[發明專利]一種光波導激發納腔表面等離激元共振的方法

有效

• 申請號: 202210066487.8
• 申請日: 2022-01-20
• 公開（公告）號: CN114486816B
• 公開（公告）日: 2023-10-13
• 發明（設計）人: 王攀;劉璐芳;仝遠彪;童利民;郭欣;鄭鈞升;潘陳馨鈺;李志勇
• 申請（專利權）人: 浙江大學嘉興研究院;浙江大學
• 主分類號: G01N21/552
• 分類號: G01N21/552
• 代理公司: 杭州求是專利事務所有限公司 33200
• 代理人: 林超

1.一種光波導激發納腔表面等離激元共振的方法，其特征在于：

在光波導的端面、外表面等表面上布置有由金屬納米顆粒(1)、介質層(2)、金屬膜(3)組成的納腔結構；將金屬膜(3)先布置在光波導的表面上，金屬納米顆粒(1)再通過介質層(2)隔絕地布置在金屬膜(3)外表面上。

2.根據權利要求1所述的一種光波導激發納腔表面等離激元共振的方法，其特征在于：所述的光波導為光纖或者集成光波導(9)。

3.根據權利要求1或2所述的一種光波導激發納腔表面等離激元共振的方法，其特征在于：所述的光波導為非微納光纖(7)，非微納光纖(7)包括光纖包層(4)和光纖纖芯(5)，設置納腔結構在非微納光纖(7)的端面上，具體是將金屬膜(3)布置在非微納光纖(7)的端面上且完整覆蓋非微納光纖(7)的光纖纖芯(5)，金屬膜(3)外表面布置一層介質層(2)，介質層(2)外表面固定上金屬納米顆粒(1)。

4.根據權利要求1或2所述的一種光波導激發納腔表面等離激元共振的方法，其特征在于：所述的光波導為微納光纖(8)，設置納腔結構在微納光纖(8)的外周面上，具體是將金屬膜(3)布置在微納光纖(8)的外周面上，金屬膜(3)外表面包覆一層介質層(2)，介質層(2)外表面固定上金屬納米顆粒(1)。

5.根據權利要求1或2所述的一種光波導激發納腔表面等離激元共振的方法，其特征在于：所述的光波導為集成光波導(9)，設置納腔結構在集成光波導(9)的上表面上，具體是將金屬膜(3)布置在集成光波導(9)的上表面上，金屬膜(3)外表面包覆一層介質層(2)，介質層(2)外表面固定上金屬納米顆粒(1)。

6.根據權利要求1所述的一種光波導激發納腔表面等離激元共振的方法，其特征在于：所述的金屬納米顆粒(1)和金屬膜(3)的材料為金、銀、銅、鋁等。

7.根據權利要求1所述的一種光波導激發納腔表面等離激元共振的方法，其特征在于：所述的金屬膜(3)的厚度小于50nm，為采用熱蒸鍍、電子束蒸鍍、磁控濺射等方法制備的多晶金屬膜、或者化學方法合成的單晶金屬片。

8.根據權利要求1所述的一種光波導激發納腔表面等離激元共振的方法，其特征在于：所述的介質層(2)的厚度小于20nm，材料包括聚合物、有機分子、氧化硅、氧化鋁等。