[發明專利]一種光學鏡片增透膜及其制備方法在審
| 申請號： | 202210009626.3 | 申請日： | 2022-01-05 |
| 公開（公告）號： | CN114325888A | 公開（公告）日： | 2022-04-12 |
| 發明（設計）人： | 丁磊 | 申請（專利權）人： | 蘇州鐳云海創光電科技有限公司 |
| 主分類號： | G02B1/115 | 分類號： | G02B1/115;C23C14/02;C23C14/06;C23C14/24;C23C14/54 |
| 代理公司： | 蘇州匯誠匯智專利代理事務所(普通合伙) 32623 | 代理人： | 莫英妍 |
| 地址： | 215000 江蘇省蘇州市*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 光學鏡片 增透膜 及其 制備 方法 | ||
1.一種光學鏡片增透膜，其特征在于，光學鏡片增透膜從鏡片基材的表面到外設置有多層YF3膜層和多層ZnS膜層，所述YF3膜層和ZnS膜層依次交替設置。
2.根據權利要求1所述的一種光學鏡片增透膜，其特征在于，所述YF3膜層設置有4層，所述ZnS膜層設置有4層。
3.根據權利要求2所述的一種光學鏡片增透膜，其特征在于，所述YF3膜層的厚度為630-650nm，所述ZnS膜層的厚度為15-25nm。
4.根據權利要求3所述的一種光學鏡片增透膜，其特征在于，所述YF3膜層的厚度為640nm，所述ZnS膜層的厚度為20nm。
5.根據權利要求4所述的一種光學鏡片增透膜，其特征在于，所述鏡片基材為熱塑性聚酯、玻璃、石英或藍寶石。
6.一種光學鏡片增透膜的制備方法，包括以下步驟，
S1、通過薄膜光學的基本知識和分析方法，結合軟件進行優化，模擬計算得到YF3膜層的層數和ZnS膜層的層數，以及每層YF3膜層的厚度、每層ZnS膜層的厚度；
S2、對鏡片基材進行清洗、干燥；
S3、采用真空蒸鍍的方法對鏡片基材鍍增透膜。
7.根據權利要求6所述的一種光學鏡片增透膜的制備方法，其特征在于，步驟S3鍍增透膜的具體步驟如下：
S31、將真空鍍膜艙內的真空度調整至大于或等于5.0×10-3帕，并控制真空鍍膜艙內的溫度為60-70℃，采用霍爾離子源轟擊YF3，YF3蒸發后以納米級分子形式沉積于鏡片基片的外表面形成YF3膜層，同時控制YF3膜層蒸鍍的速率為YF3膜層的厚度為630-650nm；
S32、將真空鍍膜艙內的真空度調整至大于或等于5.0×10-3帕，并控制真空鍍膜艙內的溫度為60-70℃，采用霍爾離子源轟擊ZnS，ZnS蒸發后以納米級分子形式沉積于YF3膜層的外表面形成ZnS膜層，同時控制ZnS膜層蒸鍍的速率為ZnS膜層的厚度為15-25nm；
S33、將真空鍍膜艙內的真空度調整至大于或等于5.0×10-3帕，并控制真空鍍膜艙內的溫度為60-70℃，采用霍爾離子源轟擊YF3，YF3蒸發后以納米級分子形式沉積于ZnS膜層的外表面形成YF3膜層，同時控制YF3膜層蒸鍍的速率為YF3膜層的厚度為630-650nm；
S34、重復步驟S32、S33，直至形成4層YF3膜層和4層ZnS膜層交替排列的增透膜。
8.根據權利要求6所述的一種光學增透膜的制備方法，其特征在于：所述步驟S2，對鏡片基材的清洗具體步驟如下：
S21、將鏡片基體先放入雙氧水和濃硫酸的混合溶液浸泡，再超聲25-30min；
S22、將鏡片基體放入異丙醇溶劑中超聲25-30min；
S23、用去離子水和蒸餾水漂洗；
S24、清洗結束后將鏡片基體置于烘箱干燥，干燥后固定在基片臺上，然后將基片臺旋緊在真空腔室的轉盤上。
9.根據權利要求6所述的一種光學鏡片增透膜的制備方法，其特征在于，利用膜厚儀監控薄膜的厚度。
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