[發明專利]光罩夾取裝置

在審

• 申請號: 202210015380.0
• 申請日: 2022-01-07
• 公開（公告）號: CN114313972A
• 公開（公告）日: 2022-04-12
• 發明（設計）人: 李杰;丁高生;葛林新;李守印;張子陽
• 申請（專利權）人: 上海提牛機電設備有限公司
• 主分類號: B65G47/90
• 分類號: B65G47/90
• 代理公司: 上海十蕙一蘭知識產權代理有限公司 31331
• 代理人: 劉秋蘭

本發明提供一種光罩夾取裝置，包括：設有兩個垂直對稱設置夾臂的活動夾持機構、分別與兩個所述夾臂相連接的夾臂控制機構，及與所述夾臂控制機構相連接的升降機構。采用本發明的光罩夾取裝置可有效提高生產效率，并保障人員的安全性，并且無須擴大器皿的厚度，避免需要采用更多清洗劑來對光罩進行浸泡，節約了生產成本。

技術領域

本發明涉及機械技術領域，尤其涉及一種光罩夾取裝置。

背景技術

隨著國家對半導體集成電流產業的大力投資和扶持，晶圓廠如雨后春筍般拔地而起，在半導體制造的整個流程中，光罩(mask)制造為從版圖到晶圓制造中間的一個過程，這一部分時流程銜接的關鍵部分。在光罩的制造過程中需要對其進行清潔，若采用人工處理的方式將光罩從清洗的溶液中取出則需要操作人員不停地進行重復勞動，同時由于溶液中存在一定的對人體有害的成分，故由人工取出光罩十分麻煩并且存在極大的風險。同時，由于人工操作難免會存在失誤，因此，如何降低光罩生產過程中的風險便成為本領域技術人員急需解決的技術問題。

發明內容

針對上述現有技術的不足，本發明的目的在于提供一種光罩夾取裝置，以提高生產光罩的效率及安全性。

為了實現上述目的，本發明提供如下技術方案：

一種光罩夾取裝置，包括：

活動夾持機構，包括垂直對稱設置的兩個夾臂；

夾臂控制機構，分別與兩個所述夾臂相連接，用于控制兩個所述夾臂之間的相對距離，以控制所述活動夾持機構執行夾持或釋放動作；

升降機構，所述升降機構與所述夾臂控制機構相連接。

在本發明一個優選實施例中，兩個所述夾臂上分別設有夾塊限位組件，且兩個所述夾臂上的夾塊限位組件相對設置。

在本發明一個優選實施例中，所述夾塊限位組件包括上限位塊與下限位塊，所述上限位塊與所述下限位塊上均設有限位槽，所述限位槽的兩側分別設有“V”型側壁，且所述限位槽兩側的兩個所述“V”型側壁的尖頭部相對而設。

在本發明一個優選實施例中，所述下限位塊底部設有底板，所述底板上開設有第一通孔。

在本發明一個優選實施例中，所述上限位塊的頂部與所述下限位塊的頂部均呈斜面結構。

在本發明一個優選實施例中，各所述下限位塊分別位于對應的所述夾臂的底端，各所述上限位塊位于對應的所述下限位塊的上側，且各所述上限位塊與對應的所述下限位塊間隔預設距離。

在本發明一個優選實施例中，所述上限位塊與所述夾臂接觸面上設有第一連接塊，所述上限位塊通過所述第一連接塊上的第二通孔與對應的所述夾臂相連接；

所述下限位塊與所述夾臂接觸面上設有第二連接塊，所述下限位塊通過所述第二連接塊上的第三通孔與對應的所述夾臂相連接。

在本發明一個優選實施例中，所述夾臂控制機構包括兩組動力組件、兩組導向組件及兩根支撐臂，各組所述動力組件依次通過對應的所述導向組件、所述支撐臂與對應的夾臂相連接，且所述支撐臂與所述夾臂相互垂直設置。

在本發明一個優選實施例中，各所述動力組件由氣缸構成，各所述導向組件由導軌組件構成，所述導軌組件包括直線導軌及設于所述直線導軌上的滑塊；

所述滑塊分別與所述氣缸的氣缸活塞桿及對應的所述支撐臂相連接。

在本發明一個優選實施例中，所述夾臂控制機構還包括基座，各組所述動力組件及所述導向組件均設于所述基座上，所述基座固定于所述升降機構上。

通過采用上述技術方案，本發明具有如下有益效果：