[發明專利]真空與加壓系統、實現方法和介質

在審

• 申請號: 202210068514.5
• 申請日: 2022-01-20
• 公開（公告）號: CN114440118A
• 公開（公告）日: 2022-05-06
• 發明（設計）人: 涂云宏;李壯;張東偉;梁學鋒;馮江濤;史建芳;顏丙雷
• 申請（專利權）人: 北京國科環宇科技股份有限公司
• 主分類號: F17C5/00
• 分類號: F17C5/00;F17C7/00;F04B37/12;F04B37/14;F04B41/02;F04B41/06
• 代理公司: 北京開陽星知識產權代理有限公司 11710
• 代理人: 祝樂芳

1.一種真空與加壓系統，其特征在于，所述系統包括：儲氣瓶組件、第一開關設備、第一接頭、實驗腔體組件、第二接頭、第二開關設備、第一氣體抽取設備、第三開關設備、升壓設備、第四開關設備、第五開關設備以及第二氣體抽取設備，所述儲氣瓶組件與所述第一開關設備相連，所述第一開關設備通過所述第一接頭與所述實驗腔體組件中的實驗腔體相連，所述實驗腔體通過所述第二接頭與所述第二開關設備相連，所述第二開關設備與所述第一氣體抽取設備相連，所述第一氣體抽取設備與所述第三開關設備相連，所述第三開關設備與所述升壓設備相連，所述升壓設備與所述第四開關設備相連，所述第四開關設備與所述儲氣瓶組件中的開關設備相連，所述第二接頭與所述第五開關設備相連，所述第五開關設備與所述第二氣體抽取設備相連；

所述第二氣體抽取設備，用于在所述第五開關設備處于打開狀態時，基于所述第二接頭將所述實驗腔體抽取至真空狀態；

所述儲氣瓶組件，用于在所述第一開關設備處于打開狀態且所述實驗腔體處于真空狀態時，基于所述第一接頭將所述儲氣瓶組件中的氣體釋放至所述實驗腔體中；

所述第一氣體抽取設備，用于在所述第二開關設備、所述第三開關設備、所述第四開關設備以及所述升壓設備均處于打開狀態時，基于所述第二接頭將所述實驗腔體中的氣體回收至所述儲氣瓶組件中。

2.根據權利要求1所述的系統，其特征在于，所述實驗腔體組件中還包括第三氣體抽取設備，所述第三氣體抽取設備與所述實驗腔體和所述第二接頭相連；

相應的，所述第二氣體抽取設備，用于在所述實驗腔體的真空度大于等于第一數值時，基于所述第二接頭對所述實驗腔體進行抽取；

所述第三氣體抽取設備，用于：在所述實驗腔體的真空度大于等于第二數值且小于所述第一數值時，對所述實驗腔體進行抽取，以及在所述實驗腔體的壓力小于所述第二數值時，停止抽取的過程。

3.根據權利要求2所述的系統，其特征在于，所述第一氣體抽取設備，用于在所述實驗腔體的壓力大于等于第三數值且小于第四數值時對所述所述實驗腔體中的氣體進行回收；

所述第三氣體抽取設備，用于在所述實驗腔體的壓力大于等于第五數值且小于所述第三數值時對所述所述實驗腔體中的剩余氣體進行回收，以及在所述實驗腔體的壓力小于所述第五數值時停止回收的過程。

4.根據權利要求1所述的系統，其特征在于，所述系統還包括第六開關設備，所述第六開關設備與所述第一氣體抽取設備相連；

所述第一氣體抽取設備還用于：

在所述第二氣體抽取設備故障、所述第五開關設備處于關閉狀態、所述第二開關設備處于打開狀態以及所述第六開關設備處于打開狀態時，基于所述第二接頭將所述實驗腔體抽取至真空狀態。

5.根據權利要求1所述的系統，其特征在于，所述系統還包括第七開關設備，所述第七開關設備與所述第一氣體抽取設備和所述第四開關設備相連；

所述第一氣體抽取設備還用于：

在所述升壓設備故障、所述第三開關設備處于關閉狀態、所述第二開關設備、所述第七開關設備以及所述第四開關設備均處于打開狀態時，基于所述第二接頭將所述實驗腔體中的氣體回收至所述儲氣瓶組件中。

6.根據權利要求1所述的系統，其特征在于，所述系統還包括：穩壓設備，所述穩壓設備與所述第三開關設備和所述升壓設備相連；

所述穩壓設備，用于對所述第一氣體抽取設備的壓力進行穩定。

7.根據權利要求1所述的系統，其特征在于，所述儲氣瓶組件中包括儲氣瓶和減壓設備，所述儲氣瓶與所述開關設備相連，所述開關設備與所述減壓設備相連；

所述儲氣瓶，用于存儲氣體；

所述減壓設備，用于對所述儲氣瓶中的氣體的壓力進行降低，并將降低壓力后的氣體釋放至所述實驗腔體中。

8.根據權利要求1-7任一項所述的系統，其特征在于，所述系統還包括：第八開關設備，所述第八開關設備與所述第一開關設備和所述第一接頭相連；

所述第八開關設備，用于將所述實驗腔體的壓力恢復為初始值。