[發明專利]一種低濃度含氟廢水的處理方法

在審

• 申請號: 202210047385.1
• 申請日: 2022-01-17
• 公開（公告）號: CN114349231A
• 公開（公告）日: 2022-04-15
• 發明（設計）人: 邱立京;王堃;劉圍;周漪雯
• 申請（專利權）人: 江蘇電科環保有限公司
• 主分類號: C02F9/06
• 分類號: C02F9/06;C01C1/16;C02F101/14
• 代理公司: 無錫盛陽專利商標事務所(普通合伙) 32227
• 代理人: 顧吉云;李衛萍

本發明提供一種低濃度含氟廢水的處理方法，用于蝕刻廢液處理工藝的后續處理，降低能耗費用的同時，回收得到高濃度的氟化氫銨溶液，提高資源利用效果，并降低排放水的的含氟量，保證環境安全；其包括以下步驟，將含氟處理廢水通入預反應罐與回收氫氟酸溶液進行預處理，得到氟化氫銨溶液；然后通入微濾過濾器進行過濾，再采用電滲析裝置進行兩級電滲析處理，一級電滲析裝置處理得到一級淡水和一級濃水，一級淡水進入淡水儲罐，一級濃水經一級濃水罐進入二級電滲析裝置處理得到二級淡水和二級濃水，二級淡水回用于一級電滲析裝置，二級濃水進入濃水儲罐。

技術領域

本發明涉及工業廢水處理技術領域，具體為一種低濃度含氟廢水的處理方法。

背景技術

半導體刻蝕工藝產生的蝕刻廢液主要含有氫氟酸和氟化銨，通過蒸發濃縮的廢液處理工藝可得到氟化氫銨產品，從而實現資源的回收利用，然而，在蒸發濃縮過程中，蒸出的餾分會夾帶一定量的氟及氨氮，導致經冷凝后形成的處理廢水中含有質量分數大約為0.5～5%的氟化銨，即含氟量約為2500～26000mg/L、氨氮含量約為2300～25000mg/L，這種含氟處理廢水若直接排放會造成環境污染，若回用于蒸發濃縮的廢液處理工藝，則由于濃度較低導致能耗費用較高，且蒸發濃縮時會有霧沫夾帶，因此再次蒸發濃縮的餾分仍然無法達到排放標準，影響環境安全。

發明內容

針對現有蝕刻廢液蒸發濃縮處理工藝得到的處理廢水含氟量不達標、直接排放導致環境污染，回用于廢液處理工藝耗能較大的缺點，本發明提供了一種低濃度含氟廢水的處理方法，用于蝕刻廢液處理工藝的后續處理，降低能耗費用的同時，回收得到高濃度的氟化氫銨溶液，提高資源利用效果，并降低排放水的的含氟量，保證環境安全。

本發明采用如下技術方案：其特征在于，其包括以下步驟，

S1：將氟化銨質量分數為0.5～5%的含氟處理廢水通入預反應罐，加入質量分數為10～50%的回收氫氟酸溶液進行預處理，所述含氟處理廢水與所述回收氫氟酸溶液的用量為所述氟化銨和氫氟酸的摩爾比1：1.05～1：1.2，常溫常壓下反應15～30分鐘，得到氟化氫銨溶液；

S2：然后通入微濾過濾器進行過濾，并控制所述氟化氫銨溶液通過所述微濾過濾器的壓力為0.5mpa±0.05mpa；得到氟化氫銨過濾液；

S3：再采用電滲析裝置進行兩級電滲析處理，一級電滲析裝置處理2h，得到一級淡水和一級濃水，所述一級濃水經一級濃水罐進入二級電滲析裝置，所述一級淡水進入淡水儲罐，所述二級電滲析裝置處理1h，得到二級淡水和二級濃水，所述二級淡水回用于所述一級電滲析裝置，所述二級濃水進入濃水儲罐。

其進一步特征在于：

S2中，過濾時， 使用增壓泵控制所述壓力；

S2中，所述微濾過濾器采用聚四氟乙烯（PTFE）濾芯，膜孔徑為10μm；

S3中，所述電滲析裝置的電滲析膜為均相膜；

S3中，所述電滲析裝置的電極為鈦涂銥鉭電極；

S1中，所述預反應罐設有攪拌裝置。

本發明的有益效果是：本方法用于蝕刻廢液處理工藝的后續處理，工藝簡單，不僅可避免次生危廢或者產生二次污染，而且在降低能耗費用的同時，可回收得到較高濃度的氟化氫銨溶液，回用于蝕刻廢液處理工藝的蒸發系統、提高資源的利用效果，經本方法后還可降低排放水的的含氟量，使其符合排放標準，保證環境安全，或者用于其他處理工藝中的沖洗水、循環冷卻水的用水點，提高資源利用率。

附圖說明

圖1為本發明的工藝流程圖；

圖2為本發明的系統結構示意圖；

圖3為一級/二級電滲析裝置的結構示意圖。

具體實施方式

下面結合應用例以及附圖對本發明作進一步的說明：

如圖1～3所示，本發明提供一種低濃度含氟廢水的處理方法，其包括以下步驟，