[發(fā)明專(zhuān)利]晶圓表面缺陷檢測(cè)方法及其裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202210055920.8
• 申請(qǐng)日: 2022-01-18
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN115127999A
• 公開(kāi)（公告）日: 2022-09-30
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王上棋;陳苗霈;吳翰宗;蔡佳琪;李依晴
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 環(huán)球晶圓股份有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): G01N21/01
• 分類(lèi)號(hào): G01N21/01;G01N21/88;G01N21/95
• 代理公司: 北京同立鈞成知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11205
• 代理人: 宋興;黃健

本發(fā)明提供一種晶圓表面缺陷檢測(cè)方法及晶圓表面缺陷檢測(cè)裝置。所述方法包括：接收晶圓的掃描信息，其中所述掃描信息包括多個(gè)掃描參數(shù)；決定所述掃描信息的至少一參考點(diǎn)，并根據(jù)所述至少一參考點(diǎn)及參考值產(chǎn)生路徑信息；根據(jù)所述路徑信息取得所述掃描參數(shù)中對(duì)應(yīng)所述路徑信息的多個(gè)第一掃描參數(shù)，以產(chǎn)生曲線(xiàn)圖；以及根據(jù)所述曲線(xiàn)圖判斷所述晶圓是否具有缺陷并判斷所述缺陷的缺陷類(lèi)型。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體晶圓的瑕疵檢測(cè)技術(shù)，尤其涉及一種晶圓表面缺陷檢測(cè)方法及晶圓表面缺陷檢測(cè)裝置。

背景技術(shù)

在電子元件出廠(chǎng)前，一般是由資深目檢人員對(duì)欲測(cè)試的電子元件進(jìn)行肉眼檢測(cè)，以對(duì)所生產(chǎn)的電子元件是否存在缺陷或?qū)﹄娮釉欠衿教沟扰袛鄺l件進(jìn)行確認(rèn)。例如，在判定碳化硅(SiC)晶圓的平坦度時(shí)，通常會(huì)先通過(guò)自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)(Automated OpticalInspection，AOI)設(shè)備獲得碳化硅晶圓的霧度(Haze)圖像，再通過(guò)人眼對(duì)霧度圖像進(jìn)行人工的判讀。

然而，由目檢人員進(jìn)行肉眼檢測(cè)的判讀方式?jīng)]有一致的標(biāo)準(zhǔn)可遵循，因此經(jīng)常會(huì)因?yàn)槟繖z人員各自的主觀判讀而造成誤判。因此如何避免依靠肉眼檢測(cè)而造成檢測(cè)結(jié)果過(guò)于主觀的問(wèn)題，實(shí)為本領(lǐng)域技術(shù)人員所關(guān)心的議題。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明提供一種晶圓表面缺陷檢測(cè)方法及晶圓表面缺陷檢測(cè)裝置，能夠自動(dòng)辨識(shí)晶圓的掃描信息并且提高缺陷檢測(cè)的完整性以及準(zhǔn)確率。

本發(fā)明的一實(shí)施例提供一種晶圓表面缺陷檢測(cè)方法，適用于包括處理器的電子裝置。所述方法包括：接收晶圓的掃描信息，其中所述掃描信息包括多個(gè)掃描參數(shù)；決定所述掃描信息的至少一參考點(diǎn)，并根據(jù)所述至少一參考點(diǎn)及參考值產(chǎn)生路徑信息；根據(jù)所述路徑信息取得所述掃描參數(shù)中對(duì)應(yīng)所述路徑信息的多個(gè)第一掃描參數(shù)，以產(chǎn)生曲線(xiàn)圖；以及根據(jù)所述曲線(xiàn)圖判斷所述晶圓是否具有缺陷并判斷所述缺陷的缺陷類(lèi)型。

在本發(fā)明的一范例實(shí)施例中，上述參考值包括至少一半徑。上述決定所述掃描信息的所述至少一參考點(diǎn)，并根據(jù)所述至少一參考點(diǎn)及所述參考值產(chǎn)生所述路徑信息的步驟包括：計(jì)算所述掃描信息所對(duì)應(yīng)的所述晶圓的圓心作為所述至少一參考點(diǎn)；以及基于所述至少一參考點(diǎn)，根據(jù)所述至少一半徑?jīng)Q定至少一圓形路徑。

在本發(fā)明的一范例實(shí)施例中，上述根據(jù)所述路徑信息取得所述掃描信息的所述掃描參數(shù)，以產(chǎn)生所述曲線(xiàn)圖的步驟包括：沿著所述至少一圓形路徑的方向，從所述掃描信息中所述至少一圓形路徑對(duì)應(yīng)的像素取得所述第一掃描參數(shù)；以及根據(jù)所述第一掃描參數(shù)及取得所述第一掃描參數(shù)的順序產(chǎn)生所述曲線(xiàn)圖。

在本發(fā)明的一范例實(shí)施例中，上述參考值包括切片角度。上述決定所述掃描信息的所述至少一參考點(diǎn)，并根據(jù)所述至少一參考點(diǎn)及所述參考值產(chǎn)生所述路徑信息的步驟包括：計(jì)算所述掃描信息的平口位置及所述掃描信息所對(duì)應(yīng)的所述晶圓的圓心；計(jì)算所述平口位置的中點(diǎn)作為第一參考點(diǎn)，并以所述圓心作為第二參考點(diǎn)；根據(jù)所述第一參考點(diǎn)及所述第二參考點(diǎn)決定參考路徑；以及根據(jù)參考路徑及所述切片角度決定穿心路徑。

在本發(fā)明的一范例實(shí)施例中，上述根據(jù)參考路徑及所述切片角度決定所述穿心路徑的步驟包括：根據(jù)所述切片角度計(jì)算旋轉(zhuǎn)角度；以及根據(jù)所述旋轉(zhuǎn)角度旋轉(zhuǎn)所述參考路徑以產(chǎn)生所述穿心路徑。

在本發(fā)明的一范例實(shí)施例中，上述根據(jù)所述路徑信息取得所述掃描參數(shù)中對(duì)應(yīng)所述路徑信息的所述第一掃描參數(shù)，以產(chǎn)生所述曲線(xiàn)圖的步驟包括：沿著所述穿心路徑的方向，從所述掃描信息中所述穿心路徑對(duì)應(yīng)的像素取得所述第一掃描參數(shù)；以及根據(jù)所述第一掃描參數(shù)及取得所述第一掃描參數(shù)的順序產(chǎn)生所述曲線(xiàn)圖。