[發(fā)明專利]一種用于三氯氫硅吸附除雜的活性炭吸附方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 202210049781.8 | 申請日： | 2022-01-17 |
| 公開（公告）號： | CN114470869A | 公開（公告）日： | 2022-05-13 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 陳錦溢;楊金杯;余美瓊;楊圳;聶晨曦 | 申請（專利權(quán)）人： | 福建技術(shù)師范學(xué)院 |
| 主分類號： | B01D15/10 | 分類號： | B01D15/10;B01D15/16;B01D15/20;B01D46/00;B01D46/24;B01D46/88 |
| 代理公司： | 北京易捷勝知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11613 | 代理人： | 陳秀琴 |
| 地址： | 350300 福建*** | 國省代碼： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 用于 三氯氫硅 吸附 活性炭 方法 | ||
1.一種用于三氯氫硅吸附除雜的活性炭吸附方法，其特征在于，其包括：活性炭吸附裝置，該活性炭吸附裝置包括吸附柱殼體(W1)，所述吸附柱殼體(W1)的頂部和底部均為封閉狀；所述吸附柱殼體(W1)的外壁纏繞有外盤管(W9)；所述吸附柱殼體(W1)的上部設(shè)有吸附劑進口(W7)；所述吸附柱殼體(W1)底部設(shè)置吸附劑卸放口，所述吸附劑卸放口上連接有吸附劑卸放管(W5)，所述吸附柱殼體(W1)的下部設(shè)有進料管式分布器(W2)，所述吸附柱殼體(W1)的上部設(shè)有出料管式分布器(W3)，所述吸附柱殼體(W1)的上部設(shè)有尾氣出口過濾管(W4)；
所述進料管式分布器(W2)包括進料管式分布管道和設(shè)置在進料管式分布管道上用于攔截作用的過濾帽(W6)，進料管式分布管道與吸附柱殼體(W1)的物料進口之間相連接；所述出料管式分布器(W3)包括出料管式分布管道和設(shè)置在出料管式分布管道上用于攔截作用的過濾帽(W6)，出料管式分布管道與吸附柱殼體(W1)的物料出口之間相連接；
所述吸附柱殼體(W1)的底部為倒錐形結(jié)構(gòu)，其錐角為120°；所述吸附柱殼體(W1)底部的倒錐形結(jié)構(gòu)的錐底設(shè)置吸附劑卸放口，所述吸附劑卸放口上連接有吸附劑卸放管(W5)，所述吸附劑卸放管(W5)的中心線與垂直線成120°夾角；
所述吸附劑卸放管(W5)的中心線與垂直線成120°夾角；吸附劑卸放管(W5)的末端焊有與其成90°夾角并且豎直向下的接管分支，接管分支外接150目絲網(wǎng)的Y型過濾器；
吸附時，活性炭吸附劑首先用吸附劑進口(W7)裝填進吸附柱殼體(W1)，活性炭吸附劑的裝填量為吸附柱殼體(W1)的總體積的80％；裝填好后外盤管(W9)通入120℃的熱氮氣進行烘干，確?；钚蕴课絼┲械乃趾康陀?0ppm；然后將低溫三氯氫硅經(jīng)進料管式分布器(W2)進行均布后通過活性炭吸附劑床層，進行吸附除硼；吸附后的三氯氫硅經(jīng)出料管式分布器(W3)進行物料和活性炭吸附劑的分離，將三氯氫硅排出。
2.如權(quán)利要求1所述的一種用于三氯氫硅吸附除雜的活性炭吸附方法，其特征在于，所述出料管式分布管道的結(jié)構(gòu)與進料管式分布管道的結(jié)構(gòu)相對稱，所述進料管式分布管道包括主管(21),主管(21)的兩端為封閉端；所述主管(21)的兩側(cè)分別按間隔設(shè)有若干支管(22)，支管(22)與主管(21)相互垂直連通，且支管(22)的末端為封閉狀；同一側(cè)的若干支管(22)通過連接板(23)相固定；每個支管(22)上按間隔設(shè)有若干銳孔，每個銳孔上連接有過濾帽(W6)；所述主管(21)上連接有料管(24)，用于進料或出料。
3.如權(quán)利要求2所述的一種用于三氯氫硅吸附除雜的活性炭吸附方法，其特征在于，所述過濾帽(W6)包括絲桿(61)和與絲桿相連接的帽頭(62)，所述絲桿(61)與銳孔相連接。
4.如權(quán)利要求3所述的一種用于三氯氫硅吸附除雜的活性炭吸附方法，其特征在于，所述帽頭(62)的直徑為70mm，過濾縫隙為0.25mm，帽頭(62)的高度為100mm；絲桿(61)采用外螺紋M32，高度為55mm。
5.如權(quán)利要求1所述的一種用于三氯氫硅吸附除雜的活性炭吸附方法，其特征在于，所述尾氣出口過濾管(W4)的末端為封閉狀，尾氣出口過濾管(W4)的表面均布開設(shè)通孔(41)，然后用絲網(wǎng)(42)裹夾，絲網(wǎng)(42)和尾氣出口過濾管(W4)的表面按照梅花點陣焊接，點焊避開通孔位置。
6.如權(quán)利要求5所述的一種用于三氯氫硅吸附除雜的活性炭吸附方法，其特征在于，所述通孔(41)的直徑為12mm，通孔(41)的數(shù)量為12個；所述絲網(wǎng)(42)為雙層150目的絲網(wǎng)。
7.如權(quán)利要求1所述的一種用于三氯氫硅吸附除雜的活性炭吸附方法，其特征在于，所述吸附柱殼體(W1)的側(cè)邊連接有液位計(W8)。
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