[發明專利]一種MEMS陀螺儀

在審

• 申請號: 202210061281.6
• 申請日: 2022-01-19
• 公開（公告）號: CN114623814A
• 公開（公告）日: 2022-06-14
• 發明（設計）人: 馬昭;占瞻;楊珊;闞梟;嚴世濤;李楊;彭宏韜;黎家健;陳秋玉;洪燕
• 申請（專利權）人: 瑞聲開泰科技（武漢）有限公司
• 主分類號: G01C19/5621
• 分類號: G01C19/5621
• 代理公司: 北京匯思誠業知識產權代理有限公司 11444
• 代理人: 姚寶然

1.一種MEMS陀螺儀，包括襯底、第一單元和第二單元，所述第一單元以及第二單元沿第一方向相對設置于所述襯底上，所述第一單元與所述第二單元通過耦合彈簧連接，所述襯底上還設有驅動電極以及若干檢測電極,其特征在于：

所述第一單元包括沿垂直于所述第一方向的第二方向相對設置的第一質量塊和第二質量塊，所述MEMS陀螺儀還包括設置于所述第一質量塊和所述第二質量塊沿所述第二方向相對兩側的第一組耦合結構；所述第一組耦合結構通過第一組彈性梁與所述第一質量塊和所述第二質量塊連接；

所述第二單元包括沿所述第二方向相對設置的第三質量塊和第四質量塊，所述MEMS陀螺儀還包括設置于所述第三質量塊和所述第四質量塊沿所述第二方向相對兩側的第二組耦合結構；所述第二組耦合結構通過第二組彈性梁與所述第三質量塊和所述第四質量塊連接；所述第一組耦合結構與所述第二組耦合結構中沿所述第一方向相對的耦合結構均通過所述耦合彈簧連接。

2.根據權利要求1所述的MEMS陀螺儀，其特征在于，所述第一組耦合結構包括設于所述第一質量塊的遠離所述第二質量塊的一側的第一耦合結構，設于所述第一質量塊和所述第二質量塊之間的第二耦合結構以及設于所述第二質量塊的遠離所述第一質量塊的一側的第三耦合結構；所述第一耦合結構、第二耦合結構以及第三耦合結構與所述第一質量塊和/或所述第二質量塊通過所述第一組彈性梁連接；

所述第二組耦合結構包括設于所述第三質量塊的遠離所述第四質量塊的一側的第四耦合結構，設于所述第三質量塊和所述第四質量塊之間的第五耦合結構以及設于所述第四質量塊的遠離所述第三質量塊的一側的第六耦合結構；所述第四耦合結構、第五耦合結構以及第六耦合結構與所述第三質量塊和/或所述第四質量塊通過所述第二組彈性梁連接；所述第一耦合結構與所述第四耦合結構、所述第二耦合結構與所述第五耦合結構、所述第三耦合結構與所述第六耦合結構之間均通過所述耦合彈簧連接。

3.根據權利要求1所述的MEMS陀螺儀，其特征在于，所述驅動電極設于所述第一單元和所述第二單元之間，所述第一質量塊、所述第二質量塊、所述第三質量塊、所述第四質量塊的內側均設有活動驅動叉指，所述活動驅動叉指與所述驅動電極上的固定驅動叉指形成驅動電容。

4.根據權利要求3所述的MEMS陀螺儀，其特征在于，所述若干檢測電極與所述第一單元和所述第二單元的沿所述第一方向的外側對應并分別與所述第一質量塊、所述第二質量塊、所述第三質量塊、所述第四質量塊間隔設置形成檢測電容。

5.根據權利要求2所述的MEMS陀螺儀，其特征在于，所述MEMS陀螺儀還包括固定于所述襯底的若干錨點結構，所述第一耦合結構內貫穿有第一槽，所述第二耦合結構內貫穿有第二槽，所述第三耦合結構內貫穿有第三槽，所述若干錨點結構包括分別設于所述第一槽、所述第二槽以及所述第三槽內的第一錨點、第二錨點和第三錨點，所述MEMS陀螺儀的第一單元通過所述第一錨點、所述第二錨點和所述第三錨點固定于所述襯底；

所述第四耦合結構內貫穿有第四槽，所述第五耦合結構內貫穿有第五槽，所述第六耦合結構內貫穿有第六槽，所述若干錨點結構還包括分別設于所述第四槽、所述第五槽以及所述第六槽內的第四錨點、第五錨點和第六錨點，所述MEMS陀螺儀的第二單元通過所述第四錨點、所述第五錨點和所述第六錨點固定于所述襯底。

6.根據權利要求5所述的MEMS陀螺儀，其特征在于，所述若干錨點結構分別通過至少一個彈性梁連接到其所在的耦合結構。

7.根據權利要求6所述的MEMS陀螺儀，其特征在于，所述錨點結構還包括設于所述第一質量塊的遠離所述第二質量塊的一側且固定于所述襯底的第七錨點，設于所述第二質量塊的遠離所述第一質量塊的一側且固定于所述襯底的第八錨點，所述第七錨點和所述第八錨點分別通過彈性梁與所述第一質量塊或所述第二質量塊連接。