[發明專利]晶硅太陽能電池的擴散方法及其應用在審
| 申請號： | 202210046733.3 | 申請日： | 2022-01-17 |
| 公開（公告）號： | CN114464701A | 公開（公告）日： | 2022-05-10 |
| 發明（設計）人： | 任常瑞;孫海杰;董建文;張佳舟;符黎明 | 申請（專利權）人： | 常州時創能源股份有限公司 |
| 主分類號： | H01L31/18 | 分類號： | H01L31/18;H01L21/225;H01L31/068 |
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| 地址： | 213300 江蘇*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 太陽能電池 擴散 方法 及其 應用 | ||
1.晶硅太陽能電池的擴散方法，其特征在于，對制絨后的硅片涂覆液態擴散源并烘干，對覆有擴散源的硅片進行激光摻雜，對完成激光摻雜的硅片進行鏈式高溫推結和氧化處理，完成擴散PN結和表面PSG的制備。
2.根據權利要求1所述的晶硅太陽能電池的擴散方法，其特征在于，所述液態擴散源為液態磷源或液態硼源。
3.根據權利要求2所述的晶硅太陽能電池的擴散方法，其特征在于，所述液態磷源選自磷酸、磷漿中的一種。
4.根據權利要求2所述的晶硅太陽能電池的擴散方法，其特征在于，所述液態硼源選自硼酸、硼漿中的一種。
5.根據權利要求1所述的晶硅太陽能電池的擴散方法，其特征在于，所述涂覆采用噴涂、旋涂、滾刷或絲網印刷方式。
6.根據權利要求1所述的晶硅太陽能電池的擴散方法，其特征在于，所述烘干在鏈式烘干設備中進行。
7.根據權利要求1所述的晶硅太陽能電池的擴散方法，其特征在于，所述烘干的溫度控制在150～750℃，時間控制在30～80s。
8.根據權利要求1所述的晶硅太陽能電池的擴散方法，其特征在于，所述激光摻雜采用皮秒激光器或納秒激光器，激光波長控制在355～1480nm，功率控制在25～60W，光斑大小控制在20～45um。
9.根據權利要求1所述的晶硅太陽能電池的擴散方法，其特征在于，所述鏈式高溫推結和氧化處理在鏈式擴散爐中進行，爐內通氧氣，在有氧氣、溫度700～950℃的環境內進行推結和氧化處理，時間控制在2～5min。
10.晶硅太陽能電池的制備方法，包括制備擴散PN結和表面PSG；其特征在于，所述制備擴散PN結和表面PSG采用權利要求1至9中任一項所述的擴散方法。
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H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L31-00 對紅外輻射、光、較短波長的電磁輻射，或微粒輻射敏感的，并且專門適用于把這樣的輻射能轉換為電能的，或者專門適用于通過這樣的輻射進行電能控制的半導體器件；專門適用于制造或處理這些半導體器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半導體本體為特征的
H01L31-04 .用作轉換器件的
H01L31-08 .其中的輻射控制通過該器件的電流的，例如光敏電阻器
H01L31-12 .與如在一個共用襯底內或其上形成的，一個或多個電光源，如場致發光光源在結構上相連的，并與其電光源在電氣上或光學上相耦合的
