[發明專利]一種制備氧化鎵料棒的裝置及方法

有效

• 申請號: 202210047059.0
• 申請日: 2022-01-17
• 公開（公告）號: CN114059173B
• 公開（公告）日: 2022-04-01
• 發明（設計）人: 張輝;王嘉斌;夏寧;馬可可;劉瑩瑩;楊德仁
• 申請（專利權）人: 浙江大學杭州國際科創中心
• 主分類號: C30B35/00
• 分類號: C30B35/00;C30B29/16
• 代理公司: 杭州裕陽聯合專利代理有限公司 33289
• 代理人: 田金霞

1.一種制備氧化鎵料棒的裝置，其特征在于，包括：

鎵料供應裝置，用于盛放與供應有機鎵原料；

第一汽化裝置，所述第一汽化裝置將所述鎵料供應裝置輸出的有機鎵原料汽化；

第一送料泵，所述第一送料泵用于將有機鎵原料輸送至所述第一汽化裝置；

燃燒反應裝置，所述燃燒反應裝置與所述第一汽化裝置連接，用于燃燒汽化有機鎵原料；

噴燈裝置，所述噴燈裝置設置于所述燃燒反應裝置內，用于接收與混合燃燒汽化有機鎵原料與氧氣；

料棒連接裝置，所述料棒連接裝置可活動地設置于所述燃燒反應裝置內部，在所述料棒連接裝置的下端連接有氧化鎵料棒，用于接收燃燒反應裝置內燃燒后產生的氧化鎵，上部設有稱重傳感器，用于控制氧化鎵料棒的沉積過程；

驅動裝置，所述驅動裝置用于驅動料棒連接裝置在燃燒反應裝置內部的移動；

廢氣處理裝置，所述廢氣處理裝置用于接收所述燃燒反應裝置內產生的廢氣。

2.根據權利要求1所述的一種制備氧化鎵料棒的裝置，其特征在于，所述第一汽化裝置包括閃蒸罐與加熱裝置，所述加熱裝置包裹所述閃蒸罐的外部，所述閃蒸罐的底部設有稱重系統。

3.根據權利要求1所述的一種制備氧化鎵料棒的裝置，其特征在于，所述噴燈裝置的噴燈口與水平線之間的夾角為30°-60°。

4.根據權利要求1所述的一種制備氧化鎵料棒的裝置，其特征在于，所述料棒連接裝置的下端用于夾持氧化鎵料棒，所述料棒連接裝置的上端與所述驅動裝置固定，所述驅動裝置控制所述料棒連接裝置旋轉，上升或下降。

5.根據權利要求1所述的一種制備氧化鎵料棒的裝置，其特征在于，所述廢氣處理裝置包括廢氣收集組件與粉塵處理組件。

6.根據權利要求1所述的一種制備氧化鎵料棒的裝置，其特征在于，所述燃燒反應裝置頂部還設有壓力檢測裝置與溫度檢測裝置，所述燃燒反應裝置的夾層中設置有冷卻管道。

7.根據權利要求1所述的一種制備氧化鎵料棒的裝置，其特征在于，所述鎵料供應裝置，所述第一汽 化裝置以及所述燃燒反應裝置之間通過不銹鋼管道連接，所述不銹鋼管道進行加熱并保溫。

8.根據權利要求1-7任一項所述的一種制備氧化鎵料棒的裝置，其特征在于，還包括摻雜料源供應裝置、第二汽化裝置與第二送料泵，所述第二送料泵用于將摻雜料源輸送至所述第二汽化裝置，所述第二汽化裝置與所述噴燈裝置連接，將汽化后的摻雜料源輸送至所述噴燈裝置。