[發明專利]玻璃板以及玻璃板的制造方法

在審

• 申請號: 202180009440.1
• 申請日: 2021-01-13
• 公開（公告）號: CN114981221A
• 公開（公告）日: 2022-08-30
• 發明（設計）人: 藤居孝英;饗場久敏
• 申請（專利權）人: 日本電氣硝子株式會社
• 主分類號: C03B33/09
• 分類號: C03B33/09
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 劉文海

玻璃板的制造方法包括：初始裂紋形成工序，在母玻璃板(MG)形成初始裂紋；以及割斷工序，利用由激光(L)的照射區域(SP)的加熱以及冷卻區域(CP)的冷卻產生的熱應力，以初始裂紋為起點使裂紋(CR)在沿著割斷預定線(CL)方向以及母玻璃板(MG)的厚度方向上發展。在割斷工序中，激光(L)在照射區域(SP)對母玻璃板(MG)的表層(SL)以及內部(IL)進行加熱，并且將照射區域(SP)中的最高溫度與冷卻區域中的最低溫度之差(ΔT)設為575℃以上。

技術領域

本發明涉及向母玻璃板照射激光并進行割斷，從而制造規定形狀的玻璃板的方法。

背景技術

如公知的那樣，在液晶顯示器、有機EL顯示器等顯示器、有機EL照明、太陽能電池的面板等中使用的各種玻璃板經過將母玻璃板切斷的工序而構成為規定形狀。

例如，在專利文獻1中作為將母玻璃板切斷的技術而公開有激光割斷。在該激光割斷中，首先，利用金剛石刀具等裂紋形成機構在母玻璃板(厚度為0.2mm以下的玻璃膜)形成初始裂紋。接下來，沿著在母玻璃板設定的割斷預定線照射激光而將母玻璃板加熱，并利用從冷卻機構噴射的冷卻水等冷媒將已加熱的部分冷卻。由此，在母玻璃板產生熱應力(熱沖擊)，以初始裂紋為起點使裂紋沿著割斷預定線(切斷預定線)發展，從而能夠將母玻璃板切斷。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開2011-116611號公報

發明內容

發明要解決的課題

在專利文獻1的激光割斷中，由于使用CO₂激光，因此僅加熱母玻璃板的表層。因此，無法在母玻璃板的內部作用足夠的熱應力，割斷后的玻璃板的端面(割斷面)的品質有可能變差。即，隨著母玻璃板變厚，有時在割斷后的玻璃板的端面形成微裂紋等缺陷，可能產生端面及其附近的強度降低這樣的問題。

本發明的課題在于提供由割斷面構成的端面及其附近的強度高的玻璃板。

用于解決課題的方案

為了解決上述的課題而做出的本發明為一種玻璃板的制造方法，包括：初始裂紋形成工序，在母玻璃板形成初始裂紋；以及割斷工序，利用由激光的照射區域的加熱以及冷卻區域的冷卻產生的熱應力，以初始裂紋為起點使裂紋在沿著割斷預定線的方向以及所述母玻璃板的厚度方向上發展，所述玻璃板的制造方法的特征在于，在割斷工序中，激光在照射區域對母玻璃板的表層以及內部進行加熱，并且將照射區域中的最高溫度與冷卻區域中的最低溫度之差ΔT設為575℃以上。

如此一來，由于在利用激光不僅將母玻璃板的表層加熱成高溫而且連內部也加熱成高溫之后驟冷，因此在供激光入射的一側的玻璃板的表面的緣部以及玻璃板的割斷后的端面形成壓縮應力層。此時，若將激光的照射區域中的最高溫度與冷卻區域中的最低溫度之差ΔT管理為575℃以上，則能夠可靠地形成最大壓縮應力值高的壓縮應力層。其結果是，僅通過將母玻璃板割斷，就提高玻璃板的端面及其附近的強度。

在上述的結構中，優選的是，激光為CO激光、Er激光、Ho激光或者HF激光。

若選擇這種激光，則不僅能夠高效地加熱母玻璃板的表層，而且能夠高效地加熱內部，因此容易在供激光入射的一側的玻璃板的表面的緣部以及玻璃板的割斷后的端面形成壓縮應力層。

在上述的結構中，優選的是，利用冷媒冷卻冷卻區域。

冷卻區域也可以進行放置冷卻(環境的作用下的自然冷卻)，但利用冷媒積極冷卻冷卻區域的方案能夠增大激光的照射區域中的最高溫度與冷卻區域中的最低溫度之差ΔT的值。即，若利用冷媒冷卻冷卻區域，則能夠增大形成于玻璃板的表面的緣部以及端面的壓縮應力層的最大壓縮應力值。