[發(fā)明專利]異常溫度測試數(shù)據(jù)的確定方法、裝置及電子設(shè)備

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202210027184.5
• 申請日: 2022-01-11
• 公開（公告）號: CN114166375A
• 公開（公告）日: 2022-03-11
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 余鍵
• 申請（專利權(quán)）人: 長鑫存儲技術(shù)有限公司
• 主分類號: G01K13/00
• 分類號: G01K13/00;G01R31/26
• 代理公司: 北京中政聯(lián)科專利代理事務(wù)所(普通合伙) 11489
• 代理人: 鄭久興

本申請公開了一種異常溫度測試數(shù)據(jù)的確定方法、裝置及電子設(shè)備，屬于半導(dǎo)體生產(chǎn)檢測技術(shù)領(lǐng)域，其中，異常溫度測試數(shù)據(jù)的確定方法包括：獲取晶圓連續(xù)測試過程中的夾具溫度數(shù)據(jù)；根據(jù)所述夾具溫度數(shù)據(jù)計算相鄰兩次測試的夾具溫度變化值；基于所述溫度變化值確定異常溫度測試數(shù)據(jù)。該方法可以準確地確定異常的夾具溫度測試數(shù)據(jù)，進而可以剔除溫度異常的測試項使得晶圓的壽命失效率分析更加準確。

技術(shù)領(lǐng)域

本申請屬于半導(dǎo)體生產(chǎn)檢測技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種異常溫度測試數(shù)據(jù)的確定方法、裝置及電子設(shè)備。

背景技術(shù)

目前，在晶圓測試領(lǐng)域，通常是采用自動測試設(shè)備、全自動探針臺及探針卡一體的測試系統(tǒng)，對晶圓進行前段測試。晶片的前段測試中，通常需要用給晶圓上的顆粒(DIE)施加高電壓持續(xù)一段時間，做早期的壽命失效率分析(ELFR)。

隨著產(chǎn)品性能的提升，產(chǎn)品壽命失效率分析的測試環(huán)境也會更加嚴苛，現(xiàn)有的壽命失效率分析存在較大誤差，無法滿足產(chǎn)品生產(chǎn)需求。

發(fā)明內(nèi)容

本申請的目的是提供一種異常溫度測試數(shù)據(jù)的確定方法、裝置及電子設(shè)備以解決現(xiàn)有失效率分析結(jié)果不準確的問題。

根據(jù)本申請實施例的第一方面，提供了一種異常溫度測試數(shù)據(jù)的確定方法，該方法可以包括：

獲取晶圓連續(xù)測試過程中的夾具溫度數(shù)據(jù)；

根據(jù)夾具溫度數(shù)據(jù)計算相鄰兩次測試的夾具溫度變化值；

基于溫度變化值確定異常溫度測試數(shù)據(jù)。

在本申請的一些可選實施例中，夾具溫度數(shù)據(jù)是基于全自動探針臺對晶圓進行前段測試過程中的夾具溫度測量數(shù)據(jù)，溫度測量數(shù)據(jù)通過通用接口總線獲取。

在本申請的一些可選實施例中，異常溫度測試數(shù)據(jù)的確定方法還包括：在與通用接口總線連接之前，斷開全自動探針臺與測試機臺的通信連接。

在本申請的一些可選實施例中，異常溫度測試數(shù)據(jù)的確定方法還包括：根據(jù)兩次測試的夾具的溫度值計算溫度差；

當(dāng)溫度差超過預(yù)設(shè)值時，則確定溫度差對應(yīng)的相鄰兩次測試中存在異常溫度。

在本申請的一些可選實施例中，異常溫度測試數(shù)據(jù)的確定方法還包括：夾具溫度數(shù)據(jù)包括測試序號及溫度值；

繪制溫度值隨測試序號變化的曲線圖；

計算每個測試序號對應(yīng)的溫度變化斜率，得到溫度變化值。

在本申請的一些可選實施例中，異常溫度測試數(shù)據(jù)的確定方法還包括：計算曲線圖中所有的相鄰兩次測試序號所對應(yīng)的溫度變化斜率；

當(dāng)溫度變化斜率超過設(shè)定閾值，則確定該斜率對應(yīng)的測試序號存在異常溫度測試數(shù)據(jù)。

根據(jù)本申請實施例的第二方面，提供一種異常溫度測試數(shù)據(jù)的確定裝置，該裝置可以包括：

獲取模塊，用于獲取晶圓連續(xù)測試過程中的夾具溫度數(shù)據(jù)；

計算模塊，用于根據(jù)夾具溫度數(shù)據(jù)計算相鄰兩次測試的夾具溫度變化值；

異常溫度確定模塊，用于基于溫度變化值確定異常溫度測試數(shù)據(jù)。

在本申請的一些可選實施例中，還包括：

夾具溫度獲取模塊，用于獲取全自動探針臺對晶圓進行前段測試過程中的夾具溫度測量數(shù)據(jù)，溫度測量數(shù)據(jù)通過通用接口總線獲取。

在本申請的一些可選實施例中，還可以包括：

斷開模塊，用于在與通用接口總線連接之前，斷開全自動探針臺與測試機臺的通信連接。