[發(fā)明專利]一種大尺寸鉬靶材及其制備方法與應(yīng)用在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 202210053774.5 | 申請日： | 2022-01-18 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN114411103A | 公開（公告）日： | 2022-04-29 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 姚力軍;潘杰;郭紅波;李偉;王林生;吳慶勇 | 申請（專利權(quán)）人： | 寧波江豐鎢鉬材料有限公司 |
| 主分類號(hào)： | C23C14/34 | 分類號(hào)： | C23C14/34;B22F3/04;B22F3/18;B22F3/10;B22F5/00;B22F3/24 |
| 代理公司： | 北京遠(yuǎn)智匯知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11659 | 代理人： | 韓承志 |
| 地址： | 315460 浙江省*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 尺寸 鉬靶材 及其 制備 方法 應(yīng)用 | ||
1.一種大尺寸鉬靶材的制備方法，其特征在于，所述制備方法包括依次進(jìn)行的高純鉬粉裝模、冷等靜壓、燒結(jié)、熱軋、校平、熱處理、機(jī)械加工、清潔包裝，進(jìn)而制備得到所述大尺寸鉬靶材；
其中，所述熱軋采取階段熱軋法進(jìn)行，具體包括依次進(jìn)行的第一熱軋?zhí)幚?、第二熱軋?zhí)幚硪约暗谌裏彳執(zhí)幚怼?/p>
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法，其特征在于，所述高純鉬粉的純度≥99.96％；
優(yōu)選地，所述高純鉬粉中鉀含量≤20ppm；
優(yōu)選地，所述高純鉬粉裝模包括先將高純鉬粉裝入膠套、滾壓、震蕩后反復(fù)輥壓再反復(fù)震動(dòng)平整，而后密封。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的制備方法，其特征在于，所述冷等靜壓采用四級(jí)加壓方式以及四級(jí)泄壓方式；
優(yōu)選地，所述冷等靜壓的壓力為170-250MPa；
優(yōu)選地，所述冷等靜壓的時(shí)間為30-60min。
4.根據(jù)權(quán)利要求1-3任一項(xiàng)所述的制備方法，其特征在于，所述燒結(jié)溫度為1800-2000℃；
優(yōu)選地，所述燒結(jié)的時(shí)間為30-60h；
優(yōu)選地，所述燒結(jié)后鉬靶坯的整體厚度偏差≤4mm，兩邊厚度差≤2mm；
優(yōu)選地，所述燒結(jié)后鉬靶坯的密度為9.8-10g/cm3。
5.根據(jù)權(quán)利要求1-4任一項(xiàng)所述的制備方法，其特征在于，所述熱軋采用一火二道次軋制法；
優(yōu)選地，所述第一熱軋?zhí)幚淼幕鸫渭訜釡囟葹?200-1400℃，道次變形量為20-30％，熱軋速度為30-60m/min；
優(yōu)選地，所述第二熱軋?zhí)幚淼幕鸫渭訜釡囟葹?150-1350℃，道次變形量為15-25％，熱軋速度為40-70m/min；
優(yōu)選地，所述第三熱軋?zhí)幚淼幕鸫渭訜釡囟葹?100-1300℃，道次變形量為10-20％，熱軋速度為50-80m/min。
6.根據(jù)權(quán)利要求1-5任一項(xiàng)所述的制備方法，其特征在于，所述校平后鉬靶坯的平整度≤1.5mm；
優(yōu)選地，所述熱處理的溫度為1000-1400℃；
優(yōu)選地，所述熱處理的時(shí)間為10-90min。
7.根據(jù)權(quán)利要求1-6任一項(xiàng)所述的制備方法，其特征在于，所述機(jī)械加工包括對鉬靶坯依次進(jìn)行切割、銑床加工和磨床加工。
8.根據(jù)權(quán)利要求1-7任一項(xiàng)所述的制備方法，其特征在于，所述制備方法包括如下步驟：
(1)高純鉬粉裝模：將純度≥99.96％、鉀含量≤20ppm的高純鉬粉裝入膠套、滾壓、震蕩后反復(fù)輥壓再反復(fù)震動(dòng)平整，而后密封；
(2)冷等靜壓：采用四級(jí)加壓方式以及四級(jí)泄壓方式；所述冷等靜壓的壓力為170-250MPa，時(shí)間為30-60min；
(3)燒結(jié)：將冷等靜壓壓制后的鉬靶坯在1800-2000℃的溫度下燒結(jié)30-60h；所述燒結(jié)后的鉬靶坯的密度為9.8-10g/cm3；整體厚度偏差≤4mm，兩邊厚度差≤2mm；
(4)熱軋：采用一火二道次軋制法將所述燒結(jié)后的鉬靶坯依次進(jìn)行第二熱軋?zhí)幚硪约暗谌裏彳執(zhí)幚?；所述第一熱軋?zhí)幚淼幕鸫渭訜釡囟葹?200-1400℃，道次變形量為20-30％，熱軋速度為30-60m/min；所述第二熱軋?zhí)幚淼幕鸫渭訜釡囟葹?150-1350℃，道次變形量為15-25％，熱軋速度為40-70m/min；所述第三熱軋?zhí)幚淼幕鸫渭訜釡囟葹?100-1300℃，道次變形量為10-20％，熱軋速度為50-80m/min；
(5)校平：校平步驟(4)所述燒結(jié)后的鉬靶坯，得到平整度≤1.5mm的鉬靶坯；
(6)熱處理：在1100-1400℃的溫度下熱處理步驟(5)所得校平后的鉬靶坯10-90min；
(7)機(jī)械加工：對步驟(6)所得熱處理后的鉬靶坯依次進(jìn)行切割、銑床加工和磨床加工；
(8)清潔包裝：清洗步驟(7)所得鉬靶坯，得到所述大尺寸鉬靶材。
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C23C14-22 .以鍍覆工藝為特征的
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