽(5021)，所述連接蓋(502)的底端表面位于中部處固定安裝有保溫架(5022)，所述保溫架(5022)的表面等距開設有透熱口(5023)，所述保溫架(5022)的材料設置為輕質保溫石墨材料。

2.根據權利要求1所述的一種半導體生長爐用調節控制系統，其特征在于：所述第一支架(1)的上端表面固定安裝有第一安裝板(101)，所述第一安裝板(101)的上端表面固定安裝有減速電機(102)，所述減速電機(102)的底端表面固定安裝有傳動絲桿(103)，所述第一安裝板(101)的底端表面位于傳動絲桿(103)的兩側固定安裝有輔助套桿(104)，所述輔助套桿(104)的表面套設連接有延伸板(105)。

3.根據權利要求1所述的一種半導體生長爐用調節控制系統，其特征在于：所述第二支架(2)的上端表面固定安裝有第二安裝板(201)，所述第二安裝板(201)的上端表面固定安裝有卷揚電機(202)，所述卷揚電機(202)的表面纏繞連接有連接繩(203)，所述第二安裝板(201)的一端表面固定安裝有滑輪架(204)。

4.根據權利要求1所述的一種半導體生長爐用調節控制系統，其特征在于：所述承載座(3)的底端表面固定安裝有承載板(301)，所述承載座(3)的上端表面靠近兩側邊緣處對稱固定安裝有定位板(302)，所述定位板(302)的表面固定安裝有連接桿(303)，所述連接桿(303)的上端表面固定安裝有套架(304)，所述承載板(301)的上端表面位于中部處固定安裝有驅動電機(305)。

5.根據權利要求1所述的一種半導體生長爐用調節控制系統，其特征在于：所述爐蓋(4)的表面靠近邊緣處固定安裝有高溫計(401)，所述爐蓋(4)的表面位于邊緣處固定安裝有連接架(402)，所述爐蓋(4)的表面靠近邊緣處位于高溫計(401)的對面固定安裝進氣閥(403)，所述；爐蓋(4)的表面位于中部處固定安裝有高筒(404)，所述高筒(404)的內側表面位于上端邊緣處開設有內螺槽(405)，所述高筒(404)的上端表面螺旋連接有封閉蓋(406)，所述封閉蓋(406)的表面開設有穿孔。

6.根據權利要求1所述的一種半導體生長爐用調節控制系統，其特征在于：所述第一支架(1)、第二支架(2)和承載座(3)的底端表面固定安裝有橡膠墊。

7.根據權利要求2所述的一種半導體生長爐用調節控制系統，其特征在于：所述延伸板(105)的兩側表面靠近一端邊緣處固定安裝有連接鎖(106)，所述連接鎖(106)的表面扣合連接有連接扣(107)，所述連接扣(107)的表面固定連接有套接板(108)，所述套接板(108)的表面開設有空槽。