[發明專利]模塊化容器液滴產生器組件及其部件替換方法

在審

• 申請號: 202210010143.5
• 申請日: 2022-01-06
• 公開（公告）號: CN114924465A
• 公開（公告）日: 2022-08-19
• 發明（設計）人: 孫于洸;蔡明訓;程薇心;賴政豪;陳鑫封;鄭喬華;吳政軒;羅煜發;呂柔萱;簡上傑;陳立銳;劉恒信
• 申請（專利權）人: 臺灣積體電路制造股份有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 北京律誠同業知識產權代理有限公司 11006
• 代理人: 徐金國

1.一種模塊化容器液滴產生器組件的部件替換方法，其特征在于，包含：

運作一極紫外光刻系統的一第一液滴產生器以從一液體燃料供應源形成一液體燃料的多個液滴，其中該液體燃料供應源流體連通該第一液滴產生器；

停止該第一液滴產生器的運作；

隔離該液體燃料與該第一液滴產生器，其中隔離該液體燃料與該第一液滴產生器包括：

通過流體連通該第一液滴產生器的一維修閥從一氣體供應源引入處于一第一壓力的一氣體，其中一氣液界面形成在該第一液滴產生器中的該液體燃料與該氣體之間；

驅動該氣液界面至流體連通該第一液滴產生器的一隔離閥；

偵測該隔離閥的一第二壓力；以及

當該第二壓力相同于或大于一臨界壓力時，關閉該隔離閥；

從該極紫外光刻系統中移除該第一液滴產生器；以及

耦合一第二液滴產生器至該極紫外光刻系統。

2.如權利要求1所述的方法，其特征在于，進一步包含通過以下方法開始該第二液滴產生器的運作：

關閉該維修閥的一維修路徑；以及

開啟該維修閥的一運作路徑。

3.如權利要求2所述的方法，其特征在于，其中：

關閉該維修閥的該維修路徑包括凝固在該維修路徑中的一液體燃料；以及

開啟該維修閥的該運作路徑包括解凍在該維修路徑中的一凝固液體部分。

4.一種模塊化容器液滴產生器組件，其特征在于，包含：

一液滴產生器組件；

一維修閥，耦合至該液滴產生器組件；

一隔離閥，耦合至該液滴產生器組件并流體連通該維修閥；

一壓力感測器，耦合至該隔離閥；以及

一溫度調整模塊，耦合至該壓力感測器。

5.如權利要求4所述的組件，其特征在于，進一步包含耦合至該維修閥的一氣體及真空傳送組件。

6.一種模塊化容器液滴產生器組件的部件替換方法，其特征在于，包含：

從一液體燃料供應組件隔離一極紫外光刻系統的一第一液滴產生器，其中隔離該第一液滴產生器包括：

在該液體燃料供應組件的一端開啟一隔離閥，其中位于該液體燃料供應組件與該第一液滴產生器之間的該隔離閥流體連通該第一液滴產生器；

通過該隔離閥從該第一液滴產生器驅動一液體燃料；

驅動在一氣體與該液體燃料之間的一氣液界面至該隔離閥；以及

通過關閉隔離閥以隔離該液體燃料與該第一液滴產生器。

7.如權利要求6所述的方法，其特征在于，關閉該隔離閥包括使該隔離閥中的該液體燃料從液相變為固相。

8.如權利要求6所述的方法，其特征在于，進一步包含在關閉該隔離閥后，以一第二液滴產生器替換該第一液滴產生器。

9.如權利要求6所述的方法，其特征在于，進一步包含：

偵測該隔離閥的一壓力；以及

當該壓力相同于或大于一臨界壓力時，關閉該隔離閥。

10.如權利要求9所述的方法，其特征在于，關閉該隔離閥包括降低該隔離閥的一溫度以及凝固在該隔離閥內的該液體。