[發明專利]晶圓貼合膜及其制造方法在審
| 申請號： | 202210064187.6 | 申請日： | 2022-01-20 |
| 公開（公告）號： | CN114479705A | 公開（公告）日： | 2022-05-13 |
| 發明（設計）人： | 吳革明 | 申請（專利權）人： | 三星半導體（中國）研究開發有限公司;三星電子株式會社 |
| 主分類號： | C09J7/29 | 分類號： | C09J7/29;H01L21/683 |
| 代理公司： | 北京銘碩知識產權代理有限公司 11286 | 代理人： | 陳曉博;尹淑梅 |
| 地址： | 215021 江蘇*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 貼合 及其 制造 方法 | ||
1.一種晶圓貼合膜，包括：
基材膜；
壓感材料層，設置在所述基材膜上；
粘合層，設置在所述壓感材料層上；以及
貼片膜，設置在所述粘合層上。
2.根據權利要求1所述的晶圓貼合膜，其中，所述基材膜、所述壓感材料層和所述粘合層均為圓形并且具有第一直徑，所述貼片膜為圓形并且具有第二直徑，所述第一直徑大于所述第二直徑。
3.根據權利要求1所述的晶圓貼合膜，其中，所述壓感材料層包括順序地堆疊的至少一個感應層。
4.根據權利要求3所述的晶圓貼合膜，其中，所述至少一個感應層在受到壓力時發生外觀變化。
5.根據權利要求3所述的晶圓貼合膜，其中，所述至少一個感應層在受到壓力和加熱雙重作用時發生外觀變化。
6.根據權利要求3所述的晶圓貼合膜，其中，所述至少一個感應層在受到壓力和光照雙重作用時發生外觀變化。
7.根據權利要求4-6中任一項所述的晶圓貼合膜，其中，所述外觀變化為顏色變化。
8.一種制造晶圓貼合膜的方法，包括：
制備基材膜；
在所述基材膜上設置壓感材料層；
在所述壓感材料層上設置粘合層；以及
在所述粘合層上設置貼片膜。
9.根據權利要求8所述的方法，其中，設置所述壓感材料層的步驟包括在所述基材膜上順序地設置至少一個感應層，所述至少一個感應層在受到壓力時發生外觀變化。
10.根據權利要求8所述的方法，其中，設置所述壓感材料層時的壓力小于所述壓感材料層的最小感知壓力。
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