[發明專利]蒸鍍裝置及蒸鍍材料的回收方法

在審

• 申請號: 202210036032.1
• 申請日: 2022-01-12
• 公開（公告）號: CN114481035A
• 公開（公告）日: 2022-05-13
• 發明（設計）人: 侯佳森;趙姍
• 申請（專利權）人: 合肥維信諾科技有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24
• 代理公司: 北京東方億思知識產權代理有限責任公司 11258
• 代理人: 尹紅敏

本申請提供了一種蒸鍍裝置及蒸鍍材料的回收方法，蒸鍍裝置包括蒸鍍源、限制板以及阻擋件，蒸鍍源包括用于放置蒸鍍材料的蒸鍍腔和位于蒸鍍腔在第一方向上一側、并與蒸鍍腔連通的至少一個蒸鍍孔。至少兩個限制板分設于蒸鍍孔在第二方向上的兩側，第一方向與第二方向相交；阻擋件位于限制板靠近蒸鍍孔的一側，阻擋件朝向蒸鍍孔的一側具有沿第二方向內凹形成的多個沉積孔。其中，蒸鍍材料經由蒸鍍孔向外膨化形成預設蒸發區域，限制板包括位于預設蒸發區域內的第一部分，阻擋件在限制板的正投影與第一部分至少部分交疊，以使至少部分蒸鍍材料沉積于阻擋件。本申請實施例使得至少部分蒸鍍材料能夠沉積在阻擋件上，降低限制板上蒸鍍材料的沉積量。

技術領域

本申請涉及蒸鍍設備技術領域，尤其涉及一種蒸鍍裝置及蒸鍍材料的回收方法。

背景技術

現有的顯示裝置技術中，顯示面板主要分為液晶顯示面板和有機自發光顯示面板兩種主流的技術。其中，有機自發光顯示面板采用有機電致發光材料，當有電流通過有機電致發光材料時，發光材料就會發光，進而實現了顯示面板的顯示功能。

有機發光顯示面板的發光層是由多種功能層堆疊組成的發光器件，通常采用蒸鍍工藝加工制作，即通過蒸鍍工藝來蒸鍍顯示面板中的各功能層。

發明內容

本申請實施例提供了一種蒸鍍裝置及蒸鍍材料的回收方法，能夠減小蒸鍍材料在限制板上的堆積。

第一方面，本申請實施例提供了一種蒸鍍裝置，包括蒸鍍源、限制板以及阻擋件，蒸鍍源包括用于放置蒸鍍材料的蒸鍍腔和位于蒸鍍腔在第一方向上一側、并與蒸鍍腔連通的至少一個蒸鍍孔。

至少兩個限制板分設于蒸鍍孔在第二方向上的兩側，第一方向與第二方向相交；阻擋件位于限制板靠近蒸鍍孔的一側，阻擋件朝向蒸鍍孔的一側具有沿第二方向內凹形成的多個沉積孔。

其中，蒸鍍材料經由蒸鍍孔向外膨化形成預設蒸發區域，限制板包括位于預設蒸發區域內的第一部分，阻擋件在限制板的正投影與第一部分至少部分交疊，以使至少部分蒸鍍材料沉積于阻擋件。

在一些實施例中，蒸鍍裝置還包括儲存盒，設置于阻擋件在第一方向上朝向蒸鍍源的一端，儲存盒朝向阻擋件設置有開口，阻擋件沿第一方向可移動地設置于開口，以使阻擋件能夠沿第一方向進入或離開儲存盒。

在一些實施例中，蒸鍍裝置還包括設置于儲存盒至少一側的散熱機構，散熱機構用于對儲存盒進行散熱。

在一些實施例中，散熱機構為水冷冷卻機構，散熱機構與儲存盒隔斷設置。

在一些實施例中，散熱機構環繞設置于儲存盒的周側。

在一些實施例中，蒸鍍裝置還包括設置于開口朝向阻擋件一側的滑動件，滑動件沿第二方向可移動設置以能夠覆蓋開口

在一些實施例中，蒸鍍裝置還包括容納腔體，儲存盒設置于容納腔體，容納腔體包括第一通孔，阻擋件由第一通孔伸入儲存盒，滑動件沿第二方向可移動地設置于第一通孔，以使滑動件能夠覆蓋第一通孔。

在一些實施例中，限制板連接于滑動件且與滑動件同步運動。

在一些實施例中，限制板與阻擋件在第一方向上的長度相同。

在一些實施例中，阻擋件包括沿第一方向延伸的第一阻擋部以及設置于第一阻擋部背離限制板一側的第二阻擋部，第二阻擋部至少部分位于預設蒸發區域內且沿第二方向延伸。

在一些實施例中，第二阻擋部在第二方向上的長度可調設置。

在一些實施例中，阻擋件包括擋板以及位于擋板靠近蒸鍍孔一側的沉積板，沉積孔設置于沉積板且沿第二方向貫穿沉積板。

在一些實施例中，沉積板與擋板可拆卸連接。

在一些實施例中，沉積板的厚度為D，其中，2mm≤D≤8mm。