[發(fā)明專利]真空系統(tǒng)設(shè)備和方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202180041487.6
• 申請(qǐng)日: 2021-06-08
• 公開（公告）號(hào): CN115667723A
• 公開（公告）日: 2023-01-31
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: S·凱拉薩姆;M·W·格雷
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 愛德華茲有限公司
• 主分類號(hào): F04C25/02
• 分類號(hào): F04C25/02;F04D19/04;F04D29/58;F04C29/04
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 代易寧;郭帆揚(yáng)

1.一種真空系統(tǒng)(1)，包括:

真空泵(3)；以及

熱交換器(7)，所述熱交換器(7)用于接收熱傳遞流體，所述熱傳遞流體包括氣體；

其中所述熱交換器(7)熱聯(lián)接到所述真空泵(3)并且能夠操作以從所述真空泵(3)吸收熱能。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空系統(tǒng)(1)，包括至少一個(gè)端口(29)，用于將所述熱傳遞流體從所述熱交換器(7)引入所述真空泵(3)和/或所述真空泵(3)的排出管。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的真空系統(tǒng)(1)，包括用于加熱所述熱傳遞流體的氣體加熱器(11)，所述氣體加熱器(11)設(shè)置在所述熱交換器(7)與所述端口(29)之間。

4.根據(jù)權(quán)利要求1、2或3中任一項(xiàng)所述的真空系統(tǒng)(1)，包括用于控制對(duì)所述熱交換器(7)的所述熱傳遞流體的供應(yīng)的控制閥(9)。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的真空系統(tǒng)(1)，其中，所述控制閥(9)能夠操作以選擇性地繞過所述熱交換器(7)。

6.根據(jù)權(quán)利要求4或5所述的真空系統(tǒng)(1)，包括用于控制所述控制閥(9)的操作的閥控制器(31)，所述閥控制器(31)包括至少一個(gè)電子處理器，所述電子處理器具有用于接收指示所述真空泵(3)的操作狀態(tài)的信號(hào)的至少一個(gè)輸入端。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的真空系統(tǒng)(1)，其中，所述閥控制器(31)被配置成選擇性地致動(dòng)所述控制閥(9)以降低對(duì)所述熱交換器(7)的所述熱傳遞流體的供應(yīng)，從而減少從所述真空泵(3)吸收熱能。

8.根據(jù)權(quán)利要求6或權(quán)利要求7所述的真空系統(tǒng)(1)，其中所述閥控制器(31)被配置成根據(jù)指示所述真空泵(3)在低負(fù)荷狀況下操作的信號(hào)選擇性地致動(dòng)所述控制閥(9)以降低對(duì)所述熱交換器(7)的所述熱傳遞流體的供應(yīng)。

9.根據(jù)權(quán)利要求6、7或8中任一項(xiàng)所述的真空系統(tǒng)(1)，其中，所述閥控制器(31)被配置成選擇性地致動(dòng)所述控制閥(9)以增加對(duì)所述熱交換器(7)的所述熱傳遞流體的供應(yīng)，從而增加從所述真空泵(3)的熱能吸收。

10.根據(jù)權(quán)利要求6至9中任一項(xiàng)所述的真空系統(tǒng)(1)，其中，所述閥控制器(31)被配置成根據(jù)指示所述真空泵(3)在高負(fù)荷狀況下操作的信號(hào)選擇性地致動(dòng)所述控制閥(9)以增加對(duì)所述熱交換器(7)的所述熱傳遞流體的供應(yīng)。

11.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的真空系統(tǒng)(1)，包括冷卻塊(39)，所述冷卻塊熱聯(lián)接到所述熱交換器(7)并且能夠操作以選擇性地從所述熱交換器(7)吸收熱能；所述冷卻塊(39)被配置成接收冷卻劑，其中所述冷卻劑包括液體。

12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的真空系統(tǒng)(1)，其中，所述冷卻塊(39)具有用于輸送所述冷卻劑的入口和出口。

13.根據(jù)權(quán)利要求11或12所述的真空系統(tǒng)(1)，包括冷卻塊控制器(31)，所述冷卻塊控制器(31)用于控制對(duì)所述冷卻塊(39)的冷卻劑供應(yīng)，所述冷卻塊控制器(31)被配置為根據(jù)熱交換器(7)的溫度大于或等于預(yù)定義溫度閾值的確定來供應(yīng)冷卻劑。

14.根據(jù)權(quán)利要求11、12或13中任一項(xiàng)所述的真空系統(tǒng)(1)，其中，所述熱交換器(7)和所述冷卻塊(39)能夠彼此獨(dú)立地操作。

15.一種操作真空系統(tǒng)(1)的方法，所述真空系統(tǒng)(1)包括真空泵(3)和用于從所述真空泵(3)吸收熱能的熱交換器(7)，所述熱交換器(7)被配置成接收熱傳遞流體；

其中所述熱傳遞流體包括凈化氣體，并且所述方法包括選擇性地將所述熱傳遞流體從所述熱交換器(7)供應(yīng)到所述真空泵(3)或供應(yīng)到所述真空泵(3)的排出管中。