[發(fā)明專利]晶圓加工裝置及加工方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202210008562.5
• 申請(qǐng)日: 2022-01-06
• 公開（公告）號(hào): CN114029610B
• 公開（公告）日: 2022-03-18
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳治賢;馮玙璠;王正根
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 蘇州邁為科技股份有限公司
• 主分類號(hào): B23K26/067
• 分類號(hào): B23K26/067;B23K26/064
• 代理公司: 江蘇瑞途律師事務(wù)所 32346
• 代理人: 陳鵬瑋

1.晶圓加工裝置，其特征在于，包括激光器（101）、第一波片（103）、第一分光晶體（104）、第一光路器件、第二光路器件和分光單元；

所述第一波片（103）和第一分光晶體（104）依次設(shè)置于激光器（101）所發(fā)射激光的光路上，第一分光晶體（104）將激光器（101）所發(fā)射激光分成第一光束和第二光束；

所述第一光路器件設(shè)置于第一光束的光路上，第一光路器件包括光闌（112），第一光束經(jīng)過第一光路器件與分光單元后整形為兩束長(zhǎng)條狀光斑；

所述第二光路器件設(shè)置于第二光束的光路上，第二光束經(jīng)過第二光路器件與分光單元后整形為兩束圓形光斑；

所述分光單元包括第二波片（106）、渥拉斯頓棱鏡（107）和第二透鏡（108），第二波片（106）、渥拉斯頓棱鏡（107）和第二透鏡（108）沿光線方向依次設(shè)置。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓加工裝置，其特征在于：

所述第一光路器件還包括第一光閘（111），所述第二光路器件還包括第二光閘（121），第一光閘（111）和第二光閘（121）用于第一光束和第二光束通斷的切換。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓加工裝置，其特征在于，所述第一光路器件還包括第一透鏡（114），所述第一透鏡（114）為柱面鏡。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓加工裝置，其特征在于，還包括第二分光晶體（105），所述第二分光晶體（105）設(shè)置于第一光束的光路和第二光束的光路的交點(diǎn)上。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓加工裝置，其特征在于，還包括光束探測(cè)單元（109），所述光束探測(cè)單元（109）設(shè)置于所述分光單元的光路后方；其包括擋板與接受靶面，所述分光單元分光產(chǎn)生兩個(gè)光斑，所述擋板能夠阻擋其中一個(gè)光斑到達(dá)接受靶面上；

和/或

還包括反射鏡，所述反射鏡用于將第一光束的光路和第二光束的光路調(diào)整形成交點(diǎn)；

和/或

還包括光束監(jiān)測(cè)分光片（401）和光束監(jiān)測(cè)單元（402），所述光束監(jiān)測(cè)分光片（401）設(shè)置于分光單元前的光路上，光束監(jiān)測(cè)分光片（401）將光路分光至光束監(jiān)測(cè)單元（402）；

和/或

還包括擴(kuò)束鏡（102），所述擴(kuò)束鏡（102）設(shè)置于激光器（101）和第一分光晶體（104）之間。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的晶圓加工裝置，其特征在于，還包括波片電機(jī)，所述波片電機(jī)設(shè)置于第二波片上，用于驅(qū)動(dòng)第二波片旋轉(zhuǎn)；還包括控制器，所述控制器分別與光束探測(cè)單元（109）和波片電機(jī)相連，光束探測(cè)單元（109）將光束能量分布信息傳輸至控制器，控制器能夠控制波片電機(jī)旋轉(zhuǎn)。

7.晶圓加工方法，其特征在于，所使用裝置為權(quán)利要求1~6任一項(xiàng)所述的晶圓加工裝置，加工方法為：

（1）激光器發(fā)射激光束，進(jìn)入第一波片（103），之后經(jīng)第一分光晶體（104）被分成第一光束和第二光束，通過旋轉(zhuǎn)第一波片（103）調(diào)節(jié)兩束光的能量大??；

（2）關(guān)閉第一光閘（111），打開第二光閘（121），第二光束正常通過，第二光束經(jīng)過第二光路器件與分光單元后整形為兩束圓形光斑，在產(chǎn)品（201）切割道兩側(cè)并列同時(shí)加工形成兩條細(xì)線槽；

（3）關(guān)閉第二光閘（121），打開第一光閘（111），第一光束正常通過，經(jīng)光闌（112）后形成條狀光斑，經(jīng)過第一光路器件與分光單元后整形為兩束長(zhǎng)條狀光斑，在兩條細(xì)線槽之間形成單寬線槽，最終完成產(chǎn)品（201）切割槽。