[發明專利]用于具有分段靶構造的磁控管的系統和方法

在審

• 申請號: 202180052226.4
• 申請日: 2021-07-30
• 公開（公告）號: CN115989557A
• 公開（公告）日: 2023-04-18
• 發明（設計）人: 馬克-安德魯·拉里維埃;胡安·里奧斯雷耶斯;尼汀·喬德哈瑞;李超;布倫丹·V·特朗格;克里斯蒂安·K·福吉;邁克爾·S·科雷拉
• 申請（專利權）人: OEM集團有限責任公司
• 主分類號: H01J37/34
• 分類號: H01J37/34
• 代理公司: 中原信達知識產權代理有限責任公司 11219
• 代理人: 李金剛;梁曉廣

1.一種磁控管系統，包括：

基板組件，所述基板組件限定殼體部分和電力饋通；

分段靶組件，所述分段靶組件具有布置在所述殼體部分內的內部靶段，所述內部靶段具有多個靶磚；

多個電接觸件，所述多個電接觸件與所述電力饋通電氣連通，其中，所述多個電接觸件中的各電接觸件電接觸所述多個靶磚中的相應的靶磚，使得電力從所述多個電接觸件中的各電接觸件輸送到所述多個靶磚中的各相應的靶磚；以及

磁體組件，所述磁體組件被布置在所述殼體部分內。

2.根據權利要求1所述的系統，其中，所述分段靶組件還包括外部靶段，所述外部靶段具有多個靶磚，其中，所述外部靶段圍繞所述內部靶段。

3.根據權利要求2所述的系統，其中，所述磁體組件還包括：

外部磁體組件，所述外部磁體組件包括第一組的多個磁體對；以及

內部磁體組件，所述內部磁體組件包括第二組的多個磁體對；

其中，所述外部磁體組件圍繞所述內部磁體組件。

4.根據權利要求3所述的系統，還包括：

水套組件，其中，所述水套組件包括：

外部水套，所述外部水套被布置在所述磁體組件的外部磁體組件內；以及

內部水套，所述內部水套被布置在所述磁體組件的內部磁體組件內。

5.根據權利要求4所述的系統，其中，所述內部靶段處于同心構造，所述外部靶段處于同心構造，所述內部磁體組件處于同心構造，所述外部磁體組件處于同心構造，所述內部水套處于同心構造，并且所述外部水套處于同心構造。

6.根據權利要求1所述的系統，其中，所述基板組件還包括：

氣體塔，所述氣體塔與氣體組件成流體流連通，所述氣體塔能夠操作以用于將氣體引入到所述系統中。

7.根據權利要求3所述的系統，其中，每個磁體對還包括豎直磁體和水平磁體，每個豎直磁體與Z軸對準，并且各水平磁體垂直于各豎直磁體地對準。

8.根據權利要求1所述的系統，還包括：所述多個靶磚的第一子集，所述第一子集具有第一材料；以及所述多個靶磚的第二子集，所述第二子集具有第二材料。

9.根據權利要求8所述的系統，其中，所述多個靶磚以交替順序布置，使得所述多個靶磚中的具有所述第一材料的靶磚被并置于所述多個靶磚中的具有所述第二材料的兩個靶磚之間，并且所述多個靶磚中的具有所述第二材料的靶磚被并置于所述多個靶磚中的具有所述第一材料的兩個靶磚之間。

10.根據權利要求8所述的系統，其中，所述第一材料是鋁。

11.根據權利要求10所述的系統，其中，所述第二材料是鈧。

12.根據權利要求1所述的系統，其中，所述多個靶磚彼此電隔離。

13.根據權利要求12所述的系統，其中，所述外部靶段和所述內部靶段通過環形的靶屏蔽件彼此電隔離。

14.根據權利要求12所述的系統，其中，所述外部靶段和所述內部靶段通過多個間隔件彼此電隔離。

15.根據權利要求1所述的系統，其中，所述磁體組件被定位在所述分段靶組件的下方，所述磁體組件具有多個磁體對，各磁體對圍繞中心軸線Z環形地定位。

16.根據權利要求15所述的系統，其中，所述磁體組件還包括多個極片，并且其中，每個磁體對接觸所述多個極片中的至少兩個極片。

17.根據權利要求16所述的系統，其中，所述內部磁體組件的直徑小于所述外部磁體組件的直徑。