[發(fā)明專利]用于電子器件探針頭的接觸探針及相應的探針頭

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• 申請?zhí)枺?/td>: 202180082978.5
• 申請日: 2021-12-09
• 公開（公告）號: CN116635722A
• 公開（公告）日: 2023-08-22
• 發(fā)明（設計）人: 里卡爾多·維托里
• 申請（專利權）人: 泰克諾探頭公司
• 主分類號: G01R1/073
• 分類號: G01R1/073
• 代理公司: 北京商專永信知識產權代理事務所(普通合伙) 11400
• 代理人: 江亞男;方挺

本發(fā)明公開了一種接觸探針(20)，該接觸探針具有第一端部(20A)和第二端部(20B)以及在第一端部(20A)和第二端部(20B)之間按照縱向發(fā)展軸(HH)延伸的探針主體(20C)，該第一端部的末端為適于緊貼在被測器件的接觸墊上的接觸尖端(20F)，該第二端部的末端為適于緊貼在測試設備的電路板的接觸墊上的接觸頭(20E)，其特征在于，該接觸探針包括彈性擋件(21)，該彈性擋件設置在探針主體(20G)的與第二端部(20B)相接布置的彈性部分中，所述彈性擋件(21)可在第一工作狀態(tài)和第二工作狀態(tài)之間彈性地變形，在第一工作狀態(tài)下，該彈性擋件的橫向直徑(DG)大于探針主體(20C)的橫向直徑(DC)，在第二工作狀態(tài)下，該彈性擋件的橫向直徑(DG')基本上與探針主體(20C)的橫向直徑(DC)相對應，術語橫向直徑是指根據(jù)與所述縱向發(fā)展軸(HH)正交的平面截取的截面最大橫向尺寸，該截面甚至不是圓形的。

技術領域

本發(fā)明在其更普遍的方面涉及一種用于電子器件探針頭的接觸探針，下面的描述是參考這一應用領域進行的，目的只是為了簡化其論述。

背景技術

眾所周知，探針頭本質上是一種適于將微觀結構(特別是集成在晶圓上的電子器件)的多個接觸墊與執(zhí)行其功能測試(特別是電測試，或一般的測試)的探針設備的相應通道進行電連接的器件。

對集成電子器件進行的測試對于檢測和隔離正在生產的有缺陷的器件特別有用。通常，在切割和組裝集成在芯片密封封裝體內的電子器件之前，探針頭被用于對其進行電氣測試。

探針頭通常包括各種接觸元件或探針，這些接觸元件或探針由具有良好電氣和機械性能的特殊合金制成，并設有至少一個與被測器件的接觸墊接觸的部分。

通常稱為垂直探針頭的探針頭包括通常由至少一對板或導引件固定的多個接觸探針，這些板或導引件基本上是板狀的并且相互平行。所述導引件設有適當?shù)目祝糜谌菁{探針，并且彼此之間有一定的距離，從而為接觸探針的移動和可能的變形留出自由區(qū)域或空隙。這對導引件特別包括上導引件和下導引件，上導引件靠近與探針頭連接的測試設備，下導引件靠近包含被測器件的晶圓，這兩個導引件都設有對應的導引孔，接觸探針在其中軸向滑動。換句話說，根據(jù)圖中局部參考系的z軸，上導引件位于下導引件上方。

探針頭的接觸探針和被測器件的接觸墊之間的良好連接是由探針頭對該器件的按壓來保證的，其中可在上下導引件的導引孔中移動的接觸探針在所述按壓接觸期間在這兩個導引件之間的空隙中彎曲并在對應的導引孔中滑動。

此外，接觸探針在空隙中的彎曲可以通過探針本身或其導引件的適當配置來幫助，如圖1示意性地所示，其中說明的探針頭是所謂的移位板類型。

在這種情況下，探針頭10包括至少一對上導引件(上模)，特別是第一上導引件16和第二上導引件17，它們是板狀的，彼此平行，并與下導引件(下模)18平行，這些導引件分別設有第一上導引孔16A、第二上導引孔17A和下導引孔18A，接觸探針11在其中滑動。在其他已知的實施例中(圖中沒有說明)，下導引件也被分成下導引件和中間導引件，后者也設有適當?shù)膶б祝糜诨瑒咏佑|探針11。

更具體地說，第一上導引件16和第二上導引件17相對于下導引件18移位，其中術語移位是指對應的第一上導引孔16A、第二上導引孔17A和下導引孔18A的中心相互錯位，且不沿同一縱向方向，在圖中局部參考系中用z表示，所述縱向方向z垂直于參考平面π，對應于導引件的橫向發(fā)展平面。此外，第一上導引件16和第二下導引件17相對于彼此移位。因此，容納在所述第一上導引件16、第二上導引件17和下導引件18的導引孔中的接觸探針11相對于其縱向發(fā)展軸HH變形，對應于圖中局部參考的縱向方向z。

每個接觸探針11包括基本上沿縱向發(fā)展軸HH延伸的探針主體11C，多個接觸探針11通常布置在探針頭10內，所述縱向發(fā)展軸HH與參考平面π正交布置。