[發(fā)明專(zhuān)利]結(jié)構(gòu)化照明的相位掩模

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202180022444.3
• 申請(qǐng)日: 2021-02-16
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN115297765A
• 公開(kāi)（公告）日: 2022-11-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: M·喬治亞迪斯
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 熱電科學(xué)儀器有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): A61B5/00
• 分類(lèi)號(hào): A61B5/00;G01B9/02;G01J3/453
• 代理公司: 上海專(zhuān)利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 31100
• 代理人: 周全

1.一種相位掩模，其包括：

襯底；以及

安置于所述襯底上的擋光層，所述擋光層具有多個(gè)光學(xué)透射區(qū)，每一光學(xué)透射區(qū)被配置為第一圖案，所述第一圖案包含具有不同相位配置的兩個(gè)片段，其中所述擋光層包括所述第一圖案的三個(gè)角定向。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的相位掩模，其中：

所述襯底包括光學(xué)透明玻璃。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的相位掩模，其中：

所述光學(xué)透明玻璃包括BK7玻璃。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的相位掩模，其中：

所述光學(xué)透明玻璃包括抗反射涂層。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的相位掩模，其中：

所述擋光層包括安置在所述襯底上的鉻層。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的相位掩模，其中：

多個(gè)光學(xué)透射開(kāi)口徑向地分布在所述襯底上。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的相位掩模，其中：

所述多個(gè)光學(xué)透射開(kāi)口包含所述第一圖案的六個(gè)實(shí)例。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的相位掩模，其中：

所述六個(gè)實(shí)例包括所述第一圖案在每個(gè)角定向處的兩個(gè)實(shí)例。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的相位掩模，其中：

所述兩個(gè)片段中的每一個(gè)包括圓形片段，所述圓形片段包括具有弧形的第一側(cè)以及包括大體上線(xiàn)性形狀的第二側(cè)。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的相位掩模，其中：

所述三個(gè)角定向包含0、pi/3和2pi/3的角度。

11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的相位掩模，其中：

第一片段的所述相位配置包括零相位延遲，并且第二片段的所述相位配置包括相位延遲pi。

12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的相位掩模，其中：

所述第二片段包括比所述第一片段更長(zhǎng)的光程長(zhǎng)度。

13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的相位掩模，其中：

所述第二片段包括材料涂層。

14.一種共焦顯微鏡，其包括：

光源，其被配置成產(chǎn)生光束；

相位掩模，所述相位掩模包括：

襯底；以及

安置于所述襯底上的擋光層，所述擋光層具有多個(gè)光學(xué)透射區(qū)，每一光學(xué)透射區(qū)被配置為第一圖案，所述第一圖案包含具有不同相位配置的兩個(gè)片段，其中所述擋光層包括所述第一圖案相對(duì)于所述光束的三個(gè)角定向；以及

裝置，其可操作地耦合到所述相位掩模并且被配置成移動(dòng)所述相位掩模以將光學(xué)透射開(kāi)口定位在所述光束的路徑中。

15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的共焦顯微鏡，其中：

多個(gè)光學(xué)透射開(kāi)口包含所述第一圖案的六個(gè)實(shí)例。

16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的共焦顯微鏡，其中：

所述六個(gè)實(shí)例包括所述第一圖案在每個(gè)角定向處的兩個(gè)實(shí)例。

17.根據(jù)權(quán)利要求14所述的共焦顯微鏡，其中：

所述三個(gè)角定向包含0、pi/3和2pi/3的角度。

18.根據(jù)權(quán)利要求14所述的共焦顯微鏡，其中：

第一片段的所述相位配置包括零相位延遲，并且第二片段的所述相位配置包括相位延遲pi。

19.根據(jù)權(quán)利要求18所述的共焦顯微鏡，其中：

所述第二片段包括比所述第一片段更長(zhǎng)的光程長(zhǎng)度。