[發明專利]壓電單晶、其制造方法及使用其的壓電及介電應用部件在審
| 申請號: | 202180082720.5 | 申請日: | 2021-12-08 |
| 公開(公告)號: | CN116569675A | 公開(公告)日: | 2023-08-08 |
| 發明(設計)人: | 李壕用;白媛善;金蕫皓;金文贊 | 申請(專利權)人: | 賽若樸有限公司 |
| 主分類號: | H10N30/85 | 分類號: | H10N30/85;C30B29/22;C30B1/02;H10N30/093 |
| 代理公司: | 北京三友知識產權代理有限公司 11127 | 代理人: | 李棟修;龔澤亮 |
| 地址: | 韓國忠*** | 國省代碼: | 暫無信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 壓電 制造 方法 使用 應用 部件 | ||
1.具有由以下化學式1的組成式表示的鈣鈦礦型結構的壓電單晶:
化學式1
[A1-(a+1.5b)BaCb][(MN)1-x-y(L)yTix]O3
在所述式中,A表示Pb或Ba,
B表示選自由Ba、Ca、Co、Fe、Ni、Sn和Sr組成的組中的至少一種或多種元素,
C表示選自由Co、Fe、Bi、La、Ce、Pr、Nd、Pm、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb和Lu組成的組中的一種或多種元素,
L表示由選自Zr或Hf中的一種組成的單一形式,或其混合形式,
M表示選自由Ce、Co、Fe、In、Mg、Mn、Ni、Sc、Yb和Zn組成的組中的至少一種或多種元素,
N表示選自由Nb、Sb、Ta和W組成的組中的至少一種或多種元素,并且
a、b、x和y分別表示0a≤0.10、0b≤0.05、0.05≤x≤0.58和0.05≤y≤0.62。
2.如權利要求1所述的壓電單晶,其中,當L表示混合形式時,所述壓電單晶由以下化學式2的組成式表示:
化學式2
[A1-(a+1.5b)BaCb][(MN)1-x-y(Zr1-w,Hfw)yTix]O3,
其中,w表示0.01≤w≤0.20。
3.如權利要求1所述的壓電單晶,其中,在所述式中,a和b分別表示0.01≤a≤0.10和0.01≤b≤0.05。
4.如權利要求1所述的壓電單晶,其中,在所述式中,滿足a/b≥2的條件。
5.如權利要求1所述的壓電單晶,其中,在所述式中,x和y分別表示0.10≤x≤0.58和0.10≤y≤0.62。
6.如權利要求1所述的壓電單晶,其中,所述壓電單晶顯示形成0.2摩爾%至0.5摩爾%的單晶內部的組成梯度。
7.如權利要求1所述的壓電單晶,其中,以體積比計,在所述壓電單晶的組成中還包含0.1%至20%的強化第二相P。
8.如權利要求8所述的壓電單晶,其中,所述強化第二相P為金屬相、氧化物相或孔隙。
9.如權利要求8所述的壓電單晶,其中,所述強化第二相P為選自由Au、Ag、Ir、Pt、Pd、Rh、MgO、ZrO2和孔隙組成的組中的至少一種或多種物質。
10.如權利要求8所述的壓電單晶,其中,所述強化第二相P在所述壓電單晶內部以晶粒形式均勻分布,或在具有固定圖案時規則分布。
11.如權利要求1所述的壓電單晶,其中,所述x和所述y屬于在菱方相與四方相之間的準同型相界(MPB)中的組成的10mol%內的范圍。
12.如權利要求1所述的壓電單晶,其中,所述x和所述y屬于在菱方相與四方相之間的準同型相界(MPB)中的組成的5mol%內的范圍。
13.如權利要求1所述的壓電單晶,其中,所述壓電單晶顯示居里溫度TC為180℃以上,與此同時,菱方相與四方相之間的相變溫度TRT為100℃以上。
14.如權利要求1所述的壓電單晶,其中,所述壓電單晶顯示縱向機電耦合系數k33為0.85以上。
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