[發明專利]晶圓打標裝置

在審

• 申請號: 202210015653.1
• 申請日: 2022-01-07
• 公開（公告）號: CN114393316A
• 公開（公告）日: 2022-04-26
• 發明（設計）人: 不公告發明人
• 申請（專利權）人: 無錫光導精密科技有限公司
• 主分類號: B23K26/362
• 分類號: B23K26/362;B23K26/70
• 代理公司: 蘇州衡創知識產權代理事務所(普通合伙) 32329
• 代理人: 王睿

1.一種晶圓打標裝置，其特征在于，包括：

機架；

支撐機構，包括剛性底板、移動組件及吸附平臺，所述剛性底座固定于所述機架，所述吸附平臺通過所述移動組件安裝于所述剛性底板并能夠在所述移動組件的驅動下沿相互垂直的第一方向及第二方向移動，所述吸附平臺的承載面能夠產生負壓；

搬運機構，用于將待打標的晶圓轉移至所述吸附平臺，并使所述晶圓的正面承載于所述吸附平臺的承載面；及

激光器，位于所述吸附平臺的承載面的上方，所述激光器能夠對承載于所述吸附平臺的所述晶圓的背面進行打標。

2.根據權利要求1所述的晶圓打標裝置，其特征在于，所述剛性底板與所述機架之間通過減震橡膠連接。

3.根據權利要求1所述的晶圓打標裝置，其特征在于，所述吸附平臺包括底座及陶瓷吸盤，所述底座固定于所述移動組件的移動端，所述陶瓷吸盤與所述底座通過防呆機構配合，且所述底座能夠產生負壓以吸附固定所述陶瓷吸盤。

4.根據權利要求3所述的晶圓打標裝置，其特征在于，所述防呆機構包括設置于所述底座上的固定環及凸柱，所述固定環與所述底座同心設置，所述凸柱相對于所述底座偏心設置，所述陶瓷吸盤朝向所述底座的一側形成有能夠分別與所述固定環及所述凸柱配合的環形凹槽及定位孔。

5.根據權利要求1所述的晶圓打標裝置，其特征在于，所述移動組件包括運動平臺及滑板，所述運動平臺沿所述第一方向可滑動地安裝于所述剛性底板，所述滑板沿所述第二方向可滑動地安裝于所述運動平臺，所述吸附平臺安裝于所述滑板。

6.根據權利要求1所述的晶圓打標裝置，其特征在于，還包括抽風管道，所述抽風管道的抽風口朝向所述吸附平臺的承載面設置。

7.根據權利要求1所述的晶圓打標裝置，其特征在于，所述搬運機構包括機械臂及真空吸附手指，所述真空吸附手指設于所述機械臂的移動端，所述真空吸附手指能夠吸附所述晶圓并進行翻轉。

8.根據權利要求1所述的晶圓打標裝置，其特征在于，所述機架上設置有多個晶圓盒裝載機，每個所述晶圓盒裝載機均能夠接收裝有所述晶圓的晶圓盒，所述搬運機構能夠從任一所述晶圓盒裝載機上的晶圓盒內獲取所述晶圓。

9.根據權利要求1所述的晶圓打標裝置，其特征在于，還包括尋邊對位機構，所述搬運機構將所述晶圓搬運至所述尋邊對位機構，并由所述尋邊對位機構對所述晶圓進行定位，所述搬運機構還用于將所述晶圓由所述尋邊對位機構搬運至所述吸附平臺。

10.根據權利要求1所述的晶圓打標裝置，其特征在于，還包括位于所述支撐機構下方的視覺定位相機，所述支撐機構具有避位結構，所述視覺定位相機能夠通過所述避位結構對承載于所述吸附平臺的所述晶圓進行視覺定位。