[發明專利]延遲時間測量方法和系統

在審

• 申請號: 202180062283.0
• 申請日: 2021-09-08
• 公開（公告）號: CN116057392A
• 公開（公告）日: 2023-05-02
• 發明（設計）人: B·H·高利;J·F·M·范倫斯
• 申請（專利權）人: ASML荷蘭有限公司
• 主分類號: G01R31/305
• 分類號: G01R31/305
• 代理公司: 北京市金杜律師事務所 11256
• 代理人: 張寧;楊飛

1.一種存儲指令的計算機可讀介質，所述指令當由計算機執行時，使得所述計算機執行以下操作：

-通過帶電粒子射束的脈沖來輻照線路，其中所述帶電粒子射束的所述脈沖的脈沖重復頻率是變化的；

-對于所述脈沖重復頻率中的每個脈沖重復頻率，響應于通過所述帶電粒子射束的所述脈沖以相應脈沖重復頻率輻照所述線路，測量次級帶電粒子發射；并且

-響應于所述脈沖重復頻率的變化，基于所述次級帶電粒子發射來導出所述線路的延遲時間。

2.根據權利要求1所述的計算機可讀介質，其中所述脈沖重復在脈沖重復頻率范圍內發生變化，所述脈沖重復頻率范圍包括由1除以所述線路的所述延遲時間而定義的頻率。

3.根據權利要求1所述的計算機可讀介質，其中所述線路的所述延遲時間被確定為所述次級帶電粒子發射中響應于所述脈沖重復頻率的變化的高頻滾降點。

4.根據權利要求1所述的計算機可讀介質，其中所述脈沖的脈沖寬度小于由所述脈沖重復頻率確定的脈沖重復時間。

5.根據權利要求1所述的計算機可讀介質，其中對于每個脈沖重復頻率，由至少兩個后續脈沖進行的所述線路的輻照被重復，利用每次重復，響應于所述至少兩個后續脈沖的所述次級帶電粒子發射被測量，并且對于每個重復頻率測量的所述次級帶電粒子發射被平均。

6.根據權利要求5所述的計算機可讀介質，其中所述線路的所述延遲時間根據經平均的所述次級帶電粒子發射與所述脈沖重復頻率之間的關系而被導出。

7.一種用于測量信號在電路結構中的線路中的傳播延遲時間的系統，所述系統包括：

-帶電粒子射束源，被配置為通過帶電粒子射束的脈沖來輻照所述線路，其中所述帶電粒子射束的所述脈沖的脈沖重復頻率是變化的；

-次級帶電粒子發射檢測器，用于對于所述脈沖重復頻率中的每個脈沖重復頻率，響應于通過所述帶電粒子射束的所述脈沖以相應脈沖重復頻率輻照所述線路，測量次級帶電粒子發射；以及

-數據處理設備，被配置為響應于所述脈沖重復頻率的所述變化，基于所述次級帶電粒子發射來導出所述線路的所述延遲時間。

8.根據權利要求7所述的系統，其中所述帶電粒子射束源被配置為使所述脈沖重復在脈沖重復頻率范圍內發生變化，所述脈沖重復頻率范圍包括由1除以所述線路的所述延遲時間而定義的頻率。

9.根據權利要求7所述的系統，其中所述數據處理設備被配置為：將所述線路的所述延遲時間確定為所述次級帶電粒子發射中響應于所述脈沖重復頻率的所述變化的高頻滾降點。

10.根據權利要求7所述的系統，其中所述脈沖的脈沖寬度小于由所述脈沖重復頻率確定的脈沖重復時間。

11.根據權利要求7所述的系統，其中所述帶電粒子射束被配置為：對于每個脈沖重復頻率，重復由至少兩個后續脈沖進行所述線路的輻照，所述檢測器被配置為：利用每次重復，測量響應于所述至少兩個后續脈沖的所述次級帶電粒子發射，并且所述數據處理設備被配置為：對在每個重復時間內測量的所述次級帶電粒子發射進行平均。

12.根據權利要求11所述的系統，其中所述數據處理設備被配置為：根據經平均的所述次級帶電粒子發射的改變導出所述線路的所述延遲時間，經平均的所述次級帶電粒子發射隨所述帶電粒子射束的所述兩個后續脈沖之間的所述脈沖重復時間而變化。

13.根據權利要求7所述的系統，其中所述帶電粒子射束是電子射束，所述次級帶電粒子發射是次級電子發射。

14.根據權利要求7所述的系統，其中所述電路結構是管芯。

15.根據權利要求7所述的系統，其中所述帶電粒子射束的所述脈沖將所述線路充電到一電勢，所述線路的所述電勢影響所述次級帶電粒子發射，其中所述數據處理設備被配置為：根據所述線路的所述電勢的衰減導出所述線路的所述延遲時間，并且根據所述脈沖重復頻率的所述改變對所述次級帶電粒子發射的影響導出所述線路的所述電勢的所述衰減。