[發明專利]電光調制器和電光器件

在審

• 申請號: 202210031154.1
• 申請日: 2022-01-12
• 公開（公告）號: CN115808815A
• 公開（公告）日: 2023-03-17
• 發明（設計）人: 梁寒瀟;宋一品;周穎聰;巫海蒼;毛文浩;宋時偉;孫維祺;俞清揚
• 申請（專利權）人: 南京刻得不錯光電科技有限公司
• 主分類號: G02F1/035
• 分類號: G02F1/035;G02F1/03
• 代理公司: 北京市漢坤律師事務所 11602
• 代理人: 王其文;張濤

一種電光調制器和電光器件。電光調制器包括：襯底；隔離層，位于襯底上；薄膜層，用于形成第一光波導和第二光波導，第一光波導和第二光波導的布置使得薄膜層包括第一邊緣區域、第一光波導、中間區域、第二光波導以及第二邊緣區域；電極，包括依次間隔排列的第一地電極、信號電極和第二地電極，第一地電極至少包括第一主電極，第二地電極至少包括第二主電極，信號電極至少包括第三主電極，第一光波導布置在第一主電極和與第三主電極之間的第一間隙中，第二光波導布置在第二主電極和第三主電極之間的第二間隙中，第一主電極和第二主電極布置在具有第一高度的水平面上，第三主電極布置在具有第二高度的水平面上，第一高度不同于第二高度。

本申請要求2021年09月15日提交的申請號為202111082353.7的發明專利申請的優先權，本申請所要求優先權的公開通過引用全文并入本文。

技術領域

本公開涉及光電技術，特別是涉及一種電光調制器和電光器件。

背景技術

電光調制器是利用某些電光晶體如鈮酸鋰晶體(LiNbO₃)、砷化稼晶體(GaAs)或鉭酸鋰晶體(LiTaO₃)的電光效應制成的調制器。當把電壓加到電光晶體上時，電光晶體的折射率將發生變化，從而實現對光信號的相位、幅度、強度以及偏振狀態等特性的調制。電光調制器中常見的一種調制器為馬赫-曾德爾調制器，這種干涉儀式調制器主要是利用調制器中兩臂的相位差完成相干加強和相干抵消的信號調制。

然而，為了實現光傳輸速度和電傳輸速度的匹配，傳統電光調制器中共面波導傳輸線的傳輸損耗特別大。因此，人們進一步提出了帶電極延伸部的共面波導傳輸線，以解決傳輸損耗大的問題。但是隨著應用中對于高速、大容量、集成化通信技術日益的迫切需求，人們既希望盡量減小傳輸損耗，同時需要保證光傳輸速度和電傳輸速度的匹配。這就通常要對襯底層厚度或者材料提出特殊的要求，從而大大限制了這種電極延伸部結構的適用性。

發明內容

提供一種緩解、減輕或者甚至消除上述問題中的一個或多個的機制將是有利的。

根據本公開的一方面，提供了一種電光調制器，包括：襯底；隔離層，所述隔離層位于所述襯底上；薄膜層，所述薄膜層用于形成第一光波導和第二光波導，其中，所述第一光波導和所述第二光波導的布置使得所述薄膜層包括第一邊緣區域、所述第一光波導、中間區域、所述第二光波導以及第二邊緣區域；以及，電極，所述電極包括依次間隔排列設置的第一地電極、信號電極和第二地電極，其中，所述第一地電極至少包括第一主電極，所述第二地電極至少包括第二主電極，所述信號電極至少包括第三主電極，所述第一光波導被布置在所述第一主電極和與所述第三主電極之間的第一間隙中，所述第二光波導被布置在所述第二主電極和所述第三主電極之間的第二間隙中，并且，所述第一主電極和所述第二主電極被布置在具有第一高度的水平面上，所述第三主電極被布置在具有第二高度的水平面上，所述第一高度不同于所述第二高度。

根據本公開的另一方面，提供了一種電光器件，包括如上所述的電光調制器。

根據在下文中所描述的實施例，本公開的這些和其它方面將是清楚明白的，并且將參考在下文中所描述的實施例而被闡明。

附圖說明

在下面結合附圖對于示例性實施例的描述中，本公開的更多細節、特征和優點被公開，在附圖中：

圖1是根據示例性實施例的電光調制器的示意性立體圖；

圖2是根據示例性實施例的電光調制器的示意性立體圖；

圖3是根據示例性實施例的電光調制器的示意性立體圖；

圖4是根據示例性實施例的電光調制器的示意性立體圖；

圖5是根據示例性實施例的電光調制器的示意性立體圖；

圖6是根據示例性實施例的電光調制器的示意性立體圖；