[發明專利]一種石英晶體片加工用的表面除塵清洗裝置及其使用方法

在審

• 申請號: 202210037149.1
• 申請日: 2022-01-13
• 公開（公告）號: CN114308795A
• 公開（公告）日: 2022-04-12
• 發明（設計）人: 張斌;鄭寶春;鄭寶生
• 申請（專利權）人: 浙江藍晶芯微電子有限公司
• 主分類號: B08B1/04
• 分類號: B08B1/04;B08B1/00;B08B3/02;B08B13/00;B08B3/14
• 代理公司: 深圳市蘭鋒盛世知識產權代理有限公司 44504
• 代理人: 吳巧華

本發明公開了一種石英晶體片加工用的表面除塵清洗裝置及其使用方法，涉及石英晶體片除塵清洗裝置技術領域；為了提高除塵的速率；該表面除塵清洗裝置包括處理箱主體、放置組件、清洗機構和除塵機構；所述除塵機構包括支架、液壓缸、護板、凸形桿、彈簧一、拉動環、滑輪、拉繩、橫移板一、限位板、連接桿、橫移板二和旋轉刷輥；所述支架固定于處理箱主體一側內壁，凸形桿活動連接于支架內壁，彈簧一卡接于支架和凸形桿之間；該表面除塵清洗裝置的使用方法，包括以下步驟：將石英晶片放置在容置架內。本發明通過液壓缸驅動拉動環沿著橫向對移動凸桿進行水平拉動，使得橫移板一和橫移板二在滑輪的調向作用下沿著相反的方向進行移動。

技術領域

本發明涉及石英晶體片除塵清洗裝置技術領域，尤其涉及一種石英晶體片加工用的表面除塵清洗裝置及其使用方法。

背景技術

石英晶片表面灰塵覆蓋對其使用性能影響十分巨大，不僅增加產品本身的成本而且降低了石英晶片的使用壽命，從而每個地區氣候的不同和每個月的塵埃的覆蓋量的隨機性，所以自動化的對石英晶片表面進行除塵和清洗是非常有必要的。

經檢索，中國專利申請號為CN202022592218.4的專利，公開了一種石英片加工用清洗除塵裝置。所述石英片加工用清洗除塵裝置，包括：箱體，所述箱體內壁的底部固定連接有底板，所述底板的頂部滑動連接有齒條，所述齒條的一側固定連接有電動伸縮。

上述專利中的一種石英片加工用清洗除塵裝置存在以下不足：在對石英晶片進行清洗時，需要將石英晶片平反后進行固定，使得在清洗過程中只能對石英晶片一側外壁進行清洗除塵，降低了清理的效果。

發明內容

本發明的目的是為了解決現有技術中存在的缺點，而提出的一種石英晶體片加工用的表面除塵清洗裝置及其使用方法。

為了實現上述目的，本發明采用了如下技術方案：

一種石英晶體片加工用的表面除塵清洗裝置，包括處理箱主體、放置組件、清洗機構和除塵機構；

所述除塵機構包括支架、液壓缸、護板、凸形桿、彈簧一、拉動環、滑輪、拉繩、橫移板一、限位板、連接桿、橫移板二和旋轉刷輥；

所述支架固定于處理箱主體一側內壁，凸形桿活動連接于支架內壁，彈簧一卡接于支架和凸形桿之間，橫移板一固定于凸形桿一側外壁；

液壓缸固定于處理箱主體一側外壁，連接桿固定于液壓缸輸出端，拉動環固定于連接桿一側外壁；

移動凸桿活動連接于拉動環圓周內壁，橫移板二固定于移動凸桿一側外壁；

護板固定于處理箱主體一側內壁，滑輪活動連接于護板底部外壁，拉繩利用滑輪活動連接于橫移板一和橫移板二之間；

限位板固定于處理箱主體一側內壁，兩個以上旋轉刷輥分別活動連接于橫移板一頂部外壁和橫移板二頂部外壁。

優選的：所述清洗機構包括清洗液清洗組件和清水清洗組件；

所述清洗液清洗組件包括液體箱、隔板、加注管和清洗液導出孔；

所述液體箱固定于處理箱主體頂部，隔板固定于液體箱內壁，加注管固定于液體箱一側外壁，清洗液導出孔開設于液體箱底部。

優選的：所述放置組件包括推動柱、頂板、彎管、漏孔、墊板、容置架和彈簧二；

所述彎管活動連接于處理箱主體一側內壁，頂板固定于彎管一側外壁，彈簧二卡接于處理箱主體和頂板之間，墊板固定于彎管頂部外壁，容置架固定于墊板頂部外壁，所述漏孔開設于墊板表面，所述推動柱固定于拉動環一側外壁。

作為本發明優選的：所述清水清洗組件包括高壓噴管和增壓泵；

所述增壓泵固定于液體箱外壁，兩個高壓噴管分別通過法蘭固定于增壓泵輸出端和輸入端。