[發明專利]圖像檢測裝置和圖像檢測方法在審
| 申請號： | 202210041147.X | 申請日： | 2022-01-14 |
| 公開（公告）號： | CN114764065A | 公開（公告）日： | 2022-07-19 |
| 發明（設計）人： | 夏愛明;伊賀崎史朗 | 申請（專利權）人： | 株式會社三豐 |
| 主分類號： | G01N21/84 | 分類號： | G01N21/84 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律師事務所 11105 | 代理人： | 金蘭 |
| 地址： | 日本神*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 圖像 檢測 裝置 方法 | ||
1.一種圖像檢測裝置，具備：
圖像檢測光學系統，包括液體諧振式透鏡，所述圖像檢測光學系統根據輸入到所述液體諧振式透鏡的驅動信號，使對焦位置周期性地變化；
圖像檢測部，通過所述圖像檢測光學系統，檢測與所述驅動信號的檢測相位對應的圖像；
范圍決定部，根據所述對焦位置的變動波形所示的相位延遲的正負，將所述檢測相位的允許設定范圍決定為所述驅動信號的周期前半段或周期后半段；
檢測相位設定部，將所述檢測相位設定在所述允許設定范圍內；以及
檢測控制部，將基于所述圖像檢測部的圖像檢測定時控制為從所述檢測相位偏移相當于所述相位延遲的角度后的定時。
2.如權利要求1所述的圖像檢測裝置，其特征在于，
所述檢測相位設定部計算在所述對焦位置的可變范圍內以等間隔被配置的多個檢測對焦位置，將與所述檢測對焦位置分別對應的所述驅動信號的相位分別設定為所述檢測相位。
3.一種圖像檢測方法，其是在圖像檢測裝置中被實施的圖像檢測方法，所述圖像檢測裝置具備：圖像檢測光學系統，包括液體諧振式透鏡，所述圖像檢測光學系統根據輸入到所述液體諧振式透鏡的驅動信號，使對焦位置周期性地變化；以及圖像檢測部，通過所述圖像檢測光學系統，檢測與所述驅動信號的檢測相位對應的圖像，
所述圖像檢測方法包括：
范圍決定步驟，根據所述對焦位置的變動波形所示的相位延遲的正負，將所述檢測相位的允許設定范圍決定為所述驅動信號的周期前半段或周期后半段；
檢測相位設定步驟，將所述檢測相位設定在所述允許設定范圍內；以及
檢測控制步驟，將基于所述圖像檢測部的圖像檢測定時控制為從所述檢測相位偏移相當于所述相位延遲的角度后的定時。
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