[發明專利]一種超聲波微電機驅動定子結構

在審

• 申請號: 202210072261.9
• 申請日: 2022-01-21
• 公開（公告）號: CN114400925A
• 公開（公告）日: 2022-04-26
• 發明（設計）人: 謝錦宣;周同;蘇巖
• 申請（專利權）人: 南京理工大學
• 主分類號: H02N2/16
• 分類號: H02N2/16;H02N2/12;H02N2/14
• 代理公司: 南京理工大學專利中心 32203
• 代理人: 朱炳斐

1.一種超聲波微電機驅動定子結構，其特征在于，該結構包括若干驅動扇環形分區、圓環形硅基底以及若干支撐梁，所述若干驅動扇環形分區作為該結構的驅動力產生單元，設置在圓環形硅基底上，且沿基底的圓周均勻分布，兩兩分區之間存在距離用來實現電氣隔離；所述支撐梁均勻分布在圓環形硅基底外側的凹槽中，實現支撐梁在駐波模態中的對稱影響，每個所述支撐梁實現每個驅動扇環形分區的獨立驅動。

2.根據權利要求1所述的超聲波微電機驅動定子結構，其特征在于，所述驅動扇環形分區包括由上至下依次設置的接地電極層、壓電PZT薄膜層和驅動電極層。

3.根據權利要求1所述的超聲波微電機驅動定子結構，其特征在于，所述支撐梁包括由上到下依次設置的導線層和硅基層，導線層寬度小于硅基層，長度長于硅基層。

4.根據權利要求3所述的超聲波微電機驅動定子結構，其特征在于，所述硅基層與所述圓環形硅基底一體成型。

5.根據權利要求3所述的超聲波微電機驅動定子結構，其特征在于，所述導線層與驅動扇環形分區的驅動電極層一體成型，實現各驅動扇形環分區的獨立供電驅動。

6.根據權利要求3所述的超聲波微電機驅動定子結構，其特征在于，所述硅基層與所述圓環形硅基底的厚度相同，所述導線層與驅動電極層的厚度相同。

7.根據權利要求3所述的超聲波微電機驅動定子結構，其特征在于，所述硅基層外部與超聲波微電機基片相連，所述導線層與超聲波微電機基片之上的驅動電路相連。

8.根據權利要求1所述的超聲波微電機驅動定子結構，其特征在于，所述凹槽的開口處設定在每個驅動扇環形分區的交界線上。

9.根據權利要求1所述的超聲波微電機驅動定子結構，其特征在于，所述支撐梁錨固點位于所述凹槽中心處。

10.根據權利要求1所述的超聲波微電機驅動定子結構，其特征在于，所述驅動扇環形分區的外徑小于圓環形硅基底的外徑，內徑大于圓環形硅基底的內徑。