[發(fā)明專利]信息處理方法以及信息處理裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202180047096.5
• 申請(qǐng)日: 2021-06-18
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN115803849A
• 公開(kāi)（公告）日: 2023-03-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 米道仁史
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 東京毅力科創(chuàng)株式會(huì)社
• 主分類(lèi)號(hào): H01L21/02
• 分類(lèi)號(hào): H01L21/02
• 代理公司: 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227
• 代理人: 宋魏魏

本發(fā)明涉及信息處理方法以及信息處理裝置。信息處理方法獲取在對(duì)基板的周期處理中測(cè)定出的時(shí)間序列數(shù)據(jù)組。信息處理方法針對(duì)獲取到的時(shí)間序列數(shù)據(jù)組所包含的每個(gè)時(shí)間序列數(shù)據(jù)，計(jì)算周期處理的各周期的統(tǒng)計(jì)值。信息處理方法生成基于計(jì)算出的統(tǒng)計(jì)值的統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)。信息處理方法將生成的統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)或者時(shí)間序列數(shù)據(jù)分割為規(guī)定的區(qū)間。信息處理方法基于分割后的統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)或者時(shí)間序列數(shù)據(jù)，針對(duì)每個(gè)區(qū)間計(jì)算代表值。

技術(shù)領(lǐng)域

本公開(kāi)涉及信息處理方法以及信息處理裝置。

背景技術(shù)

在半導(dǎo)體裝置的制造工藝中，存在切換多個(gè)處理氣體，對(duì)基板反復(fù)層疊幾乎為單分子層的薄的單位膜的原子層沉積法(ALD：Atomic Layer Deposition)。另外，存在對(duì)在基板上成膜的膜反復(fù)進(jìn)行幾乎為單分子層的薄的單位膜的蝕刻的ALE(Atomic LayerEtching：原子層蝕刻)。在ALD以及ALE中，通過(guò)對(duì)一張基板反復(fù)執(zhí)行同樣的處理來(lái)進(jìn)行規(guī)定的工藝處理。

專利文獻(xiàn)1：日本特開(kāi)2012-209593號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容

本公開(kāi)提供能夠提高在反復(fù)處理時(shí)測(cè)定出的時(shí)間序列數(shù)據(jù)組的特征量提取的精度的信息處理方法以及信息處理裝置。

根據(jù)本公開(kāi)的一方式的信息處理方法獲取在對(duì)基板的周期處理中測(cè)定出的時(shí)間序列數(shù)據(jù)組。信息處理方法針對(duì)獲取到的時(shí)間序列數(shù)據(jù)組所包含的每個(gè)時(shí)間序列數(shù)據(jù)，計(jì)算周期處理的各周期的統(tǒng)計(jì)值。信息處理方法生成基于計(jì)算出的統(tǒng)計(jì)值的統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)。信息處理方法將生成的統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)或者時(shí)間序列數(shù)據(jù)分割為規(guī)定的區(qū)間。信息處理方法基于分割后的統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)或者時(shí)間序列數(shù)據(jù)，針對(duì)每個(gè)區(qū)間計(jì)算代表值。

根據(jù)本公開(kāi)，能夠提高在反復(fù)處理時(shí)測(cè)定出的時(shí)間序列數(shù)據(jù)組的特征量提取的精度。

附圖說(shuō)明

圖1是表示本公開(kāi)的一個(gè)實(shí)施方式中的信息處理系統(tǒng)的一個(gè)例子的框圖。

圖2是表示本公開(kāi)的一個(gè)實(shí)施方式中的信息處理裝置的硬件結(jié)構(gòu)的一個(gè)例子的框圖。

圖3是表示本公開(kāi)的一個(gè)實(shí)施方式中的信息處理裝置的功能結(jié)構(gòu)的一個(gè)例子的功能框圖。

圖4是表示時(shí)間序列數(shù)據(jù)的一個(gè)例子的圖。

圖5是表示放大時(shí)間序列數(shù)據(jù)的一部分的一個(gè)例子的圖。

圖6是表示來(lái)自時(shí)間序列數(shù)據(jù)的統(tǒng)計(jì)值的計(jì)算的一個(gè)例子的圖。

圖7是表示通過(guò)貝葉斯優(yōu)化設(shè)定的區(qū)間的一個(gè)例子的圖。

圖8是表示區(qū)間的代表值和測(cè)量數(shù)據(jù)的關(guān)系的一個(gè)例子的圖。

圖9是表示根據(jù)時(shí)間序列數(shù)據(jù)求出統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)的區(qū)間的代表值的情況下的一個(gè)例子的圖。

圖10是表示工藝的異常檢測(cè)中的與以往的比較的一個(gè)例子的圖。

圖11是表示本實(shí)施方式中的特征量提取處理的一個(gè)例子的流程圖。

圖12是表示本實(shí)施方式中的預(yù)測(cè)處理的一個(gè)例子的流程圖。

具體實(shí)施方式

以下，基于附圖，詳細(xì)對(duì)公開(kāi)的信息處理方法以及信息處理裝置的實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。此外，并不是通過(guò)以下的實(shí)施方式限定公開(kāi)技術(shù)。