[發明專利]一種集成電路制造用多工位的測試設備

在審

• 申請號: 202210028627.2
• 申請日: 2022-01-11
• 公開（公告）號: CN114377995A
• 公開（公告）日: 2022-04-22
• 發明（設計）人: 朱培;韓炳偉
• 申請（專利權）人: 深圳市華測半導體設備有限公司
• 主分類號: B07C5/34
• 分類號: B07C5/34;B07C5/342;B07C5/344;B07C5/36
• 代理公司: 深圳市海順達知識產權代理有限公司 44831
• 代理人: 歐陽士

1.一種集成電路制造用多工位的測試設備，其特征在于，包括固定座(1)、第一檢測架(12)和第二檢測架(23)，所述固定座(1)的左部外側連接有第一傳輸帶(2)，且第一傳輸帶(2)的頂部安置有安置組件(3)，所述安置組件(3)的內側連接有轉動板(4)，且轉動板(4)的內側設置有夾持組件(5)，所述轉動板(4)的內部設置有微型氣泵(6)，且微型氣泵(6)的外側連接有輸氣管(7)，所述固定座(1)的內側頂端安置有傳送座(8)，且傳送座(8)的前端連接有升降板(9)，所述升降板(9)的底部外側連接有吸附臺(10)，所述固定座(1)的內側中端設置有支撐座(11)，所述第一檢測架(12)安置于支撐座(11)的外端，所述第一檢測架(12)的頂部外側卡開設有入料口(13)，且第一檢測架(12)的內部兩側安置有位移組件(14)，所述第一檢測架(12)的頂部內側開設有位移槽(15)，且位移槽(15)的內側設置有第一檢測組件(16)，所述第一檢測組件(16)的外端連接有第一氣缸(17)，所述第一檢測架(12)的右部外側設置有第二氣缸(18)，且第二氣缸(18)靠近第一檢測架(12)一側安置有第一推板(19)，所述第二氣缸(18)的底部外側設置有第三氣缸(20)，且第三氣缸(20)的左部外側連接有第一擋板(21)，所述第一檢測架(12)的左部外側開設有第一連通槽(22)，所述第二檢測架(23)安置于第一檢測架(12)的左部外側，且第二檢測架(23)的內側中端安置有第二檢測組件(24)，所述第一檢測架(12)的左部外側設置有第四氣缸(25)，且第四氣缸(25)的右側連接有第二推板(26)，所述第四氣缸(25)的底部外側安置有第五氣缸(27)，且第五氣缸(27)的右部外側連接有第二擋板(28)，所述第二檢測架(23)的右部外側開設有第二連通槽(29)，所述第一檢測架(12)的底部外側開設有第一出料口(30)，所述第二檢測架(23)的底部外側開設有第二出料口(31)，所述第一出料口(30)、第二出料口(31)的底部外側安置有第二傳輸帶(32)。

2.根據權利要求1所述的一種集成電路制造用多工位的測試設備，其特征在于，所述安置組件(3)包括安置殼體(301)、第一磁吸板(302)、第一電機(303)和轉動軸(304)，所述安置殼體(301)的外部兩側連接有第一磁吸板(302)，且安置殼體(301)的內側中端連接有第一電機(303)，所述第一電機(303)的外側設置有轉動軸(304)。

3.根據權利要求2所述的一種集成電路制造用多工位的測試設備，其特征在于，所述轉動軸(304)與轉動板(4)轉動連接，且轉動板(4)的豎直中心線與安置殼體(301)的豎直中心線相互重合。

4.根據權利要求1所述的一種集成電路制造用多工位的測試設備，其特征在于，所述夾持組件(5)包括連接板(501)、電磁鐵(502)、彈簧座(503)、卡接座(504)、磁吸座(505)和氣囊(506)，所述連接板(501)的外端連接有電磁鐵(502)，且連接板(501)的外部兩側設置有彈簧座(503)，所述彈簧座(503)的外端連接有卡接座(504)，所述卡接座(504)靠近連接板(501)一側設置有磁吸座(505)，所述卡接座(504)的內側連接有氣囊(506)。

5.根據權利要求4所述的一種集成電路制造用多工位的測試設備，其特征在于，所述磁吸座(505)與電磁鐵(502)吸附連接，且磁吸座(505)的豎直中心線與卡接座(504)的豎直中心線相互重合，所述卡接座(504)與彈簧座(503)彈性連接。

6.根據權利要求4所述的一種集成電路制造用多工位的測試設備，其特征在于，所述卡接座(504)與氣囊(506)粘合連接，且微型氣泵(6)通過輸氣管(7)與氣囊(506)相連通。