[發(fā)明專利]解決因晶圓翹曲形變導(dǎo)致對(duì)準(zhǔn)偏差的方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202210024325.8
• 申請(qǐng)日: 2022-01-11
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN114038776B
• 公開(kāi)（公告）日: 2022-06-03
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳超;劉習(xí)軍
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 廣州粵芯半導(dǎo)體技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/68
• 分類號(hào): H01L21/68;H01L21/66;G03F9/00;G01B11/16
• 代理公司: 上海思捷知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31295
• 代理人: 沈宗晶

1.一種解決因晶圓翹曲形變導(dǎo)致對(duì)準(zhǔn)偏差的方法，其特征在于，包括：

提供待對(duì)準(zhǔn)的晶圓，將所述晶圓內(nèi)翹曲形變量小于300微米的區(qū)域設(shè)定為待檢測(cè)區(qū)域；

執(zhí)行粗對(duì)準(zhǔn)步驟，選擇所述待檢測(cè)區(qū)域內(nèi)的多個(gè)對(duì)位標(biāo)記進(jìn)行坐標(biāo)測(cè)量，建立粗對(duì)準(zhǔn)偏差模型；

執(zhí)行精對(duì)準(zhǔn)步驟，選擇所述待檢測(cè)區(qū)域內(nèi)的其余多個(gè)對(duì)位標(biāo)記進(jìn)行坐標(biāo)測(cè)量，建立精對(duì)準(zhǔn)偏差模型；以及

對(duì)比所述粗對(duì)準(zhǔn)偏差模型與所述精對(duì)準(zhǔn)偏差模型，并計(jì)算差值；

若所述差值大于設(shè)定值，則判定本次對(duì)準(zhǔn)有誤，不執(zhí)行曝光操作；若所述差值小于設(shè)定值，則判定本次對(duì)準(zhǔn)無(wú)誤，執(zhí)行曝光操作，以避免由于晶圓翹曲形變?cè)斐刹钪颠^(guò)大進(jìn)而導(dǎo)致晶圓退片的問(wèn)題。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的解決因晶圓翹曲形變導(dǎo)致對(duì)準(zhǔn)偏差的方法，其特征在于，所述待檢測(cè)區(qū)域內(nèi)的翹曲形變量均小于等于250微米。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的解決因晶圓翹曲形變導(dǎo)致對(duì)準(zhǔn)偏差的方法，其特征在于，所述對(duì)位標(biāo)記的坐標(biāo)包括X方向的坐標(biāo)與Y方向的坐標(biāo)，其中，X方向與Y方向垂直。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的解決因晶圓翹曲形變導(dǎo)致對(duì)準(zhǔn)偏差的方法，其特征在于，當(dāng)晶圓僅有X方向的翹曲形變時(shí)，在所述粗對(duì)準(zhǔn)步驟與所述精對(duì)準(zhǔn)步驟中，所選擇的所述對(duì)位標(biāo)記，其X方向的坐標(biāo)位于晶圓翹曲形變量小于等于250微米的區(qū)域內(nèi)，其Y方向的坐標(biāo)位于所述晶圓內(nèi)。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的解決因晶圓翹曲形變導(dǎo)致對(duì)準(zhǔn)偏差的方法，其特征在于，當(dāng)晶圓僅有Y方向的翹曲形變時(shí)，在所述粗對(duì)準(zhǔn)步驟與所述精對(duì)準(zhǔn)步驟中，所選擇的所述對(duì)位標(biāo)記，其Y方向的坐標(biāo)位于晶圓翹曲形變量小于等于250微米的區(qū)域內(nèi)，其X方向的坐標(biāo)位于所述晶圓內(nèi)。

6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的解決因晶圓翹曲形變導(dǎo)致對(duì)準(zhǔn)偏差的方法，其特征在于，所述粗對(duì)準(zhǔn)偏差模型包括X方向坐標(biāo)偏移、Y方向坐標(biāo)偏移、放大縮小比率以及旋轉(zhuǎn)角度。

7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的解決因晶圓翹曲形變導(dǎo)致對(duì)準(zhǔn)偏差的方法，其特征在于，所述精對(duì)準(zhǔn)偏差模型包括X方向坐標(biāo)偏移、Y方向坐標(biāo)偏移、放大縮小比率以及旋轉(zhuǎn)角度。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的解決因晶圓翹曲形變導(dǎo)致對(duì)準(zhǔn)偏差的方法，其特征在于，在所述粗對(duì)準(zhǔn)步驟中，選擇兩組對(duì)位標(biāo)記進(jìn)行坐標(biāo)測(cè)量。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的解決因晶圓翹曲形變導(dǎo)致對(duì)準(zhǔn)偏差的方法，其特征在于，在所述精對(duì)準(zhǔn)步驟中，選擇至少6組對(duì)位標(biāo)記進(jìn)行坐標(biāo)測(cè)量。