[發(fā)明專利]一種利用特斯拉線圈清理三維原子探針近局域電極的方法有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 202210060261.7 | 申請(qǐng)日： | 2022-01-19 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN114392985B | 公開（公告）日： | 2023-10-10 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 靳慎豹;白潔;馮曼;沙剛 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 南京理工大學(xué) |
| 主分類號(hào)： | B08B7/00 | 分類號(hào)： | B08B7/00;B08B13/00;G01N23/2251 |
| 代理公司： | 北京中濟(jì)緯天專利代理有限公司 11429 | 代理人： | 劉濤 |
| 地址： | 210094 江蘇省南*** | 國(guó)省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 利用 特斯拉 線圈 清理 三維 原子 探針 局域 電極 方法 | ||
1.一種利用特斯拉線圈清理三維原子探針近局域電極的方法，其特征在于：該方法包括如下步驟：
S1：首先將三維原子探針近局域電極從三維原子探針設(shè)備上取下，然后使用夾持器械將三維原子探針近局域電極固定在清理工作臺(tái)上；
S2：其次將特斯拉線圈尖端對(duì)準(zhǔn)近局域電極微孔，留有1-3mm的距離；
S3：檢查特斯拉線圈、三維原子探針近局域電極正常后，給特斯拉線圈接通電源；
S4：將特斯拉線圈旋轉(zhuǎn)出電火花，對(duì)近局域電極表面清理10-20秒，隨后給特斯拉線圈斷電；
S5：將清理后的三維原子探針近局域電極放入掃描電鏡下觀察，觀察其表面是否被清理干凈，是否存在凸出的針尖等臟污，清理干凈后放入三維原子探針設(shè)備中；
S6：將清理干凈后的三維原子探針近局域電極放入三維原子探針預(yù)真空艙中加熱10-20分鐘后，進(jìn)行等離子清洗7-9小時(shí)，清理完畢后三維原子探針近局域電極可正常使用。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種利用特斯拉線圈清理三維原子探針近局域電極的方法，其特征在于：所述S2中的特斯拉線圈使用230V的交流電進(jìn)行工作。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種利用特斯拉線圈清理三維原子探針近局域電極的方法，其特征在于：所述S2中的特斯拉線圈使用0.18A大小的電流工作。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種利用特斯拉線圈清理三維原子探針近局域電極的方法，其特征在于：所述S2中的三維原子探針近局域電極垂直于特斯拉線圈固定。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種利用特斯拉線圈清理三維原子探針近局域電極的方法，其特征在于：所述S1中的清理工作臺(tái)的上方安裝有水平隔板。
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