[發(fā)明專利]超薄PET膜表面非晶四面體碳結(jié)構(gòu)的涂層工藝

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202210030407.3
• 申請日: 2022-01-12
• 公開（公告）號: CN114540761A
• 公開（公告）日: 2022-05-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉春雨
• 申請（專利權(quán)）人: 蘇州市彩衣真空科技有限公司
• 主分類號: C23C14/06
• 分類號: C23C14/06;C23C14/35
• 代理公司: 北京知果之信知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11541
• 代理人: 高科

1.一種超薄PET膜表面非晶四面體碳結(jié)構(gòu)的涂層工藝，其特征在于，包括以下步驟：

(1)提供基材，所述基材采用PET薄膜，在使用時，對PET薄膜進(jìn)行預(yù)處理，對基材的表面進(jìn)行清洗、烘干等步驟，隨后放入磁控濺射鍍膜機(jī)內(nèi)；

(2)采用離子化物理氣相沉積工藝(IPVD)對靶材進(jìn)行濺射，沉降過程中施加一個方向控制電場，使得碳層晶粒沉積方向一致，所用靶材為石墨；

(3)基材層的上方增設(shè)一個篩選磁場，使最后從篩選磁場出來的碳離子以相同的速度落入到基材上；

(4)濺射完成后，自然冷卻至室溫后取出鍍膜后的產(chǎn)品。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的超薄PET膜表面非晶四面體碳結(jié)構(gòu)的涂層工藝，其特征在于，步驟(3)中采用磁過濾管對碳離子進(jìn)行篩選，磁過濾管的管徑采用0.3-0.4m，曲率半徑為0.7-0.8m，彎管的外壁均勻排布導(dǎo)電線圈用以激發(fā)磁場。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的超薄PET膜表面非晶四面體碳結(jié)構(gòu)的涂層工藝，其特征在于，步驟(2)與步驟(3)的時間的總和為7-10min。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的超薄PET膜表面非晶四面體碳結(jié)構(gòu)的涂層工藝，其特征在于，步驟(1)中，對PET薄膜的清理采用酒精乙醚混合液的擦拭和超聲波震動清洗，最后放入溫度為30-50攝氏度的風(fēng)干機(jī)內(nèi)進(jìn)行暖風(fēng)烘干。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的超薄PET膜表面非晶四面體碳結(jié)構(gòu)的涂層工藝，其特征在于，步驟(2)中的真空度為1×10^-5～1×10^-2Pa。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的超薄PET膜表面非晶四面體碳結(jié)構(gòu)的涂層工藝，其特征在于，步驟(2)中，在濺射時，填充有氬氣進(jìn)行保護(hù)。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的超薄PET膜表面非晶四面體碳結(jié)構(gòu)的涂層工藝，其特征在于，步驟(1)中，所述基材放置在能在平面內(nèi)移動的模具上。