[發明專利]一種曲面檢測裝置有效
| 申請號： | 202210022328.8 | 申請日： | 2022-01-10 |
| 公開（公告）號： | CN114324365B | 公開（公告）日： | 2023-06-23 |
| 發明（設計）人： | 田依杉;蘭艷平 | 申請（專利權）人： | 合肥御微半導體技術有限公司 |
| 主分類號： | G01N21/88 | 分類號： | G01N21/88;G01N21/95;G01N21/01 |
| 代理公司： | 北京品源專利代理有限公司 11332 | 代理人： | 趙翠香 |
| 地址： | 230088 安徽省合肥*** | 國省代碼： | 安徽;34 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 曲面 檢測 裝置 | ||
1.一種曲面檢測裝置，其特征在于，包括光源、橢球鏡和成像系統；
所述橢球鏡為空心結構且其表面包括一狹槽，所述狹槽包括第一弧邊和第二弧邊；所述橢球鏡還包括一長軸所在中心面，所述中心面分別與所述第一弧邊所在平面和所述第二弧邊所在平面平行；
所述光源位于所述長軸的第一焦點上，用于出射檢測光線；待測物穿過所述狹槽的開口區域且位于所述長軸的第二焦點上，所述待測物的檢測區域至少部分面呈曲面；所述檢測光線經所述橢球鏡的內反射面反射后到達所述待測物的檢測區域被反射后形成反射光線經所述狹槽出射；
所述成像系統位于所述反射光線的傳播路徑上，用于采集所述反射光線并根據所述反射光線對所述待測物的檢測區域進行成像；
其中，沿所述橢球鏡的長軸方向，所述第二焦點和所述第一弧邊上任意一點的連線與所述長軸方向的最大夾角以及所述第二焦點和所述第二弧邊上任意一點的連線與所述長軸方向的最大夾角均為γ，
γ≤2α，0°＜α＜90°；
沿垂直所述第一弧邊所在平面的方向，所述狹槽的寬度為2h，滿足：
其中，α為所述待測物的檢測區域的切平面與所述長軸方向的最小夾角，a為所述橢球鏡長軸長度的一半，b為所述橢球鏡短軸長度的一半，c為所述橢球鏡長軸的第一焦點和第二焦點之前距離的一半，h為所述狹槽的寬度的一半。
2.根據權利要求1所述的曲面檢測裝置，其特征在于，所述成像系統包括物鏡，所述物鏡光軸與所述第一弧邊所在平面平行，所述物鏡光軸與所述長軸方向的夾角為β，10°≤β≤30°。
3.根據權利要求2所述的曲面檢測裝置，其特征在于，沿所述長軸方向，所述狹槽的長度為L，滿足：
4.根據權利要求2所述的曲面檢測裝置，其特征在于，所述成像系統還包括管鏡和CCD相機。
5.根據權利要求1所述的曲面檢測裝置，其特征在于，所述光源包括點光源；
所述橢球鏡的內反射面包括散射顆粒，所述散射顆粒用于散射到達所述橢球鏡內反射面的所述檢測光線形成散射光束；
所述散射光束相對所述檢測光線的散射角為θ1，滿足：
其中，w為所述待測物的檢測區域的長度，t為所述待測物的檢測區域的寬度，a為所述橢球鏡長軸長度的一半，c為所述橢球鏡長軸的第一焦點和第二焦點之前距離的一半。
6.根據權利要求5所述的曲面檢測裝置，其特征在于，所述散射角θ1還滿足：
7.根據權利要求1所述的曲面檢測裝置，其特征在于，所述光源包括面光源；
所述面光源的光源直徑為D，滿足：
其中，w為所述待測物的檢測區域的長度，t為所述待測物的檢測區域的寬度，a為所述橢球鏡長軸長度的一半，c為所述橢球鏡長軸的第一焦點和第二焦點之前距離的一半。
8.根據權利要求7所述的曲面檢測裝置，其特征在于，所述橢球鏡的內反射面包括鏡面反射鏡。
9.根據權利要求1所述的曲面檢測裝置，其特征在于，所述光源包括明場光源。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于合肥御微半導體技術有限公司，未經合肥御微半導體技術有限公司許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/202210022328.8/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
