[發(fā)明專利]羅茨轉(zhuǎn)子三坐標(biāo)檢測(cè)建立基準(zhǔn)的方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202210016489.6
• 申請(qǐng)日: 2022-01-07
• 公開（公告）號(hào): CN114353711A
• 公開（公告）日: 2022-04-15
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 侯亞旅;李輝;沈文武;周賢忠
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 四川萊斯特真空科技有限公司
• 主分類號(hào): G01B21/00
• 分類號(hào): G01B21/00;G01B21/20
• 代理公司: 北京超凡宏宇專利代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 11463
• 代理人: 彭星

本發(fā)明的實(shí)施例提供了一種羅茨轉(zhuǎn)子三坐標(biāo)檢測(cè)建立基準(zhǔn)的方法，涉及真空泵技術(shù)領(lǐng)域。羅茨轉(zhuǎn)子三坐標(biāo)檢測(cè)建立基準(zhǔn)的方法包括：在羅茨轉(zhuǎn)子的理論模型上采集理論點(diǎn)坐標(biāo)；確定理論點(diǎn)坐標(biāo)對(duì)應(yīng)的羅茨轉(zhuǎn)子上的實(shí)際點(diǎn)坐標(biāo)；計(jì)算出實(shí)際點(diǎn)坐標(biāo)與理論點(diǎn)坐標(biāo)重合所需的轉(zhuǎn)動(dòng)量；將理論點(diǎn)坐標(biāo)按照轉(zhuǎn)動(dòng)量轉(zhuǎn)動(dòng)，形成羅茨轉(zhuǎn)子的檢測(cè)基準(zhǔn)。該方法不需要采用羅茨轉(zhuǎn)子的缺口面建立檢測(cè)基準(zhǔn)，能夠減小檢測(cè)誤差，利用本方法確定的檢測(cè)基準(zhǔn)，能夠更精準(zhǔn)地反映羅茨轉(zhuǎn)子的加工質(zhì)量，而且該方法適用范圍廣，適用于所有類型的羅茨轉(zhuǎn)子以及具有部分羅茨特征的轉(zhuǎn)子。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及真空泵技術(shù)領(lǐng)域，具體而言，涉及一種羅茨轉(zhuǎn)子三坐標(biāo)檢測(cè)建立基準(zhǔn)的方法。

背景技術(shù)

隨著經(jīng)濟(jì)的發(fā)展、社會(huì)的進(jìn)步、光伏半導(dǎo)體行業(yè)的興起，對(duì)于配套的真空設(shè)備的加工制造提出了更高的要求。現(xiàn)有的干式真空泵的羅茨轉(zhuǎn)子具有多種結(jié)構(gòu)，加工精度要求高，為質(zhì)量控制，特別是尺寸的檢測(cè)提出了更高要求。

由于羅茨轉(zhuǎn)子對(duì)型線輪廓度、位置度有較高要求，需采用三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)對(duì)其進(jìn)行檢測(cè)，三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)檢測(cè)此類零件的羅茨型線時(shí)，因在羅茨部分無定位用的平面特征，多采用羅茨轉(zhuǎn)子的缺口面建立檢測(cè)基準(zhǔn)，但是，這樣檢測(cè)具有以下缺點(diǎn)：

1.若將轉(zhuǎn)子豎立檢測(cè)，使用卡盤夾住中間軸，勢(shì)必會(huì)擋住缺口面，導(dǎo)致無法建立檢測(cè)基準(zhǔn)；

2.若將轉(zhuǎn)子臥式檢測(cè)，會(huì)因測(cè)頭在轉(zhuǎn)子上方，無法檢測(cè)到轉(zhuǎn)子靠近三坐標(biāo)平臺(tái)的側(cè)面，需要翻動(dòng)轉(zhuǎn)子才能檢測(cè)到；

3.缺口面與零件本身相比寬度太小，若因加工缺口面有小角度偏差，也會(huì)由于延伸誤差將坐標(biāo)系方向延伸到錯(cuò)誤方向。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的包括提供一種羅茨轉(zhuǎn)子三坐標(biāo)檢測(cè)建立基準(zhǔn)的方法，其能夠使檢測(cè)結(jié)果更加真實(shí)反應(yīng)轉(zhuǎn)子的真實(shí)情況。

本發(fā)明的實(shí)施例可以這樣實(shí)現(xiàn)：

本發(fā)明提供一種羅茨轉(zhuǎn)子三坐標(biāo)檢測(cè)建立基準(zhǔn)的方法，羅茨轉(zhuǎn)子三坐標(biāo)檢測(cè)建立基準(zhǔn)的方法包括：

在羅茨轉(zhuǎn)子的理論模型上采集理論點(diǎn)坐標(biāo)；

確定理論點(diǎn)坐標(biāo)對(duì)應(yīng)的羅茨轉(zhuǎn)子上的實(shí)際點(diǎn)坐標(biāo)；

計(jì)算出實(shí)際點(diǎn)坐標(biāo)與理論點(diǎn)坐標(biāo)重合所需的轉(zhuǎn)動(dòng)量；

將理論點(diǎn)坐標(biāo)按照轉(zhuǎn)動(dòng)量轉(zhuǎn)動(dòng)，形成羅茨轉(zhuǎn)子的檢測(cè)基準(zhǔn)。

在可選的實(shí)施方式中，在羅茨轉(zhuǎn)子的理論模型上采集理論點(diǎn)坐標(biāo)的步驟包括：

在羅茨轉(zhuǎn)子的理論模型上確定采集區(qū)域；

在采集區(qū)域內(nèi)采集理論點(diǎn)坐標(biāo)。

在可選的實(shí)施方式中，采集區(qū)域包括正面型線部分、側(cè)面型線部分或者全周型線部分。

在可選的實(shí)施方式中，理論點(diǎn)坐標(biāo)為羅茨轉(zhuǎn)子的理論模型的截面坐標(biāo)。

在可選的實(shí)施方式中，在確定理論點(diǎn)坐標(biāo)對(duì)應(yīng)的羅茨轉(zhuǎn)子上的實(shí)際點(diǎn)坐標(biāo)的步驟之前，羅茨轉(zhuǎn)子三坐標(biāo)檢測(cè)建立基準(zhǔn)的方法還包括：

將羅茨轉(zhuǎn)子立式裝夾。

在可選的實(shí)施方式中，計(jì)算出實(shí)際點(diǎn)坐標(biāo)與理論點(diǎn)坐標(biāo)重合所需的轉(zhuǎn)動(dòng)量的步驟包括：

預(yù)設(shè)實(shí)際點(diǎn)坐標(biāo)與理論點(diǎn)坐標(biāo)重合的最大允許偏差值；

判斷實(shí)際點(diǎn)坐標(biāo)與理論點(diǎn)坐標(biāo)最大程度重合后的實(shí)際偏差值是否大于最大允許偏差值；

在實(shí)際偏差值大于最大允許偏差值的情況下，判定擬合失敗，重新采集理論點(diǎn)坐標(biāo)；

在實(shí)際偏差值小于或等于最大允許偏差值的情況下，判定擬合成功，確定實(shí)際點(diǎn)坐標(biāo)與理論點(diǎn)坐標(biāo)重合所需的轉(zhuǎn)動(dòng)量。