[發明專利]一種用于風道煙塵檢測的光電檢測單元

在審

• 申請號: 202210055878.X
• 申請日: 2022-01-18
• 公開（公告）號: CN114993899A
• 公開（公告）日: 2022-09-02
• 發明（設計）人: 徐大鵬;劉光耀;周維
• 申請（專利權）人: 長沙精智達電子技術有限公司
• 主分類號: G01N15/06
• 分類號: G01N15/06;G08B21/16
• 代理公司: 深圳騰文知識產權代理有限公司 44680
• 代理人: 王娟

本申請公開了一種用于風道煙塵檢測的光電檢測單元，提升對煙霧檢測的敏感度。本申請實施例方法包括：主動單元和反射單元；所述主動單元由控制處理單元、紅外發射器和紅外接收器組成；所述主動單元設置于風道內壁的一側，所述主動單元中的所述控制處理單元與所述紅外發射器及紅外接收器電性連接，所述控制處理單元用于控制所述紅外發射器發射紅外光，所述控制處理單元還用于對所述紅外接收單元接收的反饋光信號進行處理；所述反射單元設置于所述風道內壁的另一側，所述反射單元與所述主動單元位置相對，所述反射單元用于將所述紅外發射器發射的紅外光通過所述反射單元反射至所述紅外接收器。

技術領域

本申請實施例涉及測試設備領域，尤其涉及一種用于風道煙塵檢測的光電檢測單元。

背景技術

新一代的DRAM集成電路在生產過程中，必須進行通電老化測試同時進行必要的修復才能保證產品質量，而且老化測試環節要求的溫度范圍比較大，典型范圍達到-20℃到+130℃，為了提高效率，降低成本，同一個老化批次的產品數量也非常大，典型數量是一個老化腔的腔體內載有一萬個以上的被測單元。

由于老化過程有修復要求，所以被測樣品必須在高/低溫環境下通電并進行功能測試，不良樣品就存在短路帶來的過熱和燃燒等風險，對相鄰的老化樣品和昂貴的老化設備帶來非常大的威脅。

在現有技術中，采用煙霧報警器可以及時發現燃燒異常，并進行處理，但是DRAM的老化過程的溫度范圍非常大，普通的煙霧探測器無法保證在整個老化溫區正常工作。所以，目前業內常用的方法就只是在被測單元的供電電路上增加一個保險絲，當被測單元出現短路異常時，切斷其供電，避免過熱和燃燒危害的擴展。但是，對于供電電壓越來越低、工作電流越來越大的新一代DRAM芯片來說，保險絲的寄生電阻會給芯片測試帶來不可預測的影響，從而導致測試結果的可信度降低。

發明內容

本申請實施例提供了一種用于風道煙塵檢測的光電檢測單元，用于提升對煙霧檢測的敏感度。

本申請提供了一種用于風道煙塵檢測的光電檢測單元，包括：

主動單元和反射單元；

所述主動單元由控制處理單元、紅外發射器和紅外接收器組成；

所述主動單元設置于風道內壁的一側，所述主動單元中的所述控制處理單元與所述紅外發射器及紅外接收器電性連接，所述控制處理單元用于控制所述紅外發射器發射紅外光，所述控制處理單元還用于對所述紅外接收單元接收的反饋光信號進行處理；

所述反射單元設置于所述風道內壁的另一側，所述反射單元與所述主動單元位置相對，所述反射單元用于將所述紅外發射器發射的紅外光通過所述反射單元反射至所述紅外接收器。

可選的，所述主動單元還包括：

模數轉換器、數模轉換器、脈沖調制電源和脈沖濾波器；

所述控制處理單元生成光源驅動脈沖數據并將所述脈沖數據傳輸至所述數模轉換器中，經過所述數模轉換器對所述脈沖數據進行轉換后將所述脈沖數據提供給所述脈沖調制電源，使得所述脈沖調制電源驅動所述紅外發射器向所述反射單元發射定向紅外光；

所述紅外接收器接收到所述定向紅外光后會將所述定向紅外光轉化為電信號，并將所述電信號輸入所述脈沖濾波器中，通過所述脈沖濾波器將所述電信號轉化為與所述模數轉換器可識別的交流信號，再由所述模數轉換器將所述交流信號轉化為所述控制處理單元可識別的數字信號。

可選的，所述紅外發射器、所述紅外接收器與所述控制處理單元的連接處設置第一反射板。

可選的，所述紅外發射器發射紅外光的方向設置第一透射板。

可選的，所述紅外發射器及紅外接收器之間依照預設距離設置第一定向格柵，所述第一定向格柵用于限制所述紅外發射器發射的紅外光的傳輸路徑。