[發(fā)明專利]用于化學(xué)機(jī)械拋光墊的能夠UV固化的樹脂

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202180071443.8
• 申請(qǐng)日: 2021-10-18
• 公開（公告）號(hào): CN116368161A
• 公開（公告）日: 2023-06-30
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 蔡晨智;E·S·莫耶;黃平
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: CMC材料股份有限公司
• 主分類號(hào): C08F2/50
• 分類號(hào): C08F2/50
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務(wù)所 11105
• 代理人: 詹承斌

1.用于形成化學(xué)機(jī)械拋光墊的能夠UV固化的樹脂，包含：

(a)一種或多種經(jīng)丙烯酸酯封閉的異氰酸酯；

(b)一種或多種丙烯酸酯單體；及

(c)光引發(fā)劑。

2.如權(quán)利要求1的能夠UV固化的樹脂，其中該一種或多種經(jīng)丙烯酸酯封閉的異氰酸酯包含丙烯酸酯封閉劑及經(jīng)異氰酸酯終止的氨基甲酸酯預(yù)聚物。

3.如權(quán)利要求1的能夠UV固化的樹脂，其中該一種或多種經(jīng)丙烯酸酯封閉的異氰酸酯包含聚異氰酸酯。

4.如權(quán)利要求2的能夠UV固化的樹脂，其中該丙烯酸酯封閉劑選自丙烯酸2-羥乙酯(HEA)、甲基丙烯酸2-羥乙酯(HEMA)、甲基丙烯酸2-(叔丁基氨基)乙酯(TBEMA)及甲基丙烯酸3-(丙烯酰氧基)-2-羥丙酯(AHPMA)。

5.如權(quán)利要求2的能夠UV固化的樹脂，其中該經(jīng)異氰酸酯終止的氨基甲酸酯預(yù)聚物包含芳族預(yù)聚物、脂族預(yù)聚物或其組合。

6.如權(quán)利要求2的能夠UV固化的樹脂，其中該經(jīng)丙烯酸酯封閉的異氰酸酯包含丙烯酸酯封閉劑的混合物。

7.如權(quán)利要求6的能夠UV固化的樹脂，其中該丙烯酸酯封閉劑為甲基丙烯酸2-(叔丁基氨基)乙酯及丙烯酸2-羥乙酯。

8.如權(quán)利要求7的能夠UV固化的樹脂，其中甲基丙烯酸2-(叔丁基氨基)乙酯:丙烯酸2-羥乙酯的比值大于50:50。

9.如權(quán)利要求8的能夠UV固化的樹脂，其中該甲基丙烯酸2-(叔丁基氨基)乙酯:丙烯酸2-羥乙酯的比值為75:25。

10.如權(quán)利要求1的能夠UV固化的樹脂，其中該一種或多種丙烯酸酯單體選自甲基丙烯酸異冰片酯(IBMA)、丙烯酸2-羧基乙酯(CEA)、丙烯酸2-羥乙酯(HEA)、乙二醇二甲基丙烯酸酯(EGDMA)、新戊二醇二甲基丙烯酸酯(NGDMA)、甲基丙烯酸3-(丙烯酰氧基)-2-羥丙酯(AHPMA)及三羥甲基丙烷三丙烯酸酯(TMPTA)。

11.如權(quán)利要求1的能夠UV固化的樹脂，其中該光引發(fā)劑為二苯基氧化膦(TPO)。

12.如權(quán)利要求1的能夠UV固化的樹脂，進(jìn)一步包含選自穩(wěn)定劑、增塑劑、成孔劑填料、顏料及其組合的添加劑。

13.化學(xué)機(jī)械拋光墊，其包含由如權(quán)利要求1的能夠UV固化的樹脂的聚合形成的聚合材料。

14.形成拋光墊的方法，包括：

(a)制備能夠UV固化的樹脂，該能夠UV固化的樹脂包含：

(i)一種或多種經(jīng)丙烯酸酯封閉的異氰酸酯；

(ii)一種或多種丙烯酸酯單體，及

(ⅲ)光引發(fā)劑；

(b)使該能夠UV固化的樹脂的薄層曝露于UV光，引發(fā)聚合反應(yīng)，且由此形成凝固的墊材料的薄層；

其中該方法不包括熱固化步驟。

15.如權(quán)利要求14的方法，其中該一種或多種經(jīng)丙烯酸酯封閉的異氰酸酯包含丙烯酸酯封閉劑及經(jīng)異氰酸酯終止的氨基甲酸酯預(yù)聚物。

16.如權(quán)利要求15的方法，其中該丙烯酸酯封閉劑選自丙烯酸2-羥乙酯(HEA)、甲基丙烯酸2-羥乙酯(HEMA)、甲基丙烯酸2-(叔丁基氨基)乙酯(TBEMA)及甲基丙烯酸3-(丙烯酰氧基)-2-羥丙酯(AHPMA)。

17.如權(quán)利要求15的方法，其中該經(jīng)異氰酸酯終止的氨基甲酸酯預(yù)聚物包含芳族預(yù)聚物、脂族預(yù)聚物或其組合。