[發明專利]一種全自動雙卡盤探針臺載片測試系統

在審

• 申請號: 202210033225.1
• 申請日: 2022-01-12
• 公開（公告）號: CN114527305A
• 公開（公告）日: 2022-05-24
• 發明（設計）人: 羅偉;廖鳳斌;雷旭;竇國珍
• 申請（專利權）人: 成都云繹智創科技有限公司
• 主分類號: G01R1/067
• 分類號: G01R1/067;G01R31/00
• 代理公司: 成都環泰專利代理事務所(特殊普通合伙) 51242
• 代理人: 李斌;李輝

本發明公開了一種全自動雙卡盤探針臺載片測試系統，包括機架，所述機架上設置有用于載片測試的雙卡盤探針臺系統和用于載片上下料的自動上下料系統，所述雙卡盤探針臺系統包括固定設于機架上的底板，底板上固定安裝有第一直線電機與直線導軌組件，所述第一直線電機與直線導軌組件通過連扳分別連接有第二直線電機和第三直線電機，所述第二直線電機與第三直線電機上分別設有用于承載載片的卡盤組件。本發明具有高自動化的特點，并且提高了測試效率。

技術領域

本發明涉及半導體設備技術領域，特別是涉及一種全自動雙卡盤探針臺載片測試系統。

背景技術

載片是隨微組裝工藝發展出的新形態產品，通常由載體、裸芯片、匹配電路組成，具有小型化、高集成度、低成本等優點。載片測試點以Pad點形式裸露分布在載片表面上，受物料精度和裝配工藝制約，電路燒結到載體上之后，Pad點不像其在晶圓時那樣，位置精確一致且呈矩陣式排列，而且Z方向的高度差也超出了探針允許的潰縮量，無法使用傳統自動探針臺測試，傳統的晶圓探針臺無法滿足使用要求。

現有技術中，主要采用以下兩種方式進行測量，其一是通過手動探針臺進行測試，需要操作人員逐個產品、逐個PAD進行對位后測試。這種方式的主要問題是對位和測試時間長，無法應用于大批量生產測試場景，另一個是先將載片鍵合到測試工裝上，再連同測試工裝進行測試，測試完成后將載片和工裝連接的金絲拔除。這種方式的主要問題是增加了鍵合和拔除金絲兩道工序，以及兩道工序所需的設備、操作人員、測試工裝等，成本高；同時，拔除金絲可能對產品的外觀和質量造成影響。

發明內容

針對上述問題，本發明提供了一種全自動雙卡盤探針臺載片測試系統，具有高自動化、高效率的特點。

本發明的技術方案是：

一種全自動雙卡盤探針臺載片測試系統，包括機架，所述機架上設置有用于載片測試的雙卡盤探針臺系統和用于載片上下料的自動上下料系統，所述雙卡盤探針臺系統包括固定設于機架上的底板，底板上固定安裝有第一直線電機與直線導軌組件，所述第一直線電機與直線導軌組件通過連扳分別連接有第二直線電機和第三直線電機，所述第二直線電機與第三直線電機上分別設有用于承載載片的卡盤組件。

上述技術方案的工作原理如下：

使第二直線電機和第三直線電機分別搭載一組卡盤組件，工作時雙卡盤工作方式，自動上下料系統在將待測件料倉內的料盤推出時，由識別取料組件首先識別料盤內的載片，對載片位置進行識別定位，然后由識別取料組件上的吸嘴吸附料盤內的載片，與此同時，通過第二直線電機和第三直線電機的工作，使卡盤組件移動至指定位置，識別取料組件吸附載片依次放置在兩個卡盤組件的若干氣孔上，當其中一個卡盤組件載片放置完成后，其移動至指定位置經視覺識別組件識別定位，引導若干電動針座至指定位置，電動針座對位于卡盤上的載片進行測試，需要說明的是，視覺識別組件和識別取料組件為具有視覺識別引導功能的視覺組件，以分別幫助引導電動針座和吸嘴移動至其引導的指定位置，同時，另一卡盤組件處于待命狀態，當前一卡盤組件上的載片測試完成，處于待命狀態的卡盤組件立即進入測試位置，同時已測試完成的載片被識別取料組件移動至指定位置，再由識別取料組件根據測試結果分別吸附放置在合格品料倉和不合格品料倉，并再次上料，如此往復。

本系統裝置采用雙卡盤方式，自動上下料系統在將待測件料倉內的料盤推出，識別取料組件識別吸附料盤內的載片后，依次放置在兩個卡盤組件的氣孔上，當其中一個卡盤組件移動至指定位置并被若干電動針座測試時，另一卡盤組件處于待命狀態，前一卡盤上的載片測試完成，處于待命狀態的卡盤組件立即進入測試位置，同時已測試完成的載片被識別取料組件移動至指定位置，再由識別取料組件吸附放置在合格品料倉和不合格品料倉，并再次上料，如此往復，相比現有技術，本發明高自動化、并提高了測試效率。

在進一步的技術方案中，所述底板兩側還設有支撐架，支撐架上設有槽架和針座板，所述針座板位于卡盤組件的上方，所述針座板的中部開孔，孔的四周分布有若干電動針座，孔上方設有視覺識別組件，視覺識別組件安裝于所述槽架上。